利用氨水双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法技术

一种利用氨水双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法，包括：1、采用氨水双氧水溶液对工件进行浸泡处理，氨水双氧水溶液为体积比为H2O2：H2O：NH4OH=3：4：1配制而成，浸泡温度为常温，反应时间为3‑5小时，直至目测工件表面无残留钛膜或氮化钛膜位置；2、采用流动的水进行漂洗，漂洗时间大于或等于30秒；3、采用硝氟酸进行中和反应，硝氟酸采用硝酸和氢氟酸配比而成，各液体的体积比为HNO3：HF：H2O=20：1：20，反应为在常温温度下进行浸泡反应，反应时间为10‑30S；4、采用流动的水进行浸泡冲洗30分钟以上，浸泡时应保持超纯水的流动；5、将浸泡清洗后的工件放在干燥炉的治具上进行干燥处理。

Method for stripping titanium and titanium nitride film by ammonia hydrogen peroxide solution

A method of stripping titanium and titanium nitride film by using aqueous ammonia hydrogen peroxide solution includes: 1. The workpiece is immersed in aqueous ammonia hydrogen peroxide solution. The aqueous ammonia hydrogen peroxide solution is prepared with the volume ratio of H_2O_2:H_2O:NH_4OH=3:4:1. The immersion temperature is normal and the reaction time is 3 to 5 hours until the workpiece surface is not visibly measured. The position of residual titanium film or titanium nitride film; 2. rinse with flowing water for more than 30 seconds; 3. neutralize with nitrofluoric acid, which is made up of nitric acid and hydrofluoric acid. The volume ratio of each liquid is HNO 3:HF:H 2=20:1:20. The reaction is to immerse at room temperature. Reaction time is 10 30S; 4. Use flowing water to soak and rinse for more than 30 minutes, and keep the flow of ultra-pure water during soaking; 5. Place the soaked and cleaned workpiece on the fixture of drying furnace for drying treatment.

【技术实现步骤摘要】
利用氨水双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法
本专利技术公开一种覆膜剥离方法，特别是一种利用氨水双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法。
技术介绍
随着半导体和液晶显示面板产业的不断发展，我国的半导体产业和液晶面板产业得到了很大提升，行业产能也越来越高。半导体和液晶显示面板等产业属于精细化产业，其对生产设备要求非常高，因此就要求设备的零部件需要进行定期维护，以保证生产精度。钛膜和氮化钛膜的化学稳定性好，熔点高达3000℃，硬度高、红硬性好，并兼有良好的韧性、耐磨性好等优点，因此，半导体和液晶显示面板等加工设备中的很多零部件表面都附着一层钛膜或氮化钛膜，以保持其性能。然而，在此种零部件维修维护时，需要对原有附着的钛膜或氮化钛膜进行去除，才能进行新的钛膜或氮化钛膜的操作，而现有技术中，去除工件表面附着的钛膜或氮化钛膜通常有化学溶液溶泡或采用机械剥离的方式去除等，去除效果不好，而且容易损伤工件本身。
技术实现思路
针对上述提到的现有技术中的工件表面的钛膜或氮化钛膜去除时效果不好的缺点，本专利技术提供一种利用氨水双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法，其利用氨水和双氧水进行化学反应的方法去除工件表面附着的钛或氮化钛，效果较好。本专利技术解决其技术问题采用的技术方案是：一种利用氨水双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法，该方法包括下述步骤：（1）、氨水双氧水溶液浸泡：采用氨水双氧水溶液对工件进行浸泡处理，氨水双氧水溶液为体积比为H2O2：H2O：NH4OH=3：4：1配制而成，浸泡温度为常温，反应时间为3-5小时，直至目测工件表面无残留钛膜或氮化钛膜位置；（2）、漂洗：采用流动的水进行漂洗，漂洗时间大于或等于30秒；（3）、中和反应：采用硝氟酸进行中和反应，硝氟酸采用硝酸和氢氟酸配比而成，各液体的体积比为HNO3：HF：H2O=20：1：20，反应为在常温温度下进行浸泡反应，反应时间为10-30S；（4）、纯水浸泡：采用流动的水进行浸泡冲洗30分钟以上，浸泡时应保持超纯水的流动；（5）、干燥：将浸泡清洗后的工件放在干燥炉的治具上进行干燥处理。本专利技术解决其技术问题采用的技术方案进一步还包括：所述的步骤（1）中采用的氨水双氧水溶液为体积比为H2O2：H2O：NH4OH=3：4：1。所述的步骤（1）中采用的双氧水为浓度30-32%的双氧水。所述的步骤（1）中采用的氨水为质量百分比浓度为25%的氨水。所述的步骤（1）中工件的母材为Ti时，每半小时观察一次。所述的步骤（2）中采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水。所述的步骤（3）中采用的硝氟酸的各液体的体积比为HNO3：HF：H2O=20：1：20。所述的步骤（3）中采用的氢氟酸为浓度为55％的氢氟酸。所述的步骤（4）中采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水。所述的步骤（5）中将浸泡清洗后的工件放在干燥炉的治具上进行干燥处理，采用CDA吹干，常温吹至表面物流动水，放至干燥箱进行干燥，干燥温度为150±5℃，烘烤2小时以上。本专利技术的有益效果是：本专利技术利用氨水和双氧水进行化学反应的方法去除工件表面附着的钛或氮化钛，不仅效率高，而且去除的干净、彻底，对工件自身损伤小，效果较好。下面将结合附图和具体实施方式对本专利技术做进一步说明。附图说明图1为本专利技术操作流程图。具体实施方式本实施例为本专利技术优选实施方式，其他凡其原理和基本结构与本实施例相同或近似的，均在本专利技术保护范围之内。请参看附图1，本专利技术主要为一种利用双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法，其包括下述步骤：（1）、工件（或称为部品）确认，对照工程表内容确认待加工工件的品种，主要包括：工件的母材是否为SUS（即不锈钢）或Ti（钛）、工件的数量与具体产品是否与清单一致、工件表面是否有划伤、破损等；（2）、氨水双氧水溶液浸泡：本实施例中，采用氨水双氧水溶液对工件进行浸泡处理，浸泡时，以双氧水溶液没过工件为准，即保证工件全部浸泡入双氧水溶液中，本实施例中，采用的氨水双氧水溶液为体积比为H2O2：H2O：NH4OH=（2.5-3.5）：（3.5-4.5）：（0.5-1.5）配制而成，优选的为，H2O2：H2O：NH4OH=3：4：1，本实施例中，采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水，浸泡温度为常温，反应时间为3-5小时，直至目测工件表面无残留钛膜或氮化钛膜为止，如果工件母材为Ti的话，则每隔半小时观察一次，本实施例中，双氧水采用市售的质量百分比浓度为30~32%的双氧水，氨水采用市售的质量百分比浓度为25%的氨水；本实施例中，当混合溶液中的双氧水浓度低于5%时，需要对浸泡溶液进行更换，更换液体时，需采用专用的量具进行量取，更换药水时需要做好相关的记录工作，注意轻拿轻放，以免造成不必要的损失。（3）、漂洗：采用流动的超纯水进行漂洗，漂洗时间大于或等于30秒，以清洗干净工件表面，本实施例中，采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水；（4）、中和反应：采用硝氟酸进行中和反应，本实施例中，采用的硝氟酸采用硝酸和氢氟酸配比而成，配比时，各溶液的体积比为HNO3：HF：H2O=（17~23）：（0.5~1.5）：（17~23），优选为HNO3：HF：H2O=20：1：20，本实施例中，反应为在常温温度下进行浸泡反应，反应时间为10~30S，本实施例中，采用的硝酸为市售的质量百分比浓度为68％的浓硝酸，具体实施时，也可以采用其他浓度的硝酸进行等量配比，本实施例中，采用的氢氟酸为市售的质量百分比浓度为55％的氢氟酸，具体实施时，也可以采用其他浓度的硝酸进行等量配比；本实施例中，当硝酸浓度低于10%时，需要更换硝氟酸溶液，更换液体时，需采用专用的量具进行量取，更换药水时需要做好相关的记录工作，注意轻拿轻放，以免造成不必要的损失。（5）、纯水浸泡：采用流动的超纯水进行浸泡冲洗30分钟以上，浸泡时应保持超纯水的流动，本实施例中，采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水；（6）、干燥：将浸泡清洗后的工件放在干燥炉的治具上进行干燥处理，采用CDA(去油去水压缩空气)吹干，常温吹至表面物流动水，放至干燥箱进行干燥，干燥温度为150±5℃，烘烤2小时以上。（7）、确认：目测确认有无残留膜，如果有残留膜则需要再次进行处理，如果没有残留膜则确认为合格品。本专利技术利用氨水和双氧水进行化学反应的方法去除工件表面附着的钛或氮化钛，不仅效率高，而且去除的干净、彻底，对工件自身损伤小，效果较好。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种利用氨水双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法，其特征是：所述的方法包括下述步骤：（1）、氨水双氧水溶液浸泡：采用氨水双氧水溶液对工件进行浸泡处理，氨水双氧水溶液为体积比为H2O2：H2O：NH4OH=（2.5‑3.5）：（3.5‑4.5）：（0.5‑1.5）配制而成，浸泡温度为常温，反应时间为3‑5小时，直至目测工件表面无残留钛膜或氮化钛膜位置；（2）、漂洗：采用流动的水进行漂洗，漂洗时间大于或等于30秒；（3）、中和反应：采用硝氟酸进行中和反应，硝氟酸采用硝酸和氢氟酸配比而成，各液体的体积比为HNO3：HF：H2O=（17~23）：（0.5~1.5）：（17~23），反应为在常温温度下进行浸泡反应，反应时间为10‑30S；（4）、纯水浸泡：采用流动的水进行浸泡冲洗30分钟以上，浸泡时应保持超纯水的流动；（5）、干燥：将浸泡清洗后的工件放在干燥炉的治具上进行干燥处理。

【技术特征摘要】
1.一种利用氨水双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法，其特征是：所述的方法包括下述步骤：（1）、氨水双氧水溶液浸泡：采用氨水双氧水溶液对工件进行浸泡处理，氨水双氧水溶液为体积比为H2O2：H2O：NH4OH=（2.5-3.5）：（3.5-4.5）：（0.5-1.5）配制而成，浸泡温度为常温，反应时间为3-5小时，直至目测工件表面无残留钛膜或氮化钛膜位置；（2）、漂洗：采用流动的水进行漂洗，漂洗时间大于或等于30秒；（3）、中和反应：采用硝氟酸进行中和反应，硝氟酸采用硝酸和氢氟酸配比而成，各液体的体积比为HNO3：HF：H2O=（17~23）：（0.5~1.5）：（17~23），反应为在常温温度下进行浸泡反应，反应时间为10-30S；（4）、纯水浸泡：采用流动的水进行浸泡冲洗30分钟以上，浸泡时应保持超纯水的流动；（5）、干燥：将浸泡清洗后的工件放在干燥炉的治具上进行干燥处理。2.根据权利要求1所述的利用氨水双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法，其特征是：所述的步骤（1）中采用的氨水双氧水溶液为体积比为H2O2：H2O：NH4OH=3：4：1。3.根据权利要求1所述的利用氨水双氧水溶液剥离钛和氮化钛膜的方法，其特征是：所述的步骤（1）中采用的双氧水为浓度30-32%的双氧水。4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：张远，熊志红，
申请(专利权)人：深圳仕上电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44