基于波形优化匹配的石英晶片研磨控制方法技术

本发明专利技术公开了基于波形优化匹配的石英晶片研磨控制方法，能在石英晶片研磨过程中稳定实时地测量从5M到70MHZ的频率；本系统可以显示晶片研磨生产过程中的各种状态并提出建议，在线测频过程中实时监控石英晶片研磨状态，若出现异常情况实时关停研磨机，防止超频事件的发生，用户可根据触摸屏上显示的这些状态有效提高生产效率；加入“跳频约束策略”彻底解决ALC系统“在某些频段发生测频值跳变”的问题；提供晶片研磨实时平均频率、研磨速率和散差等多样化统计参数，为更换研磨砂和维修研磨盘面提供科学依据，解决ALC系统“无法监控研磨机状态”的缺陷。

Quartz wafer lapping control method based on waveform optimization matching

The invention discloses a quartz wafer grinding control method based on waveform optimization matching, which can measure the frequency from 5M to 70MHZ stably and in real time during the process of quartz wafer grinding; the system can display various states in the process of wafer grinding and make suggestions; and real-time monitor the state of quartz wafer grinding in the process of on-line frequency measurement. If abnormal conditions occur, the grinder can be shut down in real time to prevent the occurrence of overfrequency incidents. Users can effectively improve production efficiency according to these states displayed on the touch screen. Frequency hopping restraint strategy is added to solve the problem of frequency hopping in some frequency bands in ALC system thoroughly. Various statistical parameters, such as grinding rate and dispersion, provide scientific basis for replacing grinding sand and repairing grinding disk surface, and solve the defect of \unable to monitor grinding machine status\ in ALC system.

【技术实现步骤摘要】
基于波形优化匹配的石英晶片研磨控制方法
本专利技术涉及基于波形优化匹配的石英晶片研磨控制方法。
技术介绍
电子信息产业是国民经济的支柱产业，石英晶体振荡器在电子信息行业中具有极其重要的地位。中国是石英晶体元器件的生产大国，但是产值、产品质量与发达国家相比仍有较大差距。行业近年来发展十分迅速，对石英晶体元器件生产过程中的加工设备和在线高精度测控设备的需求量也在不断增加。晶片研磨是石英晶振生产过程中必不可少的步骤，晶片电参数测试是这一步骤中的关键测控技术，国内很多研究机构都对其进行了研究探索。20世纪九十年代，天津大学就基于国际标准的传输法原理对石英晶体的电参数进行了测量。从2002年到2004年，北京机械工业学院对π网络法测量石英晶体电参数的原理及π网络中分布参数对测量精度的影响进行了研究。中南大学信息科学与工程学院在2004年提出了一种使用直接数字频率合成器(DDS)作为激励信号源的方法和以此为基础实现石英晶片电参数计算机测量系统。北京航空航天大学在2006年设计了一种频率高达200MHz的石英晶体电参数测量系统。2009年哈尔滨工业大学以π网络最大传输测量方法为基础设计石英晶体参数本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.基于波形优化匹配的石英晶片研磨控制方法，其特征在于，系统通电开机后，进行外设初始化配置，外设初始化结束后，提示系统开始通电工作；系统进入硬件自检，硬件自检结果进行显示；硬件自检未通过则等待用户进行检修后重新进行自检；通过硬件自检后则进入数据初始化流程；数据初始化结束后系统进入待机状态；系统在待机状态下实时监测控制及设置按钮的操作，并根据控制及设置按钮的操作，作出控制动作或者读取设置参数后，根据设置的参数作出控制动作；所述控制及设置按钮的操作包括参数设置操作，系统实时监控用户参数设置操作状态，一旦进入参数设置操作状态，对系统运行过程中的扫频参数、波形匹配参数、谐振频率显示参数和谐振频率约束参...

【技术特征摘要】
1.基于波形优化匹配的石英晶片研磨控制方法，其特征在于，系统通电开机后，进行外设初始化配置，外设初始化结束后，提示系统开始通电工作；系统进入硬件自检，硬件自检结果进行显示；硬件自检未通过则等待用户进行检修后重新进行自检；通过硬件自检后则进入数据初始化流程；数据初始化结束后系统进入待机状态；系统在待机状态下实时监测控制及设置按钮的操作，并根据控制及设置按钮的操作，作出控制动作或者读取设置参数后，根据设置的参数作出控制动作；所述控制及设置按钮的操作包括参数设置操作，系统实时监控用户参数设置操作状态，一旦进入参数设置操作状态，对系统运行过程中的扫频参数、波形匹配参数、谐振频率显示参数和谐振频率约束参数进行设置；扫频参数包括单位时间内扫频次数、扫频幅值、扫频速度、扫频步进；波形匹配参数包括搜索宽度、峰值约束；谐振频率显示参数包括频率校准；谐振频率约束参数包括极差设置；所述控制及设置按钮的操作还包括进入单次测频流程的操作、读取控制策略参数的操作、读取在线测频参数的操作、进入修盘流程操作和进入在线测频流程的操作；单次测频流程的操作包括：单次测频流程根据扫频参数的设置对石英晶片进行谐振频率测试，单次测频流程对系统的AD采样数据的处理，通过波形匹配方法、数据平滑处理和求最大值方法分析得出晶片的静态谐振频率、标准差、实时峰高、谐振线宽、单位时间内的谐振次数，测频结果发送进行显示;波形匹配方法，包括根据谐振波形的波形特征，在波形上依照时间顺序取8个点进行幅值比较，其中1，2，3，4，5，6，7点间的间距为一个搜索宽度，7，8点的间距为3个搜索宽度，若第4点为最大值，第7点为最小值，且1，2，3点的值依次增大，5，6两点的值依次减小，则为该波形为匹配的波形，将该段波形截取出来做临近点数据平滑处理。2.根据权利要求1所述的基于波形优化匹配的石英晶片研磨控制方法，其特征在于，读取控制策略参数的操作包括：系统实时监控读取控制策略参数的操作的状态，一旦进入控制策略参数的操作，对系统运行过程中的在线测频控制策略参数、在线测频统计参数、圈数统计参数、修盘参数进行设置；在线测频控制策略参数包括目标频率到达次数、测频异常跳出次数、异常跳出时间、异常跳出极差设置、速率跳出上限、速率跳出下限；在线测频统计参数包括频率统计、速率统计、极差统计；圈数...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈一信，郭彬，潘凌锋，陈浙泊，
申请(专利权)人：浙江大学台州研究院，
类型：发明
国别省市：浙江,33