The invention discloses a method for quick drying ITO target green body at constant temperature and humidity. The steps are as follows: 1) Placing the ITO target green body formed by grouting on a pad in a constant temperature and humidity room, controlling the temperature of 25-35 C, the relative humidity of 86% - 96%, the drying medium velocity of 0.5-2 m/s, and the drying time of 24-30 h; 3) Control temperature 50-80 C, relative humidity 40-60%, drying medium flow rate 1-2.4 m/s, drying 10-20 h, drying 2-5 H. The invention has the characteristics of short drying time, low drying temperature and low energy consumption, improves production efficiency, and can effectively avoid drying defects of ITO target body.
【技术实现步骤摘要】
一种恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法
本专利技术涉及一种恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法。
技术介绍
近年来，显示面板在人们生活中越发普及，性能越发强大。而作为显示面板制造行业的关键材料——ITO靶材的用量也随之增大，而且对ITO靶材的性能要求也逐渐提高。制备大尺寸、高密度、低中毒的高端靶材成为靶材厂家努力追求的目标。ITO靶材通常是由ITO靶材坯体经脱脂、烧结而成。目前，ITO靶材坯体的成型方法主要有两种：1)模压+冷等静压成型：将经过造粒处理的ITO粉体在钢模具内干法预压成型得到一次坯体，再将其转移到冷等静压设备中进行成型，得到ITO靶材坯体；2)注浆成型或粉浆浇筑成型：用ITO粉体制备性质均匀的浆体，以压缩空气为压力介质，将浆料注入多孔模具，在注浆压力下将浆体中的大部分水分压滤到模具腔外，再经脱模、干燥，得到ITO靶材坯体。模压+冷等静压成型制备的ITO靶材坯体密度均匀，通过后续致密化工序后容易获得高密度的ITO烧结体，但压制成型容易造成靶材坯体上有残余应力，在后续致密化工序中容易发生变形，制备大尺寸的ITO靶材坯体时容易出现裂纹、坯体分成等缺陷，且...
【技术保护点】
1.一种恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法，其特征在于：步骤如下：1)将注浆成型得到的ITO靶材坯体放在恒温恒湿房内的垫板上，控制温度为25～35℃、相对湿度为86％～96％、干燥介质流速为0.5～2m/s，干燥24～30h；2)控制温度为30～50℃、相对湿度为80％～90％、干燥介质流速为1～2.4m/s，干燥10～20h；3)控制温度为50～80℃、相对湿度为40％～60％、干燥介质流速为1～2.5m/s，干燥2～5h。
【技术特征摘要】
1.一种恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法，其特征在于：步骤如下：1)将注浆成型得到的ITO靶材坯体放在恒温恒湿房内的垫板上，控制温度为25～35℃、相对湿度为86％～96％、干燥介质流速为0.5～2m/s，干燥24～30h；2)控制温度为30～50℃、相对湿度为80％～90％、干燥介质流速为1～2.4m/s，干燥10～20h；3)控制温度为50～80℃、相对湿度为40％～60％、干燥介质流速为1～2.5m/s，干燥2～5h。2.根据权利要求1所述的恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法，其特征在于：步骤1)所述ITO靶材坯体由ITO粉体、分散剂、粘结剂和水制备而成。3.根据权利要求2所述的恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法，其特征在于：所述ITO粉体、分散剂、粘结剂、水的质量比为1：(0.001～0.03)：(0.001～0.03)：(0.3～0.5)。4.根据权利要求2或3所述的恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：柯尚文，彭寿，马立云，那嘉，向光，张玲莉，余永强，李隽，范家伟，董永亮，
申请(专利权)人：广东凯盛光伏技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44
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