一种等离子发生器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种等离子发生器，包括石英管、电极棒、第一主体和第二主体，所述电极棒容置于所述石英管内；所述石英管的侧壁设有开口，且所述开口的长度等于石英管的长度；所述第一主体和第二主体沿石英管的径向相对于石英管对称分布；所述第一主体和第二主体上均设置有导流通道，所述导流通道的出口端靠近所述石英管的外壁设置，以使气流能够沿石英管的外壁流动。本实用新型专利技术设计开槽式的石英管，可防止在冷热变化中石英管发生热胀冷缩而引起的爆裂；本实用新型专利技术气流的出口可沿整个石英管的长度方向排布，电离出的等离子束比较长，处理大面积工件时效率更高；石英管外壁的导流作用也使得整个装置工作时的噪音更小。

A plasma generator

The utility model discloses a plasma generator, comprising a quartz tube, an electrode rod, a first body and a second body, wherein the electrode rod is positioned in the quartz tube; the side wall of the quartz tube is provided with an opening, and the length of the opening is equal to the length of the quartz tube; the first body and the second body are along the diameter of the quartz tube. It is symmetrically distributed relative to the quartz tube, and the first body and the second body are provided with a flow passage, the outlet of which is arranged close to the outer wall of the quartz tube, so that the air flow can flow along the outer wall of the quartz tube. The utility model designs a slotted quartz tube, which can prevent the explosion caused by the thermal expansion and cold contraction of the quartz tube during the cold and hot changes; the air outlet of the utility model can be arranged along the length direction of the whole quartz tube; the ionized plasma beam is longer, and the efficiency of treating large-area workpieces is higher; the diversion operation of the quartz tube outer wall is higher; It also makes noise less when the whole device works.

【技术实现步骤摘要】
一种等离子发生器
本技术涉及等离子
，尤其涉及一种等离子发生器。
技术介绍
目前，公知的低温等离子发生装置采用石英等作为介质材料，在未工作时，石英管为常温状态，在工作过程中，由于石英管接触高温气流急剧升温容易发生炸裂，导致等离子发生装置损坏。而且在现有技术中，电离气体也都是在石英管内部流动发生电离，等离子束的出口基本都是石英管的端口，导致等离子束的工作面较小，对于大面积工件来说，现有的这些等离子发生装置的工作效率太低。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是：提供一种等离子发生器，不仅能够防止石英管损坏，而且具有较高的工作效率。为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：一种等离子发生器，包括石英管、电极棒、第一主体和第二主体，所述电极棒容置于所述石英管内；所述石英管的侧壁设有开口，且所述开口的长度等于石英管的长度；所述第一主体和第二主体沿石英管的径向相对于石英管对称分布；所述第一主体和第二主体上均设置有导流通道，所述导流通道的出口端靠近所述石英管的外壁设置，以使气流能够沿石英管的外壁流动。进一步的，所述电极棒内设置有冷却流体通道，所述冷却流体通道的长度方向与所述电极棒的长度方向一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种等离子发生器，其特征在于，包括石英管、电极棒、第一主体和第二主体，所述电极棒容置于所述石英管内；所述石英管的侧壁设有开口，且所述开口的长度等于石英管的长度；所述第一主体和第二主体沿石英管的径向相对于石英管对称分布；所述第一主体和第二主体上均设置有导流通道，所述导流通道的出口端靠近所述石英管的外壁设置，以使气流能够沿石英管的外壁流动。

【技术特征摘要】
1.一种等离子发生器，其特征在于，包括石英管、电极棒、第一主体和第二主体，所述电极棒容置于所述石英管内；所述石英管的侧壁设有开口，且所述开口的长度等于石英管的长度；所述第一主体和第二主体沿石英管的径向相对于石英管对称分布；所述第一主体和第二主体上均设置有导流通道，所述导流通道的出口端靠近所述石英管的外壁设置，以使气流能够沿石英管的外壁流动。2.如权利要求1所述的等离子发生器，其特征在于，所述电极棒内设置有冷却流体通道，所述冷却流体通道的长度方向与所述电极棒的长度方向一致；所述冷却流体通道的入口和出口分别靠近所述电极棒的两端设置。3.如权利要求1所述的等离子发生器，其特征在于，还包括电源输入端子和电极连接件，所述电极连接件位于所述开口内且与所述电极棒相连接，所述电极连接件与所述电源输入端子电连接。4.如权利要求3所述的等离子发生器，其特征在于，所述电极连接件为T型件，所述T型件的底端位于所述开口内，所述T型件的顶端电连接于电源输入端子。5.如权利要求4所述的等离子发生器，其特征在于，还包括盖板和电极固定件，所述盖板盖设...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡卫，
申请(专利权)人：深圳市诚峰智造有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44