【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】薄膜型LC部件以及其安装结构
本技术涉及LC部件,特别涉及适合轻薄化的薄膜型LC部件以及其安装结构。
技术介绍
已知有在硅基板、氧化铝基板等上通过薄膜工艺一体地形成电感器和电容器的薄膜型的无源部件(IPD:IntegratedPassiveDevice,集成无源器件)(例如参照专利文献1、2)。在专利文献1中示出在形成薄膜电路的工序中同时对薄膜电容器的电介质膜和薄膜电感器的层间绝缘膜进行成膜。在专利文献2中示出在基板上依次形成第一电极层、电介质层、第二电极层来构成电容器,并在其上形成由磁性膜以及线圈构成的平面电感器,从而确保电容器与电感器的隔离性。专利文献1:日本特开平6-53406号公报专利文献2:日本特开2001-44778号公报由于IPD是通过薄膜工艺所形成的无源部件,所以与通过厚膜工艺或片材多层工艺所形成的无源部件相比,能够大幅度地减少其厚度尺寸。然而,若如专利文献1那样在同一面排列电感器和电容器,则需要的基板面积变大,无法避免薄膜型无源部件的大型化。另一方面,若如专利文献2那样在基板上形成电容器并在其上形成电感器,则虽然需要的基板面积变小,但在将此安装于 ...
【技术保护点】
1.一种薄膜型LC部件,其特征在于,具有:基板,具有相互对置的第一面以及第二面;薄膜电容器,通过薄膜工艺形成在上述第一面;薄膜电感器,通过薄膜工艺形成在上述第二面中的俯视时与上述薄膜电容器至少一部分重叠的区域;层间连接导体,形成在上述基板,并将上述薄膜电容器和上述薄膜电感器连接;绝缘层,形成在上述第一面侧,并覆盖上述薄膜电容器;以及多个端子电极,形成在上述绝缘层的表面,与上述薄膜电容器以及上述薄膜电感器连接,并且与安装基板上的电路连接。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.10.02 JP 2015-1963921.一种薄膜型LC部件,其特征在于,具有:基板,具有相互对置的第一面以及第二面;薄膜电容器,通过薄膜工艺形成在上述第一面;薄膜电感器,通过薄膜工艺形成在上述第二面中的俯视时与上述薄膜电容器至少一部分重叠的区域;层间连接导体,形成在上述基板,并将上述薄膜电容器和上述薄膜电感器连接;绝缘层,形成在上述第一面侧,并覆盖上述薄膜电容器;以及多个端子电极,形成在上述绝缘层的表面,与上述薄膜电容器以及上述薄膜电感器连接,并且与安装基板上的电路连接。2.根据权利要求1所述的薄膜型LC部件,其特征在于,上述薄膜电感器以及上述薄膜电容器分别具有第一端和第二端,上述薄膜电容器的第一端和上述薄膜电感器的第二端连接,上述多个端子电极由分别与上述薄膜电容器的第一端、上述薄膜电容器的第二端、上述薄膜电感器的第一端连接的至少3个端子电极构成。3.根据权利要求2所述的薄膜型LC部件,其特征在于,上述薄膜电感器由分别具有第一端和第二端的多个薄膜电感器构成,上述多个端子电极包括分别与上述多个薄膜电感器的第一端连接的端子电极。4.根据权利要求1~3中的任意一项所述的薄膜型LC部件,其特征在于,上述薄膜电容器由与上述第一面平行的第一电极膜、...
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