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MEMS麦克风前置放大器制造技术

技术编号:19351215 阅读:56 留言:0更新日期:2018-11-07 17:10
本发明专利技术公开一种MEMS麦克风前置放大器,包括:第一电容、第一电阻、频率解调电路和输出缓冲器,所述第一电阻与所述第一电容构成RC振荡器,所述频率解调电路的一个输入端与所述第一电容的一端连接,所述第一电容的另一端接地,所述频率解调电路的另一个输入端与所述第一电阻的一端连接,所述第一电阻的另一端接地,所述频率解调电路的输出端与所述输出缓冲器的输入端连接。本发明专利技术提供的放大器不需要DC‑DC升压电路产生高压,也不需要MEMS传感器通过大的偏置电阻连接到一个偏置电压上,成本低,噪声小,而且还能够提高电源电压抑制比(PSRR)。

【技术实现步骤摘要】
MEMS麦克风前置放大器
本专利技术涉及领域,特别是涉及一种MEMS麦克风前置放大器。
技术介绍
麦克风的工作原理是声压引起电容传感器的电容变化,传统驻机体麦克风,将电荷注入到麦克风一个电极板上(该电极板是一片极薄的塑料膜片,在其中一面蒸发上一层金属薄膜。然后再经过高压电场驻极后,两面分别驻有异性电荷。膜片的蒸金面向外,与金属外壳相连通),电荷不能流动,当声压引起驻机体电容变化时,极板上电压发生变化,由节型场效应晶体管(JFET)放大器读出电压信号。MEMS传感器麦克风是金属电极板,电荷无法固定在电极板上不流动。MEMS传感器一个基板连接到一个固定电压上,另一基板接到一个前置放大器上。如图1所示,为了提高灵敏度,MEMS传感器需要连接到一个10V左右偏置电压上。这样需要MEMS传感器前置放大器需要包含另外一个DC-DC升压器,从1.8V左右电源上来产生10V左右电压,通过大电阻R1偏置MEMS传感器。当声压引起MEMS传感器电容变化时,MEMS传感器由于大串联电阻(R1+R2),MEMS传感器电容上电荷基本上没有变化,声压从而引起MEMS传感器上电压信号变化。MEMS传感器的这种前置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS麦克风前置放大器,其特征在于,包括:第一电容、第一电阻、频率解调电路和输出缓冲器,所述第一电阻与所述第一电容构成RC振荡器,所述频率解调电路的一个输入端与所述第一电容的一端连接,所述第一电容的另一端接地,所述频率解调电路的另一个输入端与所述第一电阻的一端连接,所述第一电阻的另一端接地,所述频率解调电路的输出端与所述输出缓冲器的输入端连接。

【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风前置放大器,其特征在于,包括:第一电容、第一电阻、频率解调电路和输出缓冲器,所述第一电阻与所述第一电容构成RC振荡器,所述频率解调电路的一个输入端与所述第一电容的一端连接,所述第一电容的另一端接地,所述频率解调电路的另一个输入端与所述第一电阻的一端连接,所述第一电阻的另一端接地,所述频率解调电路的输出端与所述输出缓冲器的输入端连接。2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风前置放大器,其特征在于,所述频率解调电路包括:放大器、低通滤波器、压控振荡器和除法器;所述放大器的一个输入端与所述第一电容的一端连接,所述放大器的另一个输入端与所述第一电阻的一端连接,所述放大器的输出端依次连接压控振荡器和除法器;所述低通滤波器连接于所述放大器与所述压控振荡器之间,所述输出缓冲器与所述低通滤波器连接。3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风前置放大器,其特征在于,所述低通滤波器包括第二电阻、第二电容和第三电容;所述第二电阻的一端与所述放大器的输出端连接,所述第二电阻的另一端与所述第二电容的一端连接,所述第二电容的另一端接地,所述第三电容的一端与所述放大器的输出端连接,所述第三电容的另一端接地,所述输出缓冲器与所述第二电阻的另一端连接。4.根据权利要求3所述的MEMS麦克风前置放大器,其特征在于,所述MEMS麦克风前置放大器还包括:第四电容、第一电流源和第二电流源,所述第一电流源的一端与所述第二电流源的...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙茂友杨校辉孙盟生
申请(专利权)人:孙茂友
类型:发明
国别省市:北京,11

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