下载一种恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法的技术资料

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本发明公开了一种恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法,步骤如下:1)将注浆成型得到的ITO靶材坯体放在恒温恒湿房内的垫板上,控制温度为25~35℃、相对湿度为86%~96%、干燥介质流速为0.5~2m/s,干燥24~30h;2)控制温度为3...
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