一种快门装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种快门装置，包括遮光运动模块和运动控制模块，所述运动控制模块控制所述遮光运动模块运动，所述遮光运动模块包括遮光单元、驱动单元和信号测量单元，所述遮光单元包括两个叶片，所述运动控制模块发出一控制信号，所述驱动单元接收所述控制信号并驱动所述两个叶片运行，所述信号测量单元实时测量并反馈所述两个叶片的运行状态给运动控制模块，所述运动控制模块依据反馈的运行状态更新所述控制信号，解决了现有的快门曝光剂量精度不高以及漏光的问题，满足各种曝光剂量的需求，控制曝光剂量的精度。

A shutter device

The invention provides a shutter device, which comprises a shading motion module and a motion control module. The motion control module controls the movement of the shading motion module. The shading motion module comprises a shading unit, a driving unit and a signal measurement unit. The shading unit comprises two blades and the motion control module sends out. A control signal is sent out. The driving unit receives the control signal and drives the two blades to run. The signal measuring unit measures and feeds back the running state of the two blades to the motion control module in real time. The motion control module updates the control signal according to the running state of the feedback and solves the existing problem. The shutter exposure dose accuracy is not high and the problem of light leakage, to meet the needs of various exposure doses, control the exposure dose accuracy.

【技术实现步骤摘要】
一种快门装置
本专利技术涉及半导体制造
，特别涉及一种快门装置。
技术介绍
光刻机曝光系统中，曝光剂量精度是一极其重要指标，一般曝光剂量精度指标要求低于1％，曝光剂量精度的控制是通过快门叶片的打开-关闭动作控制。对于高功率汞灯光源而言，快门叶片打开-关闭的完成时间为几十毫秒甚至十几毫秒。可见，快门的工作工况为高速启停、高温的较恶劣工况，对快门性能及可靠性有着非常高的要求。目前光刻机曝光系统主要应用的快门为旋转电机驱动的旋转式快门和音圈电机驱动的往复摆动式快门。由于旋转式快门速度不高，无法满足小剂量曝光，而往复摆动式快门目前采用的是开环控制结构，其可靠性较差，且结构对温度变化敏感，剂量精度控制不稳定，漏光现象频发。本专利技术介绍了一种快门装置，可有效满足各种曝光剂量的要求，解决曝光剂量精度不高及漏光等问题
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种快门装置，以解决现有的快门曝光剂量精度不高以及漏光的问题，满足各种曝光剂量的需求，控制曝光剂量的精度。一种快门装置，包括遮光运动模块和运动控制模块，所述运动控制模块控制所述遮光运动模块运动，所述遮光运动模块包括遮光单元、驱动单元和信号测量单元，所述遮光单元包括两个叶片，所述运动控制模块发出一控制信号，所述驱动单元接收所述控制信号并驱动所述两个叶片运行，所述信号测量单元实时测量并反馈所述两个叶片的运行状态给运动控制模块，所述运动控制模块依据反馈的运行状态更新所述控制信号。可选的，所述驱动单元和信号测量单元均为两个，与所述两个叶片一一对应设置。可选的，所述驱动单元包括电机，所述电机驱动所述两个叶片运动实现所述快门装置的开合。可选的，所述遮光运动模块还包括固定轴单元，所述固定轴单元包括轴承座、旋转轴和轴承，所述旋转轴贯穿所述轴承设置在轴承座中，所述两个叶片中连接所述旋转轴设置在所述轴承座一侧，所述驱动单元连接所述旋转轴设置在所述轴承座另一侧。可选的，所述遮光单元还包括叶片转接板，所述两个叶片通过所述叶片转接板与所述旋转轴连接。可选的，所述叶片转接板与所述旋转轴之间设有隔热板。可选的，保证所述两个叶片闭合时不漏光的条件是叶片旋转角度误差α满足如下公式：其中，M为叶片重合量，Mmin为叶片最小重合量，R为叶片旋转半径。可选的，所述信号测量单元包括位置传感器，所述位置传感器用于实时检测所述两个叶片的位置。可选的，所述位置传感器包括旋转编码器或圆形光栅尺，所述旋转编码器或圆形光栅尺固定在旋转轴的末端，实时检测所述两个叶片的旋转角度。可选的，其特征在于，所述位置传感器包括直线光栅尺。可选的，所述运动控制模块包括处理器、触发器和控制器，所述处理器给触发器下达曝光指令，所述触发器根据曝光指令触发控制器，所述处理器通过通讯接口与控制器进行通讯，所述控制器根据通讯信息控制所述遮光运动模块运动。在本专利技术提供的快门装置，包括遮光运动模块和运动控制模块，所述运动控制模块控制所述遮光运动模块运动，所述遮光运动模块包括遮光单元、驱动单元和信号测量单元，所述遮光单元包括两个叶片，所述运动控制模块发出一控制信号，所述驱动单元接收所述控制信号并驱动所述两个叶片运行，所述信号测量单元实时测量并反馈所述两个叶片的运行状态给运动控制模块，所述运动控制模块依据反馈的运行状态更新所述控制信号，解决了现有的快门曝光剂量精度不高以及漏光的问题，满足各种曝光剂量的需求，控制曝光剂量的精度。进一步的，通过控制器对电机的控制，控制叶片的运行状态，并且位置传感器将叶片的状态实时反馈给控制器，控制器进而对电机的驱动力进行调整，从而形成闭环控制，有效解决快门闭合状态下的漏光问题。附图说明图1是本专利技术一实施例的快门装置的架构图；图2是本专利技术一实施例的遮光运动模块结构图；图3为本专利技术一实施例中固定轴单元的截面图；图4是本专利技术一实施例的曝光过程时间图；图5是本专利技术一实施例的叶片位置仿真轨迹图；图6是本专利技术一实施例的叶片速度仿真图；图7是本专利技术一实施例的叶片加速度仿真图；图8是本专利技术一实施例的叶片运动过程中的误差仿真分析。图中标号：1-遮光运动模块；2-运动控制模块；10-固定轴单元；20-信号测量单元；30-遮光单元；40-驱动单元；60-处理器；70-触发器；80-控制器；101-轴承；102-旋转轴；103-隔热板；104-轴承座；201-位置传感器；301-旋转转接板；302-叶片；401-音圈电机磁铁；402-音圈电机线圈。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本专利技术提出的快门装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。现有的快门装置存在剂量精度控制不稳定以及漏光的问题，本专利技术人经过长期的研究和实验，研发了一种新型的快门装置，解决了上述问题。本专利技术提供一种快门装置，包括遮光运动模块和运动控制模块，所述运动控制模块控制所述遮光运动模块运动，所述遮光运动模块包括遮光单元、驱动单元和信号测量单元，所述遮光单元包括两个叶片，所述运动控制模块发出一控制信号，所述驱动单元接收所述控制信号并驱动所述两个叶片运行，所述信号测量单元实时测量并反馈所述两个叶片的运行状态给运动控制模块，所述运动控制模块依据反馈的运行状态更新所述控制信号。图1是本专利技术一实施例的快门装置的架构图，如图1所示，所述快门装置包括遮光运动模块1和运动控制模块2，运动控制模块2控制所述遮光运动模块1运动；图2是本专利技术一实施例的遮光运动模块1的结构图，如图2所示，所述遮光运动模块包括固定轴单元10、信号测量单元20、遮光单元30和驱动单元40，所述信号测量单元20、遮光单元30和驱动单元40均为2套，所述固定轴单元10将两套信号测量单元20、遮光单元30和驱动单元40进行连接，并对称分布，通过两套遮光单元30相背运动实现快门装置的开启，相向运动来实现快门装置的闭合。为方便说明，以下将只以其中一套结构进行说明，所述固定轴单元10连接所述驱动单元40和遮光单元30，所述信号测量单元20与遮光单元30连接，继续参考图1，所述运动控制模块2包括处理器70、触发器60和控制器80，所述处理器70通过通讯接口与控制器80进行通讯，所述处理器70给触发器60下达曝光指令，所述触发器60根据曝光指令触发控制器80，所述控制器80控制遮光单元30的运行状态，信号测量单元20实时反馈遮光单元30的运行状态给处理器70。所述遮光单元30包括叶片转接板301和叶片302，所述叶片301通过螺钉固定在叶片转接板302上。图3为本专利技术一实施例中固定轴单元的截面图，沿着图2中所示A-A’的虚线切开得到图3，如图3所示，所述固定轴单元10包括轴承座104、旋转轴102、轴承101和隔热板103，所述旋转轴102贯穿轴承座104，所述轴承优选的陶瓷轴承，所述轴承101固定在轴承座104上，所述隔热板103固定在旋转轴102上，所述两个叶片连接所述旋转轴102设置在所述轴承座104一侧，所述驱动单元连接所述旋转轴102设置在所述轴承座104另一侧。请继续参考图2和图3，所述驱动单元40包括电机，优选的为音圈电机，所述音圈电机包括音圈电机磁铁401和音圈电机线圈402，其中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种快门装置，其特征在于，包括遮光运动模块和运动控制模块，所述运动控制模块控制所述遮光运动模块运动，所述遮光运动模块包括遮光单元、驱动单元和信号测量单元，所述遮光单元包括两个叶片，所述运动控制模块发出一控制信号，所述驱动单元接收所述控制信号并驱动所述两个叶片运行，所述信号测量单元实时测量并反馈所述两个叶片的运行状态给运动控制模块，所述运动控制模块依据反馈的运行状态更新所述控制信号。

【技术特征摘要】
1.一种快门装置，其特征在于，包括遮光运动模块和运动控制模块，所述运动控制模块控制所述遮光运动模块运动，所述遮光运动模块包括遮光单元、驱动单元和信号测量单元，所述遮光单元包括两个叶片，所述运动控制模块发出一控制信号，所述驱动单元接收所述控制信号并驱动所述两个叶片运行，所述信号测量单元实时测量并反馈所述两个叶片的运行状态给运动控制模块，所述运动控制模块依据反馈的运行状态更新所述控制信号。2.如权利要求1所述的快门装置，其特征在于，所述驱动单元和信号测量单元均为两个，与所述两个叶片一一对应设置。3.如权利要求2所述的快门装置，其特征在于，所述驱动单元包括电机，所述电机驱动所述两个叶片运动实现所述快门装置的开合。4.如权利要求2所述的快门装置，其特征在于，所述遮光运动模块还包括固定轴单元，所述固定轴单元包括轴承座、旋转轴和轴承，所述旋转轴贯穿所述轴承设置在轴承座中，所述两个叶片中连接所述旋转轴设置在所述轴承座一侧，所述驱动单元连接所述旋转轴设置在所述轴承座另一侧。5.如权利要求4所述的快门装置，其特征在于，所述遮光单元还包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：王彦飞，章富平，贾翔，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31