薄膜型LC部件(101)具备：具有相互对置的第一面(S1)以及第二面(S2)的基板(10)、通过薄膜工艺形成在第一面(S1)的薄膜电容器(TFC)、通过薄膜工艺形成在第二面(S2)中的俯视时与薄膜电容器(TFC)至少一部分重叠的区域的薄膜电感器(TFL)、形成在基板(10)并将薄膜电容器(TFC)和薄膜电感器(TFL)连接的层间连接导体(42、62)、形成在第一面(S1)侧并覆盖薄膜电容器(TFC)的绝缘层(31)、以及形成在绝缘层(31)的表面并与薄膜电容器(TFC)以及薄膜电感器(TFL)连接的多个端子电极(51、52、53)。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】薄膜型LC部件以及其安装结构
本技术涉及LC部件，特别涉及适合轻薄化的薄膜型LC部件以及其安装结构。
技术介绍
已知有在硅基板、氧化铝基板等上通过薄膜工艺一体地形成电感器和电容器的薄膜型的无源部件(IPD:IntegratedPassiveDevice，集成无源器件)(例如参照专利文献1、2)。在专利文献1中示出在形成薄膜电路的工序中同时对薄膜电容器的电介质膜和薄膜电感器的层间绝缘膜进行成膜。在专利文献2中示出在基板上依次形成第一电极层、电介质层、第二电极层来构成电容器，并在其上形成由磁性膜以及线圈构成的平面电感器，从而确保电容器与电感器的隔离性。专利文献1:日本特开平6－53406号公报专利文献2:日本特开2001－44778号公报由于IPD是通过薄膜工艺所形成的无源部件，所以与通过厚膜工艺或片材多层工艺所形成的无源部件相比，能够大幅度地减少其厚度尺寸。然而，若如专利文献1那样在同一面排列电感器和电容器，则需要的基板面积变大，无法避免薄膜型无源部件的大型化。另一方面，若如专利文献2那样在基板上形成电容器并在其上形成电感器，则虽然需要的基板面积变小，但在将此安装于印刷布线板等的情况下，导致印刷布线板上的电路与电容器的距离相对变大，在其之间产生寄生电感。因此，LC无源部件的电特性因向印刷布线板等的安装状态而发生变化。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供薄型且小面积并抑制了薄膜电容器的寄生电感的薄膜型LC部件、以及其安装结构。(1)本技术的薄膜型LC部件的特征在于，具有：基板，具有相互对置的第一面以及第二面；薄膜电容器，通过薄膜工艺形成在上述第一面；薄膜电感器，通过薄膜工艺形成在上述第二面中的俯视时与上述薄膜电容器至少一部分重叠的区域；层间连接导体，形成在上述基板，并将上述薄膜电容器和上述薄膜电感器连接；绝缘层，形成在上述第一面侧，并覆盖上述薄膜电容器；以及端子电极，形成在上述绝缘层的表面，并与上述薄膜电容器以及上述薄膜电感器连接。根据上述结构，可缩小薄膜电容器以及薄膜电感器的形成区域的俯视时的面积。另外，由于不在基板的薄膜电感器形成侧而在薄膜电容器形成侧形成端子电极，所以薄膜电容器能够以最短距离配置在形成于印刷布线板(安装基板)的电路，可减少寄生电感。另外，由于在薄膜电感器与薄膜电容器之间夹设有基板、即薄膜电感器远离薄膜电容器，所以涡流难以流向薄膜电容器的电极膜。因此，可构成Q值高的薄膜电感器。(2)优选上述薄膜电感器以及上述薄膜电容器分别具有第一端和第二端，上述薄膜电容器的第一端和上述薄膜电感器的第二端连接，上述多个端子电极由分别与上述薄膜电容器的第一端、上述薄膜电容器的第二端、上述薄膜电感器的第一端连接的至少3个端子电极构成。由此，在电方面，仅在外部设置3个端子电极即可，并仅通过使这些端子电极与基板上的电路连接就能够构成例如LC低通滤波器或平滑电路。(3)在上述(2)中，优选上述薄膜电感器由分别具有第一端和第二端的多个薄膜电感器构成，上述多个端子电极包括分别与上述多个薄膜电感器的第一端连接的端子电极。由此，能够在多个电感器和共用的电容器选择性地使用时间常数不同的低通滤波器或平滑电路。(4)在上述(1)～(3)中的任意一项中，优选上述薄膜电容器由与上述第一面平行的第一电极膜、与该第一电极膜对置的第二电极膜、和夹设在上述第一电极膜与上述第二电极膜之间的电介质薄膜构成，上述电介质薄膜是钛酸钡锶薄膜。由此，由于能够构成小面积且高电容的薄膜电容器，所以能够构成小型的薄膜型LC部件。(5)在上述(1)～(4)中的任意一项中，优选包括上述基板、上述薄膜电容器、上述薄膜电感器以及上述绝缘层的整体的厚度为100μm以下。如果是该尺寸，则能够配置于经由凸块被倒置安装于基板的半导体芯片的端面与基板的间隙。(6)本技术的薄膜型LC部件的安装结构是半导体芯片、电容器以及电感器向安装基板的安装结构，上述半导体芯片经由凸块被倒置安装在上述基板，上述电容器以及上述电感器构成为薄膜型LC部件，上述薄膜型LC部件具有：基板，具有相互对置的第一面以及第二面；薄膜电容器，通过薄膜工艺形成在上述第一面；薄膜电感器，通过薄膜工艺形成在上述第二面中的俯视时与上述薄膜电容器大致重叠的区域；层间连接导体，形成在上述基板，并将上述薄膜电容器和上述薄膜电感器连接；绝缘层，形成在上述第一面侧，并覆盖上述薄膜电容器；以及端子电极，形成在上述绝缘层的表面，并与上述薄膜电容器以及上述薄膜电感器连接，上述薄膜型LC部件被配置在上述安装基板与上述半导体芯片的间隙。根据上述结构，将薄型且小面积的薄膜型LC部件、或者抑制了薄膜电容器的寄生电感的薄膜型LC部件与半导体芯片一起高密度地向基板安装。根据本技术，能够构成薄型且小面积的薄膜型LC部件、抑制了薄膜电容器的寄生电感的薄膜型LC部件、以及具备薄膜型LC部件的小型的电子设备。附图说明图1(A)是第一实施方式所涉及的薄膜型LC部件101的俯视图，图1(C)是薄膜型LC部件101的仰视图，图1(B)是图1(A)、图1(C)中的X－X线处的薄膜型LC部件101的纵剖视图。图2是薄膜型LC部件101的电路图。图3(A)是在基板10形成了薄膜电容器形成用的多个薄膜的状态下的俯视图，图3(B)是其X－X线处的剖视图。图4(A)是对薄膜电容器形成部的多个薄膜进行图案化的状态下的俯视图，图4(B)是其X－X线处的剖视图。图5(A)是在薄膜电容器形成部形成了阻焊剂膜31的状态下的俯视图，图5(B)是其X－X线处的剖视图。图6(A)是在阻焊剂膜31形成了开口H1、H2、H3的状态下的俯视图，图6(B)是其X－X线处的剖视图。图7(A)是形成了导通孔(via)41、42和43以及端子电极51、52、53的状态下的俯视图，图7(B)是其X－X线处的剖视图。图8(A)是形成了局部覆盖端子电极51、52、53的阻焊剂膜31的状态下的俯视图，图8(B)是其X－X线处的剖视图。图9(A)是在基板10等形成了开口H61、H62的状态下的俯视图，图9(B)是其X－X线处的剖视图。图10(A)是在基板10形成了Si贯通电极61、62的状态下的俯视图，图10(B)是其X－X线处的剖视图。图11(C)是在基板10的第二面S2形成了薄膜电感器用的导体图案70的状态下的仰视图，图11(A)是其俯视图，图11(B)是X－X线处的剖视图。图12是第二实施方式所涉及的薄膜型LC部件102的分解立体图。图13是薄膜型LC部件102的立体图。图14(A)是在基板10L形成了薄膜电感器TFL的状态下的俯视图，图14(B)是其X－X线处的剖视图。图15(A)是使形成有薄膜电感器TFL的基板10L和形成有薄膜电容器TFC的基板10C背面彼此接合的状态下的俯视图，图15(B)是其X－X线处的剖视图。图16(A)是形成了端子电极51、52、53的状态下的俯视图，图16(B)是其X－X线处的剖视图。图17是第三实施方式所涉及的SiP(systeminapackage：系统级封装)结构的电子部件的剖视图。图18是第四本实施方式所涉及的平滑电路相对于微处理器的连接构造的概念图。图19(A)、图19(B)是第五实施方式所涉及的薄膜型LC部件的电路图。具体实本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种薄膜型LC部件，其特征在于，具有：基板，具有相互对置的第一面以及第二面；薄膜电容器，通过薄膜工艺形成在上述第一面；薄膜电感器，通过薄膜工艺形成在上述第二面中的俯视时与上述薄膜电容器至少一部分重叠的区域；层间连接导体，形成在上述基板，并将上述薄膜电容器和上述薄膜电感器连接；绝缘层，形成在上述第一面侧，并覆盖上述薄膜电容器；以及多个端子电极，形成在上述绝缘层的表面，与上述薄膜电容器以及上述薄膜电感器连接，并且与安装基板上的电路连接。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.10.02 JP 2015-1963921.一种薄膜型LC部件，其特征在于，具有：基板，具有相互对置的第一面以及第二面；薄膜电容器，通过薄膜工艺形成在上述第一面；薄膜电感器，通过薄膜工艺形成在上述第二面中的俯视时与上述薄膜电容器至少一部分重叠的区域；层间连接导体，形成在上述基板，并将上述薄膜电容器和上述薄膜电感器连接；绝缘层，形成在上述第一面侧，并覆盖上述薄膜电容器；以及多个端子电极，形成在上述绝缘层的表面，与上述薄膜电容器以及上述薄膜电感器连接，并且与安装基板上的电路连接。2.根据权利要求1所述的薄膜型LC部件，其特征在于，上述薄膜电感器以及上述薄膜电容器分别具有第一端和第二端，上述薄膜电容器的第一端和上述薄膜电感器的第二端连接，上述多个端子电极由分别与上述薄膜电容器的第一端、上述薄膜电容器的第二端、上述薄膜电感器的第一端连接的至少3个端子电极构成。3.根据权利要求2所述的薄膜型LC部件，其特征在于，上述薄膜电感器由分别具有第一端和第二端的多个薄膜电感器构成，上述多个端子电极包括分别与上述多个薄膜电感器的第一端连接的端子电极。4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的薄膜型LC部件，其特征在于，上述薄膜电容器由与上述第一面平行的第一电极膜、...
【专利技术属性】
技术研发人员：植木纪行，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：新型
国别省市：日本,JP
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