温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种气相沉积炉尾气处理系统，包括炉体，所述炉体上设有炉体进气口和炉体出气口，所述炉体出气口与第一过滤罐的进气口连接，所述第一过滤罐的出气口通过第一真空泵与第二过滤罐的进气口连接，所述第二过滤罐的出气口通过第二真空泵与第三过滤罐...
该专利属于浙江诺华陶瓷有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江诺华陶瓷有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。