气体加热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术揭露一种气体加热装置，其为一种避免排气管路中的废气凝结成粉尘而沉积的气体加热装置，本实用新型专利技术气体加热装置包括一外壳、一第一加热器、一导热套筒，以及一输气导管；藉此，本实用新型专利技术主要将螺旋状的输气导管环设于加热器外端部的硬体设计，有效以增加输气导管的导热面积的方式，将加热器的热能传导至输气导管内的气体而达成均温与高热的效率，确实达到提升气体加热的安全性、其体传输顺畅且快速，以及避免排气管路中的废气凝结成粉尘而沉积于排气管内部的主要优势。

Gas heating device

The utility model discloses a gas heating device, which is a gas heating device for avoiding the deposition of dust caused by the condensation of exhaust gas in the exhaust pipe. The gas heating device of the utility model comprises a shell, a first heater, a heat conduction sleeve and a gas transmission pipe; thereby, the utility model mainly spirals the gas heating device. The rigid design of the gas delivery pipe ring at the outer end of the heater can effectively increase the heat conduction area of the gas delivery pipe and transmit the heat energy of the heater to the gas in the gas transmission pipe to achieve the efficiency of uniform temperature and high heat, which can improve the safety of gas heating, smooth and rapid body transmission, and avoid the exhaust pipe. The main advantage of the exhaust gas in the exhaust pipe is the condensation of dust in the road.

【技术实现步骤摘要】
气体加热装置
本技术是有关于一种气体加热装置，特别是有关于一种避免排气管路中的废气凝结成粉尘而沉积的气体加热装置。
技术介绍
按，现行半导体制程中的扩散(Diffusion)和沉积(Deposition)步骤中，必须透过不同的气体在晶圆(Wafer)表面产生反应，藉以形成一层氧化薄膜，由于半导体制程所使用的真空设备在每批晶圆生产过程中皆会伴随废气的排放，而这些废弃在通过真空泵浦之后，会因为废气排气管路的温度降低而形成冷凝现象，使得废气容易凝结为粉尘而沉积在排气管路的内壁上，日积月累下容易造成排气管路内径缩小甚至堵塞，最后导致排气管路的排气量不足而引发工安或卫生等问题，更甚者可能使得排气管路起火而引起火灾与爆炸等危险。中国台湾新型专利第M550461号的“气体加热器”即被研发以解决上述的问题，该专利主要包含有壳体及设于壳体内的加热器与输气管组，输气管组具有盘管、入气管及出气管，盘管内具有用于容置加热器的容置空间，入气管与出气管分别连通于盘管二端，当气体由入气管进入盘管时，加热器会将热能间接传导至盘管，加热盘管内的气体后，再由出气管排入真空泵浦排气管路内加温废气，避免废气凝结成粉尘沉积，减少清洗排气管路次数及人力消耗；盘管内设有提升气体加热效率的复数支撑片，加热器穿设于复数支撑片上而可快速抽换；出气管设有温度感测计，及依据温度感测计所测的气温调整加热器温度的控制器，以提升安全性；此专利的盘管以相邻的直管以U行连接管连接；然而，此举容易导致欲加热的气体于该盘管内的流速不平均，以及气体的温度导热亦不均匀；此外，该盘管与加热气之间藉由复数个支撑片接触而导热，然，其接触面积仅限于局部，容易使得流动于盘管内的气体导热温度慢而导热效果不佳；因此，如何有效藉由创新的硬体设计，确实达到提升气体加热的安全性、其体传输顺畅且快速，以及避免排气管路中的废气凝结成粉尘而沉积于排气管内部等优势，是半导体的气体加热装置等相关产业的开发业者与相关研究人员需持续努力克服与解决的课题。
技术实现思路
本技术所解决的技术问题即在提供一种气体加热装置，其目的在于提供一种避免排气管路中的废气凝结成粉尘而沉积的气体加热装置，主要将螺旋状的输气导管环设于加热器外端部的硬体设计，有效以增加输气导管的导热面积的方式，将加热器的热能传导至输气导管内的气体而达成均温与高热的效率，确实达到提升气体加热的安全性、其体传输顺畅且快速，以及避免排气管路中的废气凝结成粉尘而沉积于排气管内部的主要优势。本技术所采用的技术手段如下所述。提出一种气体加热装置，至少包括有一外壳、一第一加热器、一导热套筒，以及一输气导管；外壳内部开设有一容置空间，外壳的二端部分别开设有一第一开口与一第二开口，其中第一开口与第二开口与容置空间相互贯通；第一加热器设置于容置空间；导热套筒设置于容置空间且位于第一加热器的外端部；输气导管设置于容置空间且环设于导热套筒与第一加热器的外端部。在本技术的一个实施例中，输气导管包括有一入气端、一出气端，以及一气管。在本技术的一个实施例中，其中气管的二端部分别连接入气端与出气端。在本技术的一个实施例中，气管呈螺旋的态样。在本技术的一个实施例中，输气导管的外端部可进一步设置有一保温件。在本技术的一个实施例中，输气导管的外端部可进一步设置有一第二加热器。在本技术的一个实施例中，保温件可进一步设置于第二加热器的外端部。藉此，本技术的气体加热装置主要将螺旋状的输气导管环设于加热器外端部的硬体设计，有效增加输气导管的导热面积的方式，将加热器的热能传导至输气导管内的气体而达成均温与高热的效率，确实达到提升气体加热的安全性、其体传输顺畅且快速，以及避免排气管路中的废气凝结成粉尘而沉积于排气管内部的主要优势。附图说明图1：本技术气体加热装置其一较佳实施例的装置立体示意图。图2：本技术气体加热装置其一较佳实施例的装置分解示意图。图3：本技术气体加热装置其一较佳实施例的整体装置剖面图。图4：本技术气体加热装置其二较佳实施例的装置分解示意图。图5：本技术气体加热装置其二较佳实施例的整体装置剖面图。图6：本技术气体加热装置其三较佳实施例的装置分解示意图。图7：本技术气体加热装置其三较佳实施例的整体装置剖面图。图8：本技术气体加热装置其四较佳实施例的装置分解示意图。图9：本技术气体加热装置其四较佳实施例的整体装置剖面图。图10：本技术气体加热装置其五较佳实施例的整体装置剖面图。图11：本技术气体加热装置其六较佳实施例的装置立体示意图。图号说明：1气体加热装置11外壳111容置空间112第一开口113第二开口12第一加热器13导热套筒14输气导管141入气端142出气端143气管15保温件16第二加热器。具体实施方式首先，请参阅图1至图3所示，为本技术气体加热装置其一较佳实施例的装置立体示意图、装置分解示意图，以及整体装置剖面图，其中本技术的气体加热装置1至少包括有：一外壳11，其内部开设有一容置空间111，该外壳11的二端部分别开设有一第一开口112与一第二开口113，其中该第一开口112与该第二开口113与该容置空间111相互贯通；在本技术其一较佳实施例中，该外壳11由该容置空间111、该第一开口112与该第二开口113所组合而成，其中该容置空间111设置于该外壳11的内部，而该第一开口112与该第二开口113分别开设于该外壳11的二端部，且该容置空间111与该第一开口112与该第二开口113相互贯通；一第一加热器12，设置于该容置空间111；在本技术其一较佳实施例中，该第一加热器12设置于该容置空间111中，而该第一加热器12提供一热能；一导热套筒13，设置于该容置空间111且位于该第一加热器12的外端部；在本技术其一较佳实施例中，该导热套筒13设置于该容置空间111中且位于该第一加热器12的外端部，其中该导热套筒13可聚温该第一加热器12所产生的热能且直接传导至该导热套筒13；以及一输气导管14，设置于该容置空间111且环设于该导热套筒13与该第一加热器12的外端部；此外，该输气导管14包括有一入气端141、一出气端142，以及一气管143，其中该气管143的二端部分别连接该入气端141与该出气端142，而该气管143呈螺旋的态样；在本技术其一较佳实施例中，该输气导管14设置于该容置空间111中且环设于该导热套筒13与该第一加热器12的外端部，且该输气导管14由该入气端141、该出气端142，以及该气管143所组合而成，其中该气管143的二端部分别连接该入气端141与该出气端142，且该气管143呈螺旋的态样；当一气体由该入气端141进入该输气导管14后，该气体在以螺旋状态样呈现的气管143内流动可更流畅且快速，以使该气体于该输气导管14内流动达到均速的效果，而该导热套筒13可增加该气体加热的功率，以使该输气导管14内的气体达到均温与高热效率，不仅可提升气体加热的安全性，亦可有效避免排气管路中的废气凝结成粉尘而沉积于排气管内部。此外，该输气导管14的外端部可进一步设置有一保温件15；请一并参阅图4与图5所示，为本技术气体加热装置其二较佳实施例的装置分解示本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体加热装置，其特征在于，至少包括有：一外壳(11)，其内部开设有一容置空间(111)，该外壳(11)的二端部分别开设有一第一开口(112)与一第二开口(113)，其中该第一开口(112)与该第二开口(113)与该容置空间(111)相互贯通；一第一加热器(12)，设置于该容置空间(111)；一导热套筒(13)，设置于该容置空间(111)且位于该第一加热器(12)的外端部；以及一输气导管(14)，设置于该容置空间(111)且环设于该导热套筒(13)与该第一加热器(12)的外端部。

【技术特征摘要】
1.一种气体加热装置，其特征在于，至少包括有：一外壳(11)，其内部开设有一容置空间(111)，该外壳(11)的二端部分别开设有一第一开口(112)与一第二开口(113)，其中该第一开口(112)与该第二开口(113)与该容置空间(111)相互贯通；一第一加热器(12)，设置于该容置空间(111)；一导热套筒(13)，设置于该容置空间(111)且位于该第一加热器(12)的外端部；以及一输气导管(14)，设置于该容置空间(111)且环设于该导热套筒(13)与该第一加热器(12)的外端部。2.如权利要求1所述的气体加热装置，其特征在于，该输气导管(14)包括有一入气端(141)、一出气端(142)，以及一气管(143)。3.如权利要求2所述的气体加热...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏信瑀，廖志朋，
申请(专利权)人：苏信瑀，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71