下载一种驱动装置及PECVD设备的技术资料

文档序号:19361057

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本申请公开了一种驱动装置,包括导向轴和套设在其外的导向轴杯,所述导向轴与动力机构传动连接,所述导向轴与导向轴杯之间还设置有导向结构,所述导向结构包括固定在导向轴上的导向键,以及设置在所述导向轴杯内壁且与所述导向键滑动配合的滑道,所述滑道的长...
该专利属于君泰创新(北京)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过君泰创新(北京)科技有限公司授权不得商用。

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