【技术实现步骤摘要】
具有束流自动反馈控制的考夫曼离子源
本专利技术涉及一种离子源的束流稳定控制电路设计，属于电子
技术介绍
离子源广泛应用于光学真空镀膜、材料表面精细抛光与蚀刻等领域，在真空镀膜的考夫曼型离子源中，离子源输出的离子束流受到阴极灯丝变化、工作气体扰动以及真空室真空度变化等影响而改变，使离子束轰击被加工产品的能量不稳定。传统的离子源设备是靠人工调节阴极灯丝电压来跟踪补偿使束流稳定的。
技术实现思路
现有考夫曼离子源，在真空镀膜时输出的离子束流受到阴极灯丝变化、工作气体扰动、真空室真空度变化以及离子源温度变化等影响，比如随着阴极灯丝的热蒸发，阴极灯丝越烧越细，电阻增加，从而使阴极发射的热电子逐渐减少导致输出束流逐渐减小，这时就需要人为调大阴极灯丝电压以保持离子源束流稳定。本专利技术设计了一种针对于离子束流变化的自动反馈调节电路，该电路采集输出束流的变化，将负反馈信号传递给阴极灯丝控制电路，当离子束流减弱时，适当增大阴极灯丝功率，而在离子束流增强时，适当减小阴极灯丝功率，从而使输出束流始终维持稳定。本专利技术的有益之处是，用自动反馈电路跟踪离子源输出束流的变化，实时调整，使离子源输出束流保持稳定，从而使离子源辅助镀膜的光学薄膜结构稳定，改善光学薄膜的一致性和牢固度，也减少了镀膜过程中对离子源设备的人工干预。附图说明图1是本专利技术实施例的示意图。具体实施方式以下结合附图进一步详细说明本专利技术的实施例。一种针对于束流变化的自动反馈调节电路，该电路通过电位器(1)输入设定的束流值，在束流取样比较电路(7)中，通过取样屏栅(6)到地之间的离子束流电流值并与设定束流值...
【技术保护点】
1.一种具有束流自动反馈控制的考夫曼离子源，其特征在于通过负反馈电路的自动调节，使离子束流输出稳定。
【技术特征摘要】
1.一种具有束流自动反馈控制的考夫曼离子源，其特征在于通过负反馈电路的自动调节，使离子束流输出稳定。2.如权利要求1所述的离子源，其特征在于取样比较电路中通过取样屏栅到地之间的离子束流值并与设定束流值相比较，产生负反馈信号。3.如权利要求1所述的离子源，其特征在于负反馈信号通过改变...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘杰，
申请(专利权)人：上海伟钊光学科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
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