The present application discloses a driving device, which includes a guide shaft and a guide shaft cup sleeved outside the guide shaft. The guide shaft is connected with a power mechanism. A guide structure is also provided between the guide shaft and the guide shaft cup. The guide structure includes a guide key fixed on the guide shaft and an inner wall of the guide shaft cup. The length direction of the slide is parallel to the axis direction of the guide axis. The application relates to the manufacturing equipment of solar cells, and provides a driving device and a PECVD device. The guiding structure with a guiding key replaces the linear bearing for guiding, thereby avoiding the pollution problem in the PECVD deposition chamber at high temperature.
【技术实现步骤摘要】
一种驱动装置及PECVD设备
本文涉及太阳能电池的制造设备，尤指一种驱动装置及等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备。
技术介绍
等离子增强化学气相沉积设备(PECVD)设备是制造HIT高效异质结电池的核心设备。而该设备中的PECVD沉积室、进出片室和缓冲室等真空室内，需采取多种机构组合才能实现其功能目的。目前，PECVD沉积室设计采取多种机构组合实现旋转、传动等动作执行。其中，PECVD沉积室的现有驱动装置采取直线轴承进行导向，并采用机械限位对驱动装置的气缸动作范围进行限制。然而，在该PECVD沉积室内高温的状态下，直线轴承易对沉积过程中造成污染。另外，该PECVD沉积室内的机械限位在执行器高速运转时，易产生噪音，而且设备易损坏。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术提供了一种驱动装置及PECVD设备，其带有导向键的导向结构代替了直线轴承进行导向，从而避免高温状态下PECVD沉积室内的污染问题。为了达到专利技术目的，本技术提供了包括导向轴和套设在其外的导向轴杯，所述导向轴与动力机构传动连接，所述导向轴与导向轴杯之间还设置有导向结构，所述导向结构包括固定在导向轴...
【技术保护点】
1.一种驱动装置，包括导向轴和套设在其外的导向轴杯，所述导向轴与动力机构传动连接，所述导向轴与导向轴杯之间还设置有导向结构，所述导向结构包括固定在导向轴上的导向键，以及设置在所述导向轴杯内壁且与所述导向键滑动配合的滑道，所述滑道的长度方向与所述导向轴的轴线方向平行。
【技术特征摘要】
1.一种驱动装置，包括导向轴和套设在其外的导向轴杯，所述导向轴与动力机构传动连接，所述导向轴与导向轴杯之间还设置有导向结构，所述导向结构包括固定在导向轴上的导向键，以及设置在所述导向轴杯内壁且与所述导向键滑动配合的滑道，所述滑道的长度方向与所述导向轴的轴线方向平行。2.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述导向结构包括设置在所述导向轴杯上的轴套，两个所述轴套分别设置在所述导向轴杯内壁的两端，用以限位所述导向键在所述滑道长度方向两端内滑动。3.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述动力机构为气缸，所述气缸的活塞杆的一端与所述导向轴连接，且在所述导向轴与活塞杆连接处设置有用以限位的连接板，所述连接板上设置有缓冲器，用以缓冲所述气缸动能。4.根据权利要求3所述的驱动装置，其特征在于，所述气缸的后端设置有防尘圈，所述活塞杆的另一端穿通所述防...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵永飞，
申请(专利权)人：君泰创新北京科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11
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