蒸发辅助装置和干燥设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种蒸发辅助装置，用于膜层干燥工艺中，所述蒸发辅助装置包括罩板，所述罩板包括顶壁和与该顶壁相连的侧壁，所述顶壁用于与待干燥基板的待干燥区相对设置，所述侧壁用于支撑在所述待干燥基板并环绕所述待干燥区；所述顶壁上设置有多个通气孔；所述罩板的顶壁被划分为从所述顶壁的中部到所述顶壁的边缘分布的多个通气区；从所述顶壁的中部到所述顶壁的边缘，所述通气区中通气孔的开口面积之和与所述通气区的面积之比逐渐减小。相应地，本发明专利技术还提供一种干燥设备。本发明专利技术能够均衡整个待干燥区中溶剂的挥发速度，从而使得待干燥区不同位置干燥后形成的膜层厚度更均匀。

Evaporation auxiliary equipment and drying equipment

The invention provides an evaporation assistant device for film drying process. The evaporation assistant device includes a cover plate, the cover plate includes a top wall and a side wall connected with the top wall, the top wall is used for setting relative to the drying area of the substrate to be dried, and the side wall is used for supporting the substrate to be dried and encircling the said substrate. The top wall of the cover plate is divided into a plurality of ventilation areas distributed from the middle part of the top wall to the edge of the top wall, and from the middle part of the top wall to the edge of the top wall, the ratio of the opening area of the ventilation hole in the ventilation area to the area of the ventilation area. Gradually decreasing. Accordingly, the invention also provides a drying device. The invention can balance the volatilization speed of solvent in the whole drying area, so that the film thickness formed after drying at different positions of the drying area is more uniform.

【技术实现步骤摘要】
蒸发辅助装置和干燥设备
本专利技术涉及有机电致发光显示器件的制作领域，具体涉及一种蒸发辅助装置和干燥设备。
技术介绍
有机电致发光器件(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)的成膜方式主要有蒸镀制程和溶液制程。溶液制程中的喷墨打印技术由于其材料利用率较高、可以实现大尺寸化，被认为是大尺寸有机电致发光器件实现量产的重要方式。喷墨打印的工艺过程包括喷墨印刷和干燥，喷墨印刷过程是将墨水(即，用于形成膜层的材料溶解在溶剂中形成的溶液)打印在基板上，干燥过程则是使溶剂蒸发后形成膜层。由于在干燥过程中，越靠近基板边缘的区域，溶剂挥发的速度越快，因此，靠近基板中心的区域和靠近基板边缘的区域的溶剂蒸发速度不同，导致基板中间区域和靠近基板边缘的区域所形成的膜层厚度不均，从而影响有机电致发光显示装置的显示效果。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种蒸发辅助装置和干燥设备，以均衡整个待干燥区中溶剂的挥发速度，从而使得待干燥区不同位置干燥后形成的膜层厚度更均匀。为了实现上述目的，本专利技术提供一种蒸发辅助装置，用于膜层干燥工艺中，所述蒸发辅助装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸发辅助装置，用于膜层干燥工艺中，其特征在于，所述蒸发辅助装置包括罩板，所述罩板包括顶壁和与该顶壁相连的侧壁，所述顶壁用于与待干燥基板的待干燥区相对设置，所述侧壁用于支撑在所述待干燥基板并环绕所述待干燥区；所述顶壁上设置有多个通气孔；所述罩板的顶壁被划分为从所述顶壁的中部到所述顶壁的边缘分布的多个通气区；从所述顶壁的中部到所述顶壁的边缘，所述通气区中通气孔的开口面积之和与所述通气区的面积之比逐渐减小。

【技术特征摘要】
1.一种蒸发辅助装置，用于膜层干燥工艺中，其特征在于，所述蒸发辅助装置包括罩板，所述罩板包括顶壁和与该顶壁相连的侧壁，所述顶壁用于与待干燥基板的待干燥区相对设置，所述侧壁用于支撑在所述待干燥基板并环绕所述待干燥区；所述顶壁上设置有多个通气孔；所述罩板的顶壁被划分为从所述顶壁的中部到所述顶壁的边缘分布的多个通气区；从所述顶壁的中部到所述顶壁的边缘，所述通气区中通气孔的开口面积之和与所述通气区的面积之比逐渐减小。2.根据权利要求1所述的蒸发辅助装置，其特征在于，从所述顶壁的中部到所述顶壁的边缘，所述通气区中通气孔的分布密度逐渐减小。3.根据权利要求1所述的蒸发辅助装置，其特征在于，从所述顶壁的中部至所述顶壁的边缘，所述通气区中通气孔的开口大小逐渐减小。4.根据权利要求1至3中任意一项所述的蒸发辅助装置，其特征在于，所述通气孔的形状...

【专利技术属性】
技术研发人员：王欣竹，吴新风，胡友元，李菲，李慧慧，栾梦雨，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11