一个实施方式的制造设备(P1)具有：处理系统(1)，其具有处理装置(2)，该处理装置(2)具有被供给由气体导入口(5A)接受的气体的处理室(3)；热介质供给系统(10)，其具有从气体供给口(11B)供给气体的气体供给装置(100)；以及...

实施方式的空调装置具有第一单元和第二单元。第一单元具有：空气流通路，其上游侧流路部与下游侧流路部以呈弯折形状的方式结合；制冷回路，其一部分配置在与所述空气流通路的凹状的角部相对且与所述上游侧流路部和所述下游侧流路部分别相邻的位置；以及第...

一个实施方式的制冷装置(10)在从压缩机(11)排出并流入冷凝器(12)之前的制冷剂的排出温度超过阈值时，将液体旁通控制阀(16B)打开，在排出温度为阈值以下时，将液体旁通控制阀(16B)关闭。另外，制冷装置(10)对压缩机(11)的转...

实施方式的流体调温系统通过具备高温侧制冷机(100)、中温侧制冷机(200)以及低温侧制冷机(300)的多元式制冷装置对流体进行冷却。多元式制冷装置中的中温侧制冷机(200)具有中温侧第一蒸发器(204)和中温侧第二蒸发器(224)。高...

提供流量控制用三通阀以及温度控制装置，与压力作用部不具有沿着长度方向的两端部由密封机构密封的圆筒形状的连通构件的场合相比较，使针对－85℃左右的低温的流体的密封性提高，该密封机构具有由金属制的弹簧构件朝打开的方向施力的剖面为大致U字形状...

一个实施方式的调温流体循环装置具有：流路，其使由调温部调温后的流体经由流体提供对象而循环；三通阀，其配置于所述流路中的所述流体提供对象的下游侧且所述调温部的调温位置的上游侧的位置，由3个端口中的2个端口之间的部分构成所述流路的一部分；以...

本发明提供一种流量控制用三通阀以及温度控制装置，与不具备将阀芯的驱动构件侧的端部相对于阀主体能够旋转地密封、由金属制的弹簧部件向打开方向施力的截面呈大致U字形状且由合成树脂构成的密封构件的情况相比，提高了相对于

本发明提供一种流量控制用三通阀以及温度控制装置，与驱动力传递构件和接合构件不构成由导热系数比阀主体和阀芯小的材料构成并抑制热向驱动构件的传递的传热抑制部的情况相比，抑制了驱动构件相对于

本发明涉及一种层压系统，其具备：薄膜贴合切割装置(1)，将从卷筒放出的薄膜(F)贴合于工件(W)，在不与工件(W)重叠的位置切割所述薄膜；层压机(4)，接纳从薄膜贴合切割装置(1)送出的工件(W)，使贴合于工件(W)的薄膜(F)相对于工...

一个实施方式的流量控制装置具有：保持部(101)，其保持流量调节阀的开度特性；输入部(102)，其输入从流量调节阀流出的流体的目标流量和达到目标流量为止的流量变化速度；检测部(103)，其从对目标流量的控制开始以规定的采样周期检测从流量...

本发明的一实施方式所涉及的流量控制装置具备：流量计，检测由电机驱动而从流体机械排出的流体的流量；控制器，变更用于驱动电机的驱动输入电压的频率。控制器保持有调整频率表格，所述调整频率表格记录多个差分范围与分别对应于多个差分范围而决定的多个...

本发明的一实施方式所涉及的流量控制装置具备：流量计，根据由无刷电机或交流电机的驱动而从流体机械排出的流体的流通反复生成脉冲信号，以所述脉冲信号的脉冲宽度与所述流体的流量成反比的方式形成所述脉冲信号；FV转换部，对所述脉冲信号进行频率/电...

以使轴部和扩径部向上方侧露出的方式对隔膜毂进行固定。使用具有空气吸引部的机器人臂装置，以使小径凹部和大径凹部向下方侧露出的方式利用空气吸引力对隔膜部件进行把持。对机器人臂装置进行控制，使隔膜部件的轴线相对于隔膜毂的轴线倾斜，并且使隔膜部...

在本发明中，进行第1供给工序，使第1气体作为通过使材料气化而生成的第2气体的载气与第2气体混合，将第1气体与第2气体的混合气体供给至基板等处理对象(清洗去除)。接着，进行将加热的第1气体向处理对象供给的第2供给工序(蒸发干燥)。由此，能...

一个实施方式的温度控制系统具有：制冷装置，其将压缩机、冷凝器、膨胀阀以及蒸发器以使制冷剂循环的方式依次连接；流体循环装置，其使流体在所述蒸发器中进行热交换之后将所述流体输送至温度控制对象，并使通过了所述温度控制对象的所述流体在所述蒸发器...

[课题]实施方式的制冷剂状态检测装置(40A)具备：温度信息获取部(41)，其在具有压缩机、冷凝器、膨胀阀和蒸发器的制冷回路中获取从上述冷凝器流出的制冷剂的温度，并且获取在上述冷凝器中冷却上述制冷剂的冷却用流体在冷却上述制冷剂之前的温度...

实施方式的蘑菇栽培用空调系统具备：空气流通路(10)，其具有吸入空气的吸入口和连接到用于栽培蘑菇的栽培室(100)的供给口；温度控制部(20)，其对流通在空气流通路(10)内的空气的温度进行温度控制；和回流流路(30)，其使栽培室(10...

实施方式的氢冷却装置具有二元制冷单元(1)和氢冷却用流体循环单元(2)，该二元制冷单元(1)具有高温侧制冷机(100)和低温侧制冷机(200)。二元制冷单元(1)通过低温侧制冷机(200)的低温侧蒸发器(204)对由氢冷却用流体循环单元...

实施方式的阀门单元具备：第一供给侧电磁切换阀，其对第一供给流路中的第一流体的流通和切断进行切换；第一分支流路，其从第一供给流路的比所述第一供给侧电磁切换阀靠上游侧的部分分支；第一分支侧电磁切换阀，其对第一分支流路中的第一流体的流通和切断...

实施方式的流体调温系统通过具备高温侧制冷机(100)、中温侧制冷机(200)以及低温侧制冷机(300)的多元式制冷装置对流体进行冷却。多元式制冷装置的中温侧制冷机(200)具有中温侧第一蒸发器(204)和中温侧第二蒸发器(224)。高温...