减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的方法技术

本发明专利技术涉及一种减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的方法，包括以下步骤：1）镀膜夹具改造；2）固定基板上下双滚轮结构改造；3）机器人手臂吸盘改造；优点：1）镀膜基板夹具的内框粘贴特氟龙胶带，使玻璃基板与镀膜基板夹具内框的摩擦力增大，便于分离，从而控制了腔体破片的发生率。2）调整清洗显影机的固定基板上下双滚轮间隙，使基板通过时平稳，受滚轮挤压力减小，降低边缘月牙形破片发生率。3）搬送机器人吸盘采用O型圈，与基板摩擦力增大，运动中基板位置精度不受影响，不进行真空吸附。4）基本通用于所有平版制造厂，对厂内破片率降低尤为关键，改造实施前实施后破片数减少60%，经济效益明显。

Method for reducing fragment prevention of glass substrate in color filter manufacturing plant

The invention relates to a method for reducing glass substrate fragments in a color filter manufacturing plant, which comprises the following steps: 1) modification of the coating fixture; 2) structural modification of the upper and lower double rollers of the fixed substrate; 3) modification of the sucker of the robot arm; and 1) pasting Teflon tape on the inner frame of the coating substrate fixture to make the glass substrate and plating. The friction force of the inner frame of the membrane substrate fixture is increased and is easy to separate, thus controlling the occurrence rate of the cavity fragment. 2) Adjust the clearance between the upper and lower double rollers of the fixed base plate of the cleaning developer to make the base plate pass smoothly, reduce the extrusion force of the rollers, and reduce the incidence of crescent fragments on the edge. 3) The sucker of the conveying robot adopts O-ring, and the friction between the sucker and the base plate increases. The position accuracy of the base plate in motion is not affected, and no vacuum adsorption is carried out. 4) It is generally used in all lithographic plate factories, especially for the reduction of fragmentation rate in the factories. The number of fragments before and after the implementation of the transformation is reduced by 60%, and the economic benefits are obvious.

【技术实现步骤摘要】
减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的方法
本专利技术是一种减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的方法，属于平板显示设备

技术介绍
彩色滤光片制作，是在厚度为0.4-0.7mm、大小约为1800mm*1500mm的玻璃基板上进行清洗，光刻，镀膜等工艺制作，最后制作成为液晶屏幕；包括如下流程：素玻璃基板拆包投入产线→基板外观检查→黑色边框光刻工艺制作→RGB光刻工艺制作→镀镍工艺制作→PhotoSpacer光刻工艺制作→最终检查→成品捆包。在搬送，制作过程中，基板的震动，碰撞，挤压，真空，加热，清洗经常造成基板的破片；破片的损耗在彩色滤光片制造厂内品质良率中占很大的一部分；各厂对破片的管控尤为重视。实际生产中，有以下三项最为突出的破片发生率愿意：1、镀膜夹具：基板溅镀作业完成后进行破真空时，由于腔体与外界气压相差很大，极易发生破片；作业完成，机器人从夹具上取玻璃时，由于玻璃和基板和夹具内框静电吸附在一起，吸力较大，机器人取片时边角吸附力过大而导致边角破片；2、清洗显影机固定基板：清洗显影机固定基板上下滚轮的间距难以精确调整，过松不容易压住玻璃基板，容易发生抖动；过紧玻璃基板容易受到挤压，边缘受力导致破片；3、搬送机器人手臂吸盘：吸盘经过一段时间的使用，受到光阻升华物的影响，会有一定的黏性，破真空时不能完全破真空，放置玻璃基板时基板的位置会带偏，导致基板破片。
技术实现思路
本专利技术提出的是一种减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的方法，其目的在于针对现有彩色滤光片制造工艺中镀膜夹具、清洗显影机固定基板和机器人搬送这些流程中玻璃基板较容易破片的缺陷，通过改进镀膜夹具、固定基板上下双滚轮结构和机器人手臂吸盘的结构改造，提出了一种减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的方法。本专利技术的技术解决方案：减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的方法，包括以下步骤：1）镀膜夹具改造；2）固定基板上下双滚轮结构改造；3）机器人手臂吸盘改造；所述步骤1）镀膜夹具改造：镀膜夹具包括玻璃内框、特氟龙胶带和基板镀膜夹具，所述玻璃内框通过特氟龙胶带粘贴在基板镀膜夹具上。所述步骤2）固定基板上下双滚轮结构改造：固定基板上下双滚轮结构包括上滚轮、改造垫片、固定螺丝、下滚轮和玻璃基板，其中，所述上滚轮安装在上滚轮基座上，下滚轮安装在下滚轮基座上，上滚轮基座和下滚轮基座通过固定螺丝连接，改造垫片安装于上滚轮基座和下滚轮基座连接处，增大上、下双滚轮间的间隙。所述步骤3）机器人手臂吸盘改造：机器人手臂吸盘包括机器人手臂、吸盘和玻璃基板，其中，所述机器人手臂上设有四齿叉，四齿叉上安装有多个吸盘，吸盘吸附玻璃基板进行搬运，所述吸盘为塑胶O型圈。本专利技术的有益效果：1）镀膜基板夹具的内框粘贴特氟龙胶带，使玻璃基板与镀膜基板夹具内框的摩擦力增大，便于分离，从而有效的控制了腔体破片的发生率。2）调整清洗显影机的固定基板上下双滚轮间隙，使基板通过时平稳，受滚轮挤压力减小，降低了边缘月牙形破片的发生率。3）搬送机器人吸盘采用O型圈，与基板摩擦力增大，运动中基板位置精度不受影响，不进行真空吸附，对降低搬送破片起到了关键的作用。4）基本通用于所有平版制造厂，对厂内破片率降低尤为关键，改造实施前实施后破片数减少60%，经济效益明显。附图说明附图1是镀膜夹具改造示意图。附图2是清洗显影机固定基板上下双滚轮改造示意图。附图3是搬送机器人手臂吸盘改造示意图。附图4是改善型塑胶O型圈结构示意图。图中1是基板镀膜夹具贴玻璃内框、2是特氟龙胶带、3是基板镀膜夹具、4是上滚轮、5是0.5mm改造垫片、6是固定螺丝、7是下滚轮、8是玻璃基板、9是机器人手臂、10是吸盘、11是玻璃基板。具体实施方式减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的方法，包括以下步骤：1）镀膜夹具改造；2）固定基板上下双滚轮结构改造；3）机器人手臂吸盘改造；所述步骤1）镀膜夹具改造：镀膜夹具包括玻璃内框、特氟龙胶带和基板镀膜夹具，所述玻璃内框通过特氟龙胶带粘贴在基板镀膜夹具上。为了改善腔体破片，在镀膜夹具内框用特氟龙胶带进行粘贴，减小内框与基板的吸力，从而有效的控制了腔体破片的发生率。所述步骤2）固定基板上下双滚轮结构改造：固定基板上下双滚轮结构包括上滚轮、改造垫片、固定螺丝、下滚轮和玻璃基板，其中，所述上滚轮安装在上滚轮基座上，下滚轮安装在下滚轮基座上，上滚轮基座和下滚轮基座通过固定螺丝连接，改造垫片安装于上滚轮基座和下滚轮基座连接处，增大上、下双滚轮间的间隙。所述改造垫片厚0.5mm。月牙形破片的发生多为Doubleroller（固定基板上下双滚轮）挤压导致，原因多为上下滚轮的间距过小，玻璃基板经过时边缘被挤压变形导致破片发生；我们对Doubleroller（固定基板上下双滚轮）基座进行改造；用0.5mm垫片将双滚轮的间隙变大，减小对玻璃的挤压。所述步骤3）机器人手臂吸盘改造：机器人手臂吸盘包括机器人手臂、吸盘和玻璃基板，其中，所述机器人手臂上设有四齿叉，四齿叉上安装有多个吸盘，吸盘吸附玻璃基板进行搬运，所述吸盘为塑胶O型圈。机器人吸盘，是一个圆形的塑胶材质的吸盘，中间有真空孔；通过吸真空和破真空来实现玻璃的吸附抓取；但是长时间的使用，吸盘会有一定的黏性；破真空时不能完全破真空，放置玻璃基板时基板的位置会带偏，导致基板破片；为此我们对机器人吸盘进行了改造，不使用吸盘，采用橡胶O圈的方式进行增大物理摩擦力，保证正常传递基板时的位置精度，不进行真空吸附。下面结合附图对本专利技术技术方案进一步说明如附图1所示，镀膜夹具包括玻璃内框、特氟龙胶带和基板镀膜夹具，所述玻璃内框通过特氟龙胶带粘贴在基板镀膜夹具上，减小内框与基板的吸力，从而有效的控制了腔体破片的发生率如附图2所示，固定基板上下双滚轮结构包括上滚轮、0.5mm改造垫片、固定螺丝、下滚轮和玻璃基板，其中，所述上滚轮安装在上滚轮基座上，下滚轮安装在下滚轮基座上，上滚轮基座和下滚轮基座通过固定螺丝连接，0.5mm改造垫片安装于上滚轮基座和下滚轮基座连接处，增大上、下双滚轮间的间隙，减小对玻璃的挤压。如附图3、4所示，机器人手臂吸盘包括机器人手臂、吸盘和玻璃基板，其中，所述机器人手臂上设有四齿叉，四齿叉上安装有多个吸盘，吸盘吸附玻璃基板进行搬运，所述吸盘为塑胶O型圈，保证正常传递基板时的位置精度，不进行真空吸附。实施例1基板镀膜夹具其主要结构由基板镀膜夹具内框、特氟龙胶带、夹具外框构成。用直尺将镀膜夹具内框尺寸进行测量，将特氟龙胶带进行裁剪，均匀的粘贴在基板镀膜夹具内框上；用改造过的夹具进行镀膜作业时，基板边缘不再是贴在镀膜夹具的内框上，而是贴在特氟龙胶带上，减小了基板与镀膜夹具内框的吸力，大大降低了镀膜后从镀膜夹具中取基板中发生的破片。实施例2清洗机显影机的Doubleroller（固定基板上下双滚轮）的主要结构由上滚轮、0.5mm改造垫片、固定螺丝、下滚轮构成。将两边固定螺丝拧开，将0.5mm改造垫片串在两边的螺丝上，再将螺丝固定住，可根据上下滚轮的实际间隙增加垫片；减小玻璃基板边缘通过上下滚轮区域时受到的压力。实施例3机器人手臂吸盘的主要结构由机器人手臂、真空吸盘构成。将机器人真空吸盘拆下，换上改善橡胶O型圈；并将机器人手臂真空关闭，取放基板依靠橡胶O圈本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的方法，其特征是包括以下步骤：1）镀膜夹具改造；2）固定基板上下双滚轮结构改造；3）机器人手臂吸盘改造；其中，所述步骤1）镀膜夹具改造：镀膜夹具包括玻璃内框、特氟龙胶带和基板镀膜夹具，所述玻璃内框通过特氟龙胶带粘贴在基板镀膜夹具上。

【技术特征摘要】
1.减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的方法，其特征是包括以下步骤：1）镀膜夹具改造；2）固定基板上下双滚轮结构改造；3）机器人手臂吸盘改造；其中，所述步骤1）镀膜夹具改造：镀膜夹具包括玻璃内框、特氟龙胶带和基板镀膜夹具，所述玻璃内框通过特氟龙胶带粘贴在基板镀膜夹具上。2.根据权利要求1所述的减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的方法，其特征是所述步骤2）固定基板上下双滚轮结构改造：固定基板上下双滚轮结构包括上滚轮、改造垫片、固定螺丝、下滚轮和玻璃基板，其中，所述上滚轮安装在上滚轮基座上，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟伟，彭建中，李亚明，吴云桂，
申请(专利权)人：南京中电熊猫液晶材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32