一种准分子激光智能清洗设备制造技术

本发明专利技术涉及激光清洗技术领域，为一种准分子激光作为清洗光源的智能激光清洗设备，设备由准分子激光器、光学系统、控制系统和工作台组成。本发明专利技术是将准分子激光器输出的紫外波段激光经由光学系统整形后传输并照射到需要清洗的工件表面部位，通过紫外激光对工件表面被清洗物质的物理、化学等的作用从而消除被清洗物质，达到清洗工件的目的。准分子激光智能清洗设备具有无研磨、非接触、激光能量密度高、热效应小等特点，同时紫外波长的激光可以有效清洗其他波长激光无法清洗的特殊材料杂质、污染等，是一种高效、高质量和针对性强的清洗设备。

An excimer laser intelligent cleaning equipment

The invention relates to the technical field of laser cleaning, which is an intelligent laser cleaning equipment using excimer laser as cleaning light source. The equipment consists of excimer laser, optical system, control system and worktable. The invention transmits and irradiates the ultraviolet wave-band laser output from the excimer laser through the optical system after shaping, and eliminates the cleaned substance through the action of ultraviolet laser on the physical and chemical properties of the cleaned substance on the surface of the workpiece, so as to achieve the purpose of cleaning the workpiece. Excimer laser intelligent cleaning equipment has the characteristics of non-grinding, non-contact, high laser energy density, low thermal effect and so on. at the same time, ultraviolet laser can effectively clean the special material impurities and pollution that other wavelength laser can not clean. it is a high-efficiency, high-quality and targeted cleaning equipment.

【技术实现步骤摘要】
一种准分子激光智能清洗设备
本专利技术涉及紫外激光清洗
，具体为准分子激光智能清洗设备。
技术介绍
光清洗是基于光与物质相互作用效应的一种新型高效的环保清洗技术,光清洗具有无研磨、非接触、热效应小和适用于多种材质的物体等清洗特点，被认为是可靠、有效和环保的清洗技术。紫外光由于其独特的波长特性，对于一些特殊物质的清洗有其他波段的光清洗所不可替代的效果。由于大多数有机物对紫外光具有较强的吸收能力，并在吸收紫外光的能量后分解或再合成为可挥发的气体脱离被清洗物表面，实现清洁目的。准分子激光智能清洗设备具有无研磨、非接触、激光能量密度高、热效应小等特点，同时紫外波长的激光可以有效清洗其他波长激光无法清洗的特殊材料杂质、污染等，是一种高效、高质量和针对性强的清洗设备。然而，传统的手持式激光清洗或者固定式激光清洗，激光清洗轨迹很细只有一条单线，往复清洗操作难度大，很难保证清洗效果的一致性，很容易形成斑马纹及重点，影响清洗产品的美观。而且，针对清洗物的成分、数量、形态，被污染程度等的不同，对光的能量密度，光斑大小、形状、清洗轨迹等参数的要求差异也极大。一般的激光清洗并不能满足高效清洗的要求。LabVIEW(LaboratoryVirtualinstrumentEngineeringWorkbench)是一种图形化的编程语言的开发环境，它广泛地被工业界、学术界和研究实验室所接受，视为一个标准的数据采集和仪器控制软件。
技术实现思路
针对现有技术的上述缺陷，本专利技术目的在于提供一种准分子激光智能清洗设备，通过对光束的整形、移动以及工件的移动等方式提供一种准确、高效的激光清洗方法，一种准分子激光智能清洗设备并通过LabVIEW软件的数据采集，仪器控制功能，实现智能化清洗。为解决上述问题，本专利技术采用如下技术方案：，包括准分子激光器、光学系统、反射镜、工作台和整机控制系统，所术准分子激光器发出的紫外激光，先通过所述光学系统再经所述反射镜反射到工作台上，所述工作台用于固定待清洗工件，所述控制系统控制设备的清洗工作状态和过程。作为本专利技术优选的，所述准分子激光器输出波长为308nm、248nm、193nm或157nm的紫外激光。作为本专利技术优选的，所述光学系统是由光学整形镜、光学聚焦系统或其他光学变换功能的光学模块组成。作为本专利技术优选的，在所述光学系统上还包括一可以改变紫外光束形状的掩膜。作为本专利技术优选的，所述反射镜为对应准分子激光器输出的波长的激光反射镜片。作为本专利技术优选的，所述反射镜为带扫描功能的反射振镜。作为本专利技术优选的，所述工件台是电动工作平台，可以根据清洗工件的形状和清洗面积做三维移动。作为本专利技术优选的，还包括一台CCD相机，所述CCD相机通过数据线与控制系统连接。作为本专利技术优选的，控制系统具有显示、存储和控制功能，同时对准分子激光器的工作状态和工件台的位移进行控制。作为本专利技术优选的，控制系统应用LabVIEW软件对准分子激光器的工作状态和工件台的位移进行控制。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1、本专利技术通过控制系统可以实时监控清洗过程，以防止过度清洗对工件的表面造成不必要的损害；2、本专利技术通过控制系统控制工作台的移动替代手工移动清洗或是固定清洗，可以实现对三维工件的高效清洗目的；3、本专利技术通过对光的能量密度，光斑大小、形状、清洗轨迹等参数的设置，可以针对工件的成分、数量、形态，被污染程度等不同条件实现有效清洗。附图说明图1为本专利技术所述的准分子激光智能清洗设备示意图；其中，各附图标记为：1、准分子激光器；2、光学系统；3、反射镜；4、待清洗工件；5、工作台；6、控制系统具体实施方式下面，结合具体实施方式，对本专利技术做进一步描述：如图1所示，本专利技术所述的准分子激光智能清洗设备，包括准分子激光器1、光学系统2、反射镜3、工作台5和整机控制系统6，所述准分子激光器1发出的紫外激光，先通过所述光学系统2再经所述反射镜3反射到工作台5上，工作台5用于固定待清洗工件4，所述控制系统6控制设备的清洗工作状态和过程。作为进一步的方案，本专利技术所述的准分子激光器1输出波长为308nm、248nm、193nm或157nm的紫外激光。不同的物质对不同波长的紫外激光吸收程度又不同，根据所要清洗的工件受污染的程度以及污染物的不同选用不同的波长。作为进一步的方案，本专利技术所述所述光学系统2是由光学整形镜、光学聚焦系统或其他光学变换功能的光学模块组成。作为进一步的方案，本专利技术所述的光学系统2是由光学整形镜、光学动态聚焦系统或其他光学变换功能的光学模块组成，光学系统用于改变光斑的大小，形状。作为进一步的方案，在所述光学系统2上还包括一可以改变紫外光束形状的掩膜(图未示)，掩膜是一种不透光的材料，可以将光斑根据需要改变成特定的形状。作为进一步的方案，本专利技术所述的反射镜3为对应准分子激光器输出的波长的激光反射镜片。作为进一步的方案，本专利技术所述的反射镜3为带扫描功能的反射振镜，可以改变经过整形的光束的照射路径，让激光在工件上做扫描清洗，扩大清洗的范围，提高清洗的效率。作为进一步的方案，本专利技术所述的工件台5是电动工作平台，可以根据清洗工件的形状和清洗面积做三维移动。在激光束固定不变的条件下，通过控制系统可以设定工作台的移动路径，实现在自动清洗，特别是针对有三维结构的工件，在同一水平面上的清洗结束后可以自动调整到另一水平面。作为进一步的方案，本专利技术还包括一影像捕获器，所述影像捕获器优选的为一台CCD相机，并通过数据线与控制系统6连接。影像捕获器根据需要可以安放在工件的四周或是上方，为控制系统提供实时的清洗情况图像。当发现异常情况时，还可以人为中止清洗程序。作为进一步的方案，本专利技术所述的控制系统具有显示、存储和控制功能，上述功能通过应用LabVIEW软件实现；在清洗前先通过对待清洗工件的图像采集以及分析，确定成分、数量、形态，被污染程度等数据并将相应的数据输入系统，完成数据的采集；进一步的，确定准分子激光器1的工作参数和设置工件台5的位移路径，通过预先设置好的LabVIEW控制程序完成自动清洗，实现智能清洗功能。对本领域的技术人员来说，可如以上描述的技术方案以及构思，做出其它各种相应的改变以及形变，而所有的这些改变以及形变都应该属于本专利技术权利要求的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种准分子激光智能清洗设备，包括准分子激光器(1)、光学系统(2)、反射镜(3)、工作台(5)和整机控制系统(6)，其特征在于：所述准分子激光器(1)发出的紫外激光，先通过所述光学系统(2)再经所述反射镜(3)反射到工作台(5)上，所述工作台(5)用于固定待清洗工件，所述控制系统(6)控制设备的清洗工作状态和过程。

【技术特征摘要】
1.一种准分子激光智能清洗设备，包括准分子激光器(1)、光学系统(2)、反射镜(3)、工作台(5)和整机控制系统(6)，其特征在于：所述准分子激光器(1)发出的紫外激光，先通过所述光学系统(2)再经所述反射镜(3)反射到工作台(5)上，所述工作台(5)用于固定待清洗工件，所述控制系统(6)控制设备的清洗工作状态和过程。2.根据权利要求1所述的一种准分子激光智能清洗设备，其特征在于：所述准分子激光器(1)输出波长为308nm、248nm、193nm或157nm的紫外激光。3.根据权利要求1所述的一种准分子激光智能清洗设备，其特征在于：所述光学系统(2)是由光学整形镜、光学聚焦系统或其他光学变换功能的光学模块组成。4.根据权利要求3所述的一种准分子激光智能清洗设备，其特征在于：在所述光学系统(2)上还包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：马跃，方晓东，朱能伟，梁勖，游利兵，
申请(专利权)人：中山普宏光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44