【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】输送系统
本专利技术涉及输送系统。
技术介绍
作为以往的输送系统，例如，公知有专利文献1所记载的系统。专利文献1所记载的输送系统具备：第一轨道，其在处理装置的装载端口的上部通过；顶棚行驶车，其沿着第一轨道行驶，并且具备吊车；第二轨道，其在第一轨道的下方且在装载端口的上方通过，并且与第一轨道平行配置；用于放置载体的暂存区，其在第二轨道的下方且在比装载端口高的位置，设置为使载体在装载端口的正上方部分在铅垂方向上自如通过；以及区域台车，其具备在暂存区和装载端口之间交接载体的吊车，并且沿着第二轨道行驶。专利文献1：日本特开2012－111635号公报在现有的技术中，通常，第一轨道在工序之间设置，通过顶棚行驶车在工序之间进行载体的输送。但是，在上述轨道中，顶棚行驶车所能够采用的行驶路径受限，存在其他的顶棚行驶车堵塞行驶路径等，妨碍后续的顶棚行驶车的行驶，而使工序之间的输送效率降低之虞。
技术实现思路
本专利技术的一个方面的目的在于，提供一种可实现工序之间的载体的输送效率的提高的输送系统。本专利技术的一个方面的输送系统，是将收容基板的载体在对基板进行处理的多个处理装置中的各移载端...
【技术保护点】
1.一种输送系统，其是将收容基板的载体在对所述基板进行处理的多个处理装置中的各移载端口彼此之间进行输送的输送系统，其具备：行驶导轨，其具有向第一方向呈直线状延伸的多个第一导轨、和向与所述第一方向正交的第二方向延伸的多个第二导轨，多个所述第一导轨与多个所述第二导轨在同一平面上呈格子状配置；以及多个台车，它们具有能够在所述行驶导轨上向所述第一方向和所述第二方向行驶的行驶部、和包含对所述载体进行保持的保持部及使所述保持部升降的升降部的移载部，所述行驶导轨配置为能够使所述台车自如移入在实施规定的工序的处理的第一处理装置组中的各所述移载端口的正上方配置有所述移载部的第一停止位置，并且...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03.03 JP 2016-0415321.一种输送系统，其是将收容基板的载体在对所述基板进行处理的多个处理装置中的各移载端口彼此之间进行输送的输送系统，其具备：行驶导轨，其具有向第一方向呈直线状延伸的多个第一导轨、和向与所述第一方向正交的第二方向延伸的多个第二导轨，多个所述第一导轨与多个所述第二导轨在同一平面上呈格子状配置；以及多个台车，它们具有能够在所述行驶导轨上向所述第一方向和所述第二方向行驶的行驶部、和包含对所述载体进行保持的保持部及使所述保持部升降的升降部的移载部，所述行驶导轨配置为能够使所述台车自如移入在实施规定的工序的处理的第一处理装置组中的各所述移载端口的正上方配置有所述移载部的第一停止位置，并且能够使所述台车从所述第一停止位置自如移入在实施与所述规定的工序不同的工序的处理的第二处理装置组中的各所述移载端口的正上方配置有所述移载部的第二停止位置。2.根据权利要求1所述的输送系统，其中，多个所述移载端口在所述第一处理装置组和所述第二处理装置组各组中，沿着所述第一方向或者所述第二方向彼此相邻地配置，所述行驶导轨配置为能够使所述台车从在所述第一处理装置组和所述第二处理装置组中以排列方向平行的方式设置的多个所述移载端口的正上方配置有所述移载部的所述第一停止位置自如移入所述第二停止位置。3.根据权利要求2所述的输送系统，其中，所述行驶导轨配置为能够使所述台车从在所述第一处理装置组和所述第二处理装置组中在互为对置地配置的多个所述移载端口的正上方配置有所述移载部的所述第一停止位置自如移入所述第二停止位置。4.根据权利要求2或3所述的输送系统，其中，具备多个以使多个所述移载端口的排列方向平行的方式设置的所述第一处理装置组和所述第二处理装置组，所述行驶导轨配置为能够使所述台车自如移入在一个所述第一处理装置组和所述第二处理装置组的所述移载端口的正上方配置有所述移载部的所述第一停止位置，并且能够使所述台车从所述第一停止位置自如移入在其他的所述第一处理装置组和所述第二处理装置组的所述移载端口的正上方配置有所述移载部的所述第二停止位置。5.根据权利要求1或2所述的输送系统，其中，所述第一处理装置组和所述第二处理装置组分别具有沿着所述第一方向配置的多个所述移载端口和沿着所述第二方向配置的多个所述移载端口，在所述第一处理装置组和所述第二处理装置组各组中...
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