一种扩散炉管的装载区风门监控方法技术

本发明专利技术公开了一种扩散炉管的装载区风门监控方法，其属于半导体领域的技术，包括：步骤S1，所述控制模块通过所述检测模块获得所述扩散炉管中的氧气浓度值；步骤S2，判断所述氧气浓度值是否小于所述阈值：若是，则所述控制模块控制所述警报模块发出警报；若否，则转到步骤S3；步骤S3，根据所述状态信息判断所述装载区风门是否关闭：若是，则所述控制模块控制所述警报模块发出警报；若否，则回到步骤S1。该技术方案的有益效果是：本发明专利技术能够实时的检测扩散炉管中的氧气浓度，并根据装载区风门的关闭或开启状态来判断是否发出警报，能够有效的监控装载区风门并及时的发出警报以提醒用户及时处理，从而降低了产品的报废风险。

Monitoring method for loading area wind gate of diffusion furnace tube

The invention discloses a method for monitoring the air valve in the loading area of a diffuser tube, which belongs to the technology in the semiconductor field, including: the control module obtains the oxygen concentration value in the diffuser tube through the detection module; and (b) 2, judges whether the oxygen concentration value is less than the threshold value: if so, the said control module obtains the oxygen concentration value in the diffuser tube. The control module controls the alarm module to issue an alarm; if not, to turn to; and to judge whether the loading area throttle is closed according to the state information; if so, the control module controls the alarm module to issue an alarm; if not, to return to. The beneficial effect of the technical scheme is that the invention can real-time detect the oxygen concentration in the diffuser tube, and judge whether to issue an alarm according to the closing or opening state of the air valve in the loading area. It can effectively monitor the air valve in the loading area and issue an alarm in time to remind the user to handle the alarm in time, thereby reducing the scrap of the product. Risk.

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉管的装载区风门监控方法
本专利技术涉及的是一种半导体领域的技术，具体是一种扩散炉管的装载区风门监控方法。
技术介绍
扩散运动是分子运动所造成的，是物质的随机热运动，趋向于降低其浓度梯度，即存在一个从高浓度向低浓度的净移动。扩散工艺是指利用杂质的扩散运动，将所需要的的杂质参入硅衬底中，并使其具有特定的浓度分布。扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一，它主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。虽然某些工艺可以使用离子注入的掺杂方法，但扩散仍然是最主要、最普遍的掺杂方法。扩散炉管设有装载区风门，装载区风门主要功能是实现扩散炉中的的装载区与外界的空气对流，从而保证装载区中的压力和氧气浓度。装载区风门异常时，即没有打开或者处于开关临界点(时关时开的状态)会导致装载区中的环境异常，形成扰流和过压等问题。使得有机颗粒、水汽或微粒子电荷等未知颗粒吸附于晶圆表面。工程师无法得知装载区风门的关闭情况，传统的侦测方式是定期点检。定期点检的不能够实时的对装载区炉门进行检测，当装载区炉门出现异常时，大批量的产品已经受到了影响。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术存在的上述不足，提出一种扩散炉管的装载区风门监控方法，能够实时的检测扩散炉管中的氧气浓度，并根据装载区风门的关闭或开启状态来判断是否发出警报，能够有效的监控装载区风门并及时的发出警报以提醒用户及时处理，从而降低了产品的报废风险。本专利技术是通过以下技术方案实现的：本专利技术涉及一种扩散炉管的装载区风门监控方法，其中，于所述扩散炉管中设置一用于检测所述扩散炉管中的氧气浓度的检测模块；所述检测模块与一控制模块相连，所述控制模块与所述装载区风门相连；所述控制模块连有一警报模块；所述装载区风门监控方法具体包括：步骤S1，所述控制模块通过所述检测模块获得所述扩散炉管中的氧气浓度值；步骤S2，所述控制模块将所述氧气浓度值与一预设的阈值比较，判断所述氧气浓度值是否小于所述阈值：若是，则所述控制模块控制所述警报模块发出警报；若否，则转到步骤S3；步骤S3，所述控制模块从所述装载区风门获取所述装载区风门的状态信息，并根据所述状态信息判断所述装载区风门是否关闭：若是，则所述控制模块控制所述警报模块发出警报；若否，则回到步骤S1。优选的，该扩散炉管的装载区风门监控方法，其中，所述控制模块通过一控制过程控制所述装载区风门开合，所述控制过程包括：步骤A1，所述控制模块通过所述检测模块获得所述扩散炉管中的氧气浓度值；步骤A2，所述控制模块将所述氧气浓度值与一预设的触发点设定值相比较，以判断所述氧气浓度值是否小于所述触发点设定值：若是，则所述控制模块控制所述装载区风门关闭；若否，则所述控制模块控制所述装载区风门打开，随后回到步骤A1。优选的，该扩散炉管的装载区风门监控方法，其中，在所述步骤S2中，所述氧气浓度值小于所述阈值时，所述控制模块获取所述装载区风门的状态信息并根据所述状态信息判断所述装载区风门是否关闭：若是，则所述控制模块控制所述警报模块发出警报；若否，则所述控制模块控制所述警报模块发出警报，并生成用于指示所述装载区风门处于异常状态的异常信息。优选的，该扩散炉管的装载区风门监控方法，其中，在所述步骤S3中，所述装载区风门关闭时，所述控制模块控制所述警报模块发出警报，并生成用于指示所述装载区风门处于异常状态的异常信息。优选的，该扩散炉管的装载区风门监控方法，其中，所述装载区风门中设有一用于存储所述状态信息的存储模块。优选的，该扩散炉管的装载区风门监控方法，其中，所述存储模块为一寄存器，所述装载区风门关闭时所述寄存器置0，所述装载区风门打开时所述寄存器置1。优选的，该扩散炉管的装载区风门监控方法，其中，所述阈值小于所述触发点设定值。优选的，该扩散炉管的装载区风门监控方法，其中，所述控制模块中设有一互锁编辑单元，用户通过所述互锁编辑单元设定所述阈值。优选的，该扩散炉管的装载区风门监控方法，其中，所述触发点设定值为19.5％。优选的，该扩散炉管的装载区风门监控方法，其中，所述检测模块为氧气侦测计。上述技术方案的有益效果是：本专利技术能够实时的检测扩散炉管中的氧气浓度，并根据装载区风门的关闭或开启状态来判断是否发出警报，能够有效的监控装载区风门并及时的发出警报以提醒用户及时处理，从而降低了产品的报废风险。附图说明图1为本专利技术的较佳的实施例中，一种扩散炉管的装载区风门监控方法流程示意图；图2为本专利技术的较佳的实施例中，控制模块的控制过程流程示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步说明，但不作为本专利技术的限定。本实施例涉及一种扩散炉管的装载区风门监控方法。在所述扩散炉管中设置一用于检测所述扩散炉管中的氧气浓度的检测模块。检测模块可以是氧气侦测计。通过检测模块即氧气侦测计来实时的检测扩散炉管中的氧气浓度值，以供后续过程使用。所述检测模块与一控制模块相连，所述控制模块与所述装载区风门相连。控制模块同时与检测模块和装载区风门相连，可以获取检测模块中的氧气浓度值，并根据氧气浓度值来控制装载区风门。控制模块也同时与整个扩散炉管的控制系统相连，可以接收控制系统的指令。装载区风门中设置有存储模块，用于存储装载区风门的状态信息，状态信息表示了装载区风门处于打开状态还是关闭状态，即控制模块根据存储模块中的状态信息可以判断装载区风门处于打开状态还是关状态，从而进行进一步的处理。所述控制模块连有一警报模块。控制模块经过逻辑判断后可以通过警报模块发出警报。如图1所示，本实施例的装载区风门监控方法，包括：步骤S1，所述控制模块通过所述检测模块获得所述扩散炉管中的氧气浓度值。步骤S2，所述控制模块将所述氧气浓度值与一预设的阈值比较，判断所述氧气浓度值是否小于所述阈值：若是，则所述控制模块控制所述警报模块发出警报；若否，则转到步骤S3。预设的阈值必须小于触发点设定值。此处的阈值可以取19％或18.5％。控制单元将从检测模块处获得的氧气浓度值与预设的阈值比较，并进一步的判断氧气浓度值是否小于阈值。氧气浓度值小于所述阈值时，所述控制模块获取所述装载区风门的状态信息并根据所述状态信息判断所述装载区风门是否关闭：若是，则所述控制模块控制所述警报模块发出警报；若否，则所述控制模块控制所述警报模块发出警报，并生成用于指示所述装载区风门处于异常状态的异常信息。在氧气浓度值小于所述阈值且装载区风门打开时，控制模块不仅控制警报模块发出警报，也生成用于指示所述装载区风门处于异常状态的异常信息。此时，装载区风门处于异常状态，往往表示装载区风门损坏，需要提示用户对该异常状态及时处理。步骤S3，所述控制模块从所述装载区风门获取所述装载区风门的状态信息，并根据所述状态信息判断所述装载区风门是否关闭：若是，则本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散炉管的装载区风门监控方法，其特征在于，于所述扩散炉管中设置一用于检测所述扩散炉管中的氧气浓度的检测模块；所述检测模块与一控制模块相连，所述控制模块与所述装载区风门相连；所述控制模块连有一警报模块；所述装载区风门监控方法具体包括：步骤S1，所述控制模块通过所述检测模块获得所述扩散炉管中的氧气浓度值；步骤S2，所述控制模块将所述氧气浓度值与一预设的阈值比较，判断所述氧气浓度值是否小于所述阈值：若是，则所述控制模块控制所述警报模块发出警报；若否，则转到步骤S3；步骤S3，所述控制模块从所述装载区风门获取所述装载区风门的状态信息，并根据所述状态信息判断所述装载区风门是否关闭：若是，则所述控制模块控制所述警报模块发出警报；若否，则回到步骤S1。

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉管的装载区风门监控方法，其特征在于，于所述扩散炉管中设置一用于检测所述扩散炉管中的氧气浓度的检测模块；所述检测模块与一控制模块相连，所述控制模块与所述装载区风门相连；所述控制模块连有一警报模块；所述装载区风门监控方法具体包括：步骤S1，所述控制模块通过所述检测模块获得所述扩散炉管中的氧气浓度值；步骤S2，所述控制模块将所述氧气浓度值与一预设的阈值比较，判断所述氧气浓度值是否小于所述阈值：若是，则所述控制模块控制所述警报模块发出警报；若否，则转到步骤S3；步骤S3，所述控制模块从所述装载区风门获取所述装载区风门的状态信息，并根据所述状态信息判断所述装载区风门是否关闭：若是，则所述控制模块控制所述警报模块发出警报；若否，则回到步骤S1。2.根据权利要求1所述的扩散炉管的装载区风门监控方法，其特征在于，所述控制模块通过一控制过程控制所述装载区风门开合，所述控制过程包括：步骤A1，所述控制模块通过所述检测模块获得所述扩散炉管中的氧气浓度值；步骤A2，所述控制模块将所述氧气浓度值与一预设的触发点设定值相比较，并判断所述氧气浓度值是否小于所述触发点设定值：若是，则所述控制模块控制所述装载区风门关闭；若否，则所述控制模块控制所述装载区风门打开，随后回到步骤A1。3.根据权利要求1所述的扩散炉管的装载区风门监控方法，其特征在于，在所述步骤S2中，...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏巍，俞玮，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31