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本发明公开了基于波形优化匹配的石英晶片研磨控制方法，能在石英晶片研磨过程中稳定实时地测量从5M到70MHZ的频率；本系统可以显示晶片研磨生产过程中的各种状态并提出建议，在线测频过程中实时监控石英晶片研磨状态，若出现异常情况实时关停研磨机，防...
该专利属于浙江大学台州研究院所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学台州研究院授权不得商用。

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