工艺液体加热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种工艺液体加热装置，其包括加热槽、工艺槽、热交换器、供液管路和回液管路；其中，工艺槽上设置有进液口和出液口；热交换器设置在工艺槽中，热交换器包括并排设置的相互连通的进液管和出液管，且进液管的进液口和出液管的出液口位置相邻；供液管路的两端分别与加热槽和进液管连通；回液管路的两端分别与加热槽和出液管连通。本实用新型专利技术提供的工艺液体加热装置，通过将进液管和出液管并排设置，可以使工艺液体温度与出液管中的低温热媒的温度同样维持在较高的水平，从而降低工艺液体温度波动，保证了工艺液体的温度持续保持在恒定的温度水平，提高了工艺液体整体温度的均匀性。

【技术实现步骤摘要】
工艺液体加热装置
本技术涉及太阳能电池制造
，尤其涉及一种工艺液体加热装置。
技术介绍
在目前的光伏行业的生产中，在湿法刻蚀环节中需要将生产片长期浸泡到刻蚀液中，由于工艺时间比较长，传统的工艺中对刻蚀液体的温度及均匀性的要求较低。但是，随着工艺的不断改进，以及大批量的生产，对刻蚀液体的温度及均匀性的要求越来越高。现有技术中，是将加热到设定温度的刻蚀液体充入工艺槽中，利用工艺槽外部的保温层进行加热和保温，由于工艺液体通常具有很强的腐蚀性，所以工艺槽不能使用传热性能好的金属，导致液体温度变化具有较大的滞后性，同时工艺时间长达数小时，期间液体不能流动，造成工艺槽中靠近保温层的液体和远离保温层的液体温度差别较大，导致工艺槽中刻蚀液的温度整体均匀性比较差。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种工艺液体加热装置，以解决上述现有技术中的问题，保证对工艺液体加热时温度的均匀性。本技术提供了一种工艺液体加热装置，其中，包括：用于对热媒加热的加热槽；用于盛装工艺液体的工艺槽，所述工艺槽上设置有进液口和出液口；热交换器，所述热交换器设置在所述工艺槽中，所述热交换器包括并排设置的进液管和出液管，所述进液管的出液口和所述出液管的进液口连通，所述进液管的进液口和所述出液管的出液口位置相邻；供液管路，所述供液管路的一端与所述加热槽连通，所述供液管路的另一端与所述进液管的进液口连通；回液管路，所述回液管路的一端与所述加热槽连通，所述回液管路的另一端与所述出液管的出液口连通。如上所述的工艺液体加热装置，其中，优选的是，所述热交换器包括第一加热段、第二加热段和第三加热段，所述第一加热段、第二加热段和第三加热段在所述工艺槽中自上而下依次均匀分布；所述进液管和所述出液管分别贯穿于所述第一加热段、第二加热段和第三加热段。如上所述的工艺液体加热装置，其中，优选的是，所述第一加热段、所述第二加热段和所述第三加热段均为螺旋形。如上所述的工艺液体加热装置，其中，优选的是，所述第一加热段和所述第二加热段均为柱状螺旋形，所述第三加热段为片状螺旋形。如上所述的工艺液体加热装置，其中，优选的是，所述第一加热段和所述第二加热段中的进液管和出液管在竖直方向上并排设置，所述第三加热段中的进液管和出液管在水平方向上并排设置。如上所述的工艺液体加热装置，其中，优选的是，所述供液管路包括主供液支管、第一供液支管、第二供液支管和第三供液支管，所述主供液支管的一端与所述加热槽连通，所述主供液支管的另一端分别与所述第一供液支管、第二供液支管和第三供液支管的进液口连通；所述第一供液支管的出液口与所述第一加热段的进液口连通，所述第二供液支管的出液口与所述第二加热段的进液口连通，所述第三供液支管的出液口与所述第三加热段的进液口连通。如上所述的工艺液体加热装置，其中，优选的是，还包括三个流量检测装置，三个所述流量检测装置分别串联在所述第一供液支管、所述第二供液支管和所述第三供液支管上。如上所述的工艺液体加热装置，其中，优选的是，所述回液管路包括主回液支管、第一回液支管、第二回液支管和第三回液支管，所述主回液支管的一端与所述加热槽连通，所述主回液支管的另一端分别与所述第一回液支管、第二回液支管和第三回液支管的出液口连通；所述第一回液支管的进液口与所述第一加热段的出液口连通，所述第二回液支管的进液口与所述第二加热段的出液口连通，所述第三回液支管的进液口与所述第三加热段的出液口连通。如上所述的工艺液体加热装置，其中，优选的是，所述工艺槽的外部设置有加热装置。如上所述的工艺液体加热装置，其中，优选的是，所述加热装置包覆在所述工艺槽的外侧壁上，所述加热装置外部设置有保温层。本技术提供的工艺液体加热装置，通过将进液管和出液管并排设置，在进液管中持续供给的高温热媒和周围的工艺液体发生热交换的同时，可以使该周围的工艺液体温度保持在较高的水平，同时，具有较高工艺温度的工艺液体与出液管中回流的低温热媒发生热交换，使出液管中的低温热媒的温度同样维持在较高的水平，从而降低工艺液体温度波动，保证了工艺液体的温度持续保持在恒定的温度水平，提高了工艺液体整体温度的均匀性。附图说明下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步详细的说明。图1为本技术实施例提供的工艺液体加热装置的结构示意图；图2为本技术实施例提供的工艺液体加热装置的侧视图；图3为第一加热段的结构示意图；图4为第三加热段的结构示意图。附图标记说明：100-加热槽200-工艺槽300-供液管路310-主供液支管320-第一供液支管330-第二供液支管340-第三供液支管400-回液管路410-主回液支管420-第一回液支管430-第二回液支管440-第三回液支管500-流量检测装置600-热交换器610-第一加热段620-第二加热段630-第三加热段10-进液管20-出液管具体实施方式下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能解释为对本技术的限制。如图1所示，本技术实施例提供了一种工艺液体加热装置，其包括加热槽100、工艺槽200、热交换器600、供液管路300和回液管路400；其中，加热槽100用于对热媒加热，工艺槽200用于盛装工艺液体，工艺槽200上设置有进液口和出液口；热交换器600设置在工艺槽200中，热交换器600包括并排设置的进液管10和出液管20，进液管10的出液口和出液管20的进液口连通，进液管10的进液口和出液管20的出液口位置相邻；供液管路300的一端与加热槽100连通，供液管路300的另一端与进液管10的进液口连通；回液管路400的一端与加热槽100连通，回液管路400的另一端与出液管20的出液口连通。需要说明的是，热媒为无腐蚀性的物质，可以为热水、蒸气或热空气等，优选的，在本实施例中，热媒为热水；热媒在加热槽100中加热后，通过供液管路300输送到热交换器600中，以与工艺槽200中的工艺液体发生热交换，实现对工艺液体的加热；热交换器600中的热媒在与工艺液体发生热交换后可以从回液管路400回流至加热槽100中，以进行再加热，从而实现循环利用，进而可以对工艺液体进行持续加热，保证工艺液体温度的均匀恒定。一般而言，热交换器600上进液管10的进液口温度要远大于出液管20的出液口温度，因为在热媒完成热交换后，其温度会降低，当随着热媒向出液管20的出液口流动的过程中，其热交换的能力逐渐减弱，易导致出液管20的出液口附近的工艺液体温度低于进液管10的进液口附近的温度，造成工艺液体温度不平衡；因此，为了解决该问题，在本实施例中，进液管10和出液管20并排设置，在进液管10中持续供给的高温热媒和周围的工艺液体发生热交换的同时，可以使该周围的工艺液体温度保持在较高的水平，同时，具有较高工艺温度的工艺液体与出液管20中回流的低温热媒发生热交换，使出液管20中的低温热媒的温度同样维持在较高的水平，从而降低工艺液体温度波动，保证工艺液体的温度持续保持在恒定的温度水平，提高了工艺液体整体温度的均匀性。其中，为了对工艺槽200中的工艺液体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工艺液体加热装置，其特征在于，包括：用于对热媒加热的加热槽；用于盛装工艺液体的工艺槽，所述工艺槽上设置有进液口和出液口；热交换器，所述热交换器设置在所述工艺槽中，所述热交换器包括并排设置的进液管和出液管，所述进液管的出液口和所述出液管的进液口连通，所述进液管的进液口和所述出液管的出液口位置相邻；供液管路，所述供液管路的一端与所述加热槽连通，所述供液管路的另一端与所述进液管的进液口连通；回液管路，所述回液管路的一端与所述加热槽连通，所述回液管路的另一端与所述出液管的出液口连通。

【技术特征摘要】
1.一种工艺液体加热装置，其特征在于，包括：用于对热媒加热的加热槽；用于盛装工艺液体的工艺槽，所述工艺槽上设置有进液口和出液口；热交换器，所述热交换器设置在所述工艺槽中，所述热交换器包括并排设置的进液管和出液管，所述进液管的出液口和所述出液管的进液口连通，所述进液管的进液口和所述出液管的出液口位置相邻；供液管路，所述供液管路的一端与所述加热槽连通，所述供液管路的另一端与所述进液管的进液口连通；回液管路，所述回液管路的一端与所述加热槽连通，所述回液管路的另一端与所述出液管的出液口连通。2.根据权利要求1所述的工艺液体加热装置，其特征在于，所述热交换器包括第一加热段、第二加热段和第三加热段，所述第一加热段、第二加热段和第三加热段在所述工艺槽中自上而下依次均匀分布；所述进液管和所述出液管分别贯穿于所述第一加热段、第二加热段和第三加热段。3.根据权利要求2所述的工艺液体加热装置，其特征在于，所述第一加热段、所述第二加热段和所述第三加热段均为螺旋形。4.根据权利要求3所述的工艺液体加热装置，其特征在于，所述第一加热段和所述第二加热段均为柱状螺旋形，所述第三加热段为片状螺旋形。5.根据权利要求4所述的工艺液体加热装置，其特征在于，所述第一加热段和所述第二加热段中的进液管和出液管在竖直方向上并排设置，所述第三加热段中的进液管和出液管在水平方向上并排设置。6.根据权利要求2...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋俊超，
申请(专利权)人：北京创昱科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11