下载蒸发辅助装置和干燥设备的技术资料

文档序号:19334920

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本发明提供一种蒸发辅助装置,用于膜层干燥工艺中,所述蒸发辅助装置包括罩板,所述罩板包括顶壁和与该顶壁相连的侧壁,所述顶壁用于与待干燥基板的待干燥区相对设置,所述侧壁用于支撑在所述待干燥基板并环绕所述待干燥区;所述顶壁上设置有多个通气孔;所述...
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