【技术实现步骤摘要】
一种超纯水系统集中阀板
本技术涉及净化设备
,具体为一种超纯水系统集中阀板。
技术介绍
超纯水,又称UP水,电阻率达到18.2MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外,其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水,具有广泛的用途,而阀板也是超纯水系统的重要组成部分,但是目前市场上同类产品均采用接头,管道,生料带等连接密封来实现超纯水系统管路及传感器连接。缺陷是接头过多,经常会出现漏水现象。并且连接大量的接头和管件占用空间大等诸多缺点。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种超纯水系统集中阀板。为了解决上述技术问题,本技术提供了如下的技术方案:一种超纯水系统集中阀板,包括阀板固定板和超纯水电磁阀,所述阀板固定板左侧的板体上设置有RO出水口A、RO出水电磁阀和RO出水口B,且RO出水电磁阀设置在RO出水口A与RO出水口B之间,所述阀板固定板的上端的边缘处设置有纯化水出口、远程取水口和UP取水口,且远程取水口设置在纯化水出口与UP取水口之间,所述阀板固定板下端的边缘处设置有循环泵接口和超纯水出口,且循环泵接口设置在RO水出口B与超纯水出口之间,所述RO出水电磁阀与超纯水出口之间设置有进水电磁阀和远程电磁阀,且进水电磁阀设置在远程电磁阀的左侧,所述进水电磁阀的正下方设置有进水电导率仪,且进水电导率仪的右下方设置有循环电磁阀,所述超纯水电磁阀设置在UP取水口的正下方,且超纯水电阻率监测仪设置在超纯水电磁阀的正下端。优选的,所 ...
【技术保护点】
1.一种超纯水系统集中阀板,包括阀板固定板(4)和超纯水电磁阀(15),其特征在于:所述阀板固定板(4)左侧的板体上设置有RO出水口A(1)、RO出水电磁阀(2)和RO出水口B(5),且RO出水电磁阀(2)设置在RO出水口A(1)与RO出水口B(5)之间,所述阀板固定板(4)的上端的边缘处设置有纯化水出口(12)、远程取水口(14)和UP取水口(16),且远程取水口(14)设置在纯化水出口(12)与UP取水口(16)之间,所述阀板固定板(4)下端的边缘处设置有循环泵接口(6)和超纯水出口(10),且循环泵接口(6)设置在RO水出口B(5)与超纯水出口(10)之间,所述RO出水电磁阀(2)与超纯水出口(10)之间设置有进水电磁阀(11)和远程电磁阀(13),且进水电磁阀(11)设置在远程电磁阀(13)的左侧,所述进水电磁阀(11)的正下方设置有进水电导率仪(3),且进水电导率仪(3)的右下方设置有循环电磁阀(7),所述超纯水电磁阀(15)设置在UP取水口(16)的正下方,且超纯水电阻率监测仪(9)设置在超纯水电磁阀(15)的正下端。
【技术特征摘要】
1.一种超纯水系统集中阀板,包括阀板固定板(4)和超纯水电磁阀(15),其特征在于:所述阀板固定板(4)左侧的板体上设置有RO出水口A(1)、RO出水电磁阀(2)和RO出水口B(5),且RO出水电磁阀(2)设置在RO出水口A(1)与RO出水口B(5)之间,所述阀板固定板(4)的上端的边缘处设置有纯化水出口(12)、远程取水口(14)和UP取水口(16),且远程取水口(14)设置在纯化水出口(12)与UP取水口(16)之间,所述阀板固定板(4)下端的边缘处设置有循环泵接口(6)和超纯水出口(10),且循环泵接口(6)设置在RO水出口B(5)与超纯水出口(10)之间,所述RO出水电磁阀(2)与超纯水出口(10)之间设置有进水电磁阀(11)和远程电磁阀(13),且进水电磁阀(11)设置在远程电磁阀(13)的左侧,所述进水电磁阀(11)的正下方设置有进水电导率仪(3),且进水电导率仪(3)的右下方设置有循环电磁阀(7),所述超纯水电磁...
【专利技术属性】
技术研发人员:李彦禹,
申请(专利权)人:长春莱博帕特科技发展有限公司,
类型:新型
国别省市:吉林,22
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