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本发明公开了一种扩散炉管的装载区风门监控方法，其属于半导体领域的技术，包括：步骤S1，所述控制模块通过所述检测模块获得所述扩散炉管中的氧气浓度值；步骤S2，判断所述氧气浓度值是否小于所述阈值：若是，则所述控制模块控制所述警报模块发出警报；若...
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