空气调节系统技术方案

即便在环境温度显著地变动的情况下，也通过空气调节装置以稳定的状态且迅速地将温度控制对象的空气控制为期望的温度。空气调节系统(S)具备对从取入口(31)取入的空气进行温度控制而从排出口(32)排出的空气调节装置(1)。空气调节装置(1)连接有将来自排出口(32)的空气供给到第1空间的供给流路(80)、及从与第1空间经由导入用风扇过滤器单元(200)而连通的第2空间延伸至取入口(31)的上游侧的位置的第1返回流路(110)。在第1返回流路(110)内设置有第1风量调节用挡板(111)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】空气调节系统
本专利技术涉及具备空气调节装置，并从该空气调节装置向温度控制对象空间供给被温度控制的空气的空气调节系统。
技术介绍
半导体制造设备中的无尘室的室内温度通常通过从空气调节装置供给的被温度控制的空气而被严格地管理。例如，在设置有进行光致抗蚀剂的涂布及显影的装置(涂布机等)的无尘室中，需要将室内温度控制为目标温度的+0.05℃至-0.05℃的误差范围内。作为能够对应这样的无尘室的空气调节装置，以往提出了各种装置(例如，参照专利文献1)。在向无尘室供给被温度控制的空气的情况下，空气调节装置一般配置于无尘室的外部，将来自其排出口的空气经由导管等而供给到无尘室的空气导入口。在无尘室的空气导入口通常配置有风扇过滤器单元，来自空气调节装置的排出口的空气通过风扇过滤器单元被去除微粒后导入到无尘室内(例如，参照专利文献2)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-108652号公报专利文献2：日本特开2008-128618号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，在如上述的空气调节装置的情况下，通常，使用温度范围和温度控制范围被固定，如果所取入的空气为使用温度范围内的温度，则能够将该空气控制为温度控制范围内的期望的设定温度而以规定的风量供给。但是，如今在诸多报告中显示，在很多地区频繁地发生由大寒波、大热波等导致的环境温度的显著的变动，由此导致空气调节装置的控制不稳定的问题。如上述的环境温度的显著的变动有时导致由空气调节装置取入的空气的温度显著地变动，有时需要急剧且较大地改变空气调节装置中的制冷能力或加热能力。这样的制冷能力或加热能力的急剧的变化成为引起上述的问题的一个要因。另外，在需要将制冷能力或加热能力急剧且较大地改变的情况下，空气调节装置无法充分地达到期望的制冷能力或加热能力，有时不得不停止其运行。另外，在通过环境温度的显著的变动而由空气调节装置取入的空气脱离使用温度范围的情况下，基本上无法将所取入的空气控制为期望的温度。在此，作为对如上述的环境温度的显著的变动的对策，例如，可考虑拓宽空气调节装置的制冷能力及加热能力的范围且提高制冷能力及加热能力变化时的响应性。但是，在这样的对策的情况下，随着扩大制冷能力或加热能力并提高性能，有可能导致装置不期望地被大型化或在运行中所需的能量不期望地增加，因此未必是理想的。本专利技术是鉴于这样的情况而研发的，本专利技术的目的在于提供一种如下的空气调节系统：即便在环境温度显著地变动的情况下，也能够通过空气调节装置而以稳定的状态且迅速地将温度控制对象的空气控制为期望的温度，并且在确保这样的适当的控制性能的同时，抑制空气调节装置整体地不期望地被大型化或运行中所需的能量不期望地増加。用于解决课题的手段本专利技术提供一种空气调节系统，其特征在于，其具备：空气调节装置，其具有取入外部的空气的取入口及排出从所述取入口取入的空气的排出口，并对从所述取入口取入的空气进行温度控制而从所述排出口排出；供给流路，其将来自所述排出口的空气直接或间接地供给到第1空间；第1返回流路，其从经由第1过滤器装置与所述第1空间连通的第2空间延伸至所述取入口的上游侧或下游侧中比在所述空气调节装置中进行对空气的温度控制的温度控制位置更靠上游侧的位置；和第1风量调节用挡板，其设置于所述第1返回流路内，对在该第1返回流路中流动的空气的风量进行调节，经由所述第1返回流路流动的来自所述第2空间的空气合流到取入到所述取入口之前的所述空气调节装置的外部的空气或取入到所述取入口之后的所述空气调节装置的外部的空气。根据本专利技术，通过第1返回流路而将由空气调节装置进行温度控制的第2空间内的空气的一部分供给到比空气调节装置的温度控制位置更靠上游侧的位置，并合流到取入到取入口之前的空气或取入到取入口之后的空气。由此，即便在根据环境温度的显著的变动而导致取入到取入口的空气调节装置的外部的空气的温度发生较大的变动的情况下，该外部的空气会与被温度控制的来自第1返回流路的空气合流，从而使其温度接近应被温度控制的温度。因此，根据空气调节装置的外部的空气的温度的较大的变动，无需为了进行温度控制而将制冷能力或加热能力急剧地较大地变化，也能够将与来自第1返回流路的空气合流的外部的空气即温度控制对象的空气容易地控制为所期望的温度。因此，即便在环境温度显著地变动的情况下，也能够以稳定的状态且迅速地将温度控制对象的空气控制为期望的温度，并且在确保这样的适当的控制性能的同时，抑制空气调节装置整体地不期望地被大型化或运行中所需的能量不期望地増加。另外，通过在第1返回流路设置有第1风量调节用挡板，从而能够适当地调节从第2空间返回到空气调节装置侧的空气的风量。由此，能够抑制在第2空间中所需的风量不期望地减少的状况、第2空间内的压力不期望地变动的状况等。另外，所述空气调节装置具备设置于所述取入口的上游侧与所述排出口的下游侧之间的第2过滤器装置，所述第2过滤器装置配置在比所述第1返回流路的所述空气调节装置侧的端部更靠下游侧的位置。在该情况下，从空气调节装置经由第1过滤器装置而导入的第2空间内的空气在从第1返回流路向空气调节装置侧流动的情况下，会通过空气调节装置的第2过滤器装置。因此，能够提高通过空气调节装置而温度控制的空气的清洁度，从而能够提高向第1空间及第2空间供给的空气的清洁度。另外，通过第2过滤器装置的来自第2空间的空气为清洁度高的空气，由此能够延长第2过滤器装置的寿命。另外，所述空气调节装置还具有第2返回流路，该第2返回流路从比所述温度控制位置更靠下游侧的位置延伸至比所述温度控制位置更靠上游侧的位置，并且经由所述第2返回流路而供给到比所述温度控制位置更靠上游侧的位置的空气合流到取入到所述取入口之前的所述空气调节装置的外部的空气或取入到所述取入口之后的所述空气调节装置的外部的空气。在该情况下，通过第2返回流路，也将由空气调节装置进行温度控制的空气的一部分供给到比空气调节装置的温度控制位置更靠上游侧的位置，并合流到取入到取入口之前的空气或取入到取入口之后的空气。由此，通过第2返回流路，也能够控制由空气调节装置的外部的空气的温度变动较大而导致的温度控制对象的空气的温度的急剧的变动，能够实现温度控制的稳定化。并且，第2返回流路可单独使用或与第1返回流路一起使用，因此能够灵活地调节及选择使被温度控制的空气返回到上游侧的模式，由此提高便利性。另外，在所述第2返回流路内设置有对在所述第2返回流路中流动的空气的风量进行调节的第2风量调节用挡板。在该情况下，通过调节第2风量调节用挡板，从而能够灵活地调节从第2返回流路返回的空气量，由此能够提高便利性。另外，在所述供给流路内设置有对在所述供给流路中流动的空气的风量进行调节的供给风量调节用挡板。在该情况下，通过调节第2风量调节用挡板和供给风量调节用挡板，从而能够任意调节供给给第1空间侧的风量和经由第2返回流路而返回的风量，能够进一步提高便利性。另外，所述第1空间是无尘室上游侧空间，所述第2空间是无尘室的内部空间，所述第1过滤器装置是风扇过滤器单元，所述供给流路将来自所述排出口的空气直接供给到所述无尘室上游侧空间。另外，所述第1空间是无尘室的内部空间，所述第2空间是配置于所述无尘室的半导体制造用装置的内部空间，所述第1过滤器装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种空气调节系统，其特征在于，其具备：空气调节装置，其具有取入外部的空气的取入口及排出从所述取入口取入的空气的排出口，并对从所述取入口取入的空气进行温度控制而从所述排出口排出；供给流路，其将来自所述排出口的空气直接地或间接地供给到第1空间；第1返回流路，其从第2空间延伸至所述取入口的上游侧或下游侧中比温度控制位置更靠上游侧的位置处，该第2空间经由第1过滤器装置与所述第1空间连通，该温度控制位置是在所述空气调节装置中进行对空气的温度控制的位置；和第1风量调节用挡板，其设置于所述第1返回流路内，对在该第1返回流路中流动的空气的风量进行调节，经由所述第1返回流路流动的来自所述第2空间的空气合流到取入到所述取入口之前的所述空气调节装置的外部的空气或取入到所述取入口之后的所述空气调节装置的外部的空气中。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.09.02 JP 2016-1721371.一种空气调节系统，其特征在于，其具备：空气调节装置，其具有取入外部的空气的取入口及排出从所述取入口取入的空气的排出口，并对从所述取入口取入的空气进行温度控制而从所述排出口排出；供给流路，其将来自所述排出口的空气直接地或间接地供给到第1空间；第1返回流路，其从第2空间延伸至所述取入口的上游侧或下游侧中比温度控制位置更靠上游侧的位置处，该第2空间经由第1过滤器装置与所述第1空间连通，该温度控制位置是在所述空气调节装置中进行对空气的温度控制的位置；和第1风量调节用挡板，其设置于所述第1返回流路内，对在该第1返回流路中流动的空气的风量进行调节，经由所述第1返回流路流动的来自所述第2空间的空气合流到取入到所述取入口之前的所述空气调节装置的外部的空气或取入到所述取入口之后的所述空气调节装置的外部的空气中。2.根据权利要求1所述的空气调节系统，其特征在于，所述空气调节装置具备第2过滤器装置，该第2过滤器装置设置于所述取入口的上游侧与所述排出口的下游侧之间，所述第2过滤器装置配置在比所述第1返回流路的所述空气调节装置侧的端部更靠下游侧的位置处。3.根据权利要求2所述的空气调节系统，其特征在于，所述空气调节装置还具有第2返回流路，该第2返回流路从比所述温度控制位置更靠下游侧的位置延伸至比所述温度控制位置更靠上游侧的位置处，经由所述第2返回流路供给到比所述温度控制位置更靠上游侧的位置的空气合流到取入到所述取入口之前的所述空气调节装置的外部的空气或取入到所述取入口之后的所述空气调节装置的外部的空气中。4.根据权利要求3所述的空气调节系统，其特征在于，在所述第2返回流路内设置有第2风量调节用挡板，该第2风量调节用挡板对在所述第2返回流路中流动的空气的风量进行调节。5.根据权利要求4所述的空气调节系统，其特征在于，在所述供...

【专利技术属性】
技术研发人员：田冈勉，猶原康宏，
申请(专利权)人：伸和控制工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP