一种真空吸笔制造技术

本实用新型专利技术是一种真空吸笔，其结构包括真空吸头、真空吸头多角度调节机构和真空检测系统，所述真空吸头多角度调节机构包括A真空金属细管、B真空金属细管、橡胶软管、固定金属管、螺丝、旋转导轨；真空检测系统包括真空指示灯、微型电源和真空检测传感器，真空指示灯、微型电源和真空检测传感器串联连接。优点：1、真空吸头多角度调节机构可以调节旋转固定，满足各种设备及人工搬运的需求。2.真空吸笔的真空检测系统，可避免因为真空管堵塞或者开关损坏造成的晶片报废。

Vacuum suction pen

The utility model relates to a vacuum suction pen, which comprises a vacuum suction head, a vacuum suction head multi-angle regulating mechanism and a vacuum detecting system. The vacuum suction head multi-angle regulating mechanism comprises a vacuum metal tube, a B vacuum metal tube, a rubber hose, a fixed metal tube, a screw and a rotary guide rail; and the vacuum detecting system comprises a true one. The air indicator lamp, the miniature power supply and the vacuum detection sensor are connected in series with the vacuum indicator lamp, the miniature power supply and the vacuum detection sensor. Advantages: 1. The multi-angle adjusting mechanism of vacuum suction head can adjust rotation and fix to meet the needs of various equipment and manual handling. 2. Vacuum detection system of vacuum suction pen can avoid wafer scrap caused by vacuum tube blockage or switch damage.

【技术实现步骤摘要】
一种真空吸笔
本技术涉及一种真空吸笔，属于晶片吸取

技术介绍
半导体制造业里，工艺制程必须要防污防尘，但在加工和产品流转时难免会接触或者手工搬运晶片，特别是在某些化合物工艺制程中，由于自动化程度较低，手动接触晶片的概率会大大增加。由于砷化镓、氮化镓的成本相对于硅片要高很多，所以不仅要保证防污防尘，更重要的是要保证晶片的安全。
技术实现思路
本技术提出了一种真空吸笔，旨在提供一种真空吸头可调节旋转固定、同时防止晶片破损的真空吸笔。本技术的技术方案：一种真空吸笔，其结构包括真空吸头9和真空吸头多角度调节机构，所述真空吸头多角度调节机构包括A真空金属细管10、B真空金属细管18、橡胶软管11、固定金属管12、螺丝13、旋转导轨14；其中，真空吸头9与A真空金属细管10的A端连接，A真空金属细管10的B端通过橡胶软管11与B真空金属细管18的A端连接，固定金属管12的A端与A真空金属细管10连接，B端设有螺丝13，固定金属管12的B端可沿着导轨14调节角度并通过螺丝13固定，导轨14与B真空金属细管18连接；所述B真空金属细管18的B端设有内螺纹链接接头15。本技术的有益效果：1、真空吸头本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空吸笔，其特征在于其结构包括真空吸头和真空吸头多角度调节机构，所述真空吸头多角度调节机构包括A真空金属细管、B真空金属细管、橡胶软管、固定金属管、螺丝、旋转导轨；其中，真空吸头与A真空金属细管的A端连接，A真空金属细管的B端通过橡胶软管与B真空金属细管的A端连接，固定金属管的A端与A真空金属细管连接，固定金属管的B端设有螺丝，固定金属管的B端通过螺丝连接导轨，并通过螺丝固定，导轨与 B真空金属细管连接；所述B真空金属细管的B端设有内螺纹链接接头。

【技术特征摘要】
1.一种真空吸笔，其特征在于其结构包括真空吸头和真空吸头多角度调节机构，所述真空吸头多角度调节机构包括A真空金属细管、B真空金属细管、橡胶软管、固定金属管、螺丝、旋转导轨；其中，真空吸头与A真空金属细管的A端连接，A真空金属细管的B端通过橡胶软管与B真空金属细管的A端连接，固定金属管的A端与A真空金属细管连接，固定金属管的B端设有螺丝，固定金属管的B端通过螺丝连接导轨，并通过螺丝固定，导轨与B真空金属细管连接；所述B真空金属细管的B端设有内螺纹链接接头。2.根据权利要求1所述的一种真空吸笔，其特征在于：所述导轨有两条，所述螺丝有两个。3.根据权利要求1所述的一种真空吸笔，其特征在于：所述真空吸笔还包括笔杆、真空开关、真空开关前端真空管路、真空开...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏久龙，王向阳，刘磊，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第五十五研究所，
类型：新型
国别省市：江苏,32