气体激光装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种气体激光装置，包括：腔室，其内部收容有激光介质气体；第一排气口，其具有第一口径，从所述腔室排出至少一部分所述激光介质气体；以及第二排气口，其具有比所述第一口径大的第二口径，从所述腔室排出至少一部分所述激光介质气体。由此，在维修的钝化过程中，能通过大口径的第二排气口在短时间内排出大量气体，能够降低维修时间。

【技术实现步骤摘要】
气体激光装置
本技术涉及半导体领域，尤其涉及一种气体激光装置。
技术介绍
伴随着半导体集成电路的细微化、高集成化，在半导体曝光装置中要求提高分辨率。以下将半导体曝光装置简称为“曝光装置”。因此，从曝光用光源输出的光的波长在变短。在曝光用光源中代替现有的水银灯而使用了气体激光装置。例如，使用输出波长248nm的紫外线的KrF准分子激光装置以及输出波长193nm的紫外线的ArF准分子激光装置，作为曝光用的气体激光装置。现有技术中，例如放电激励式气体激光装置的腔室内配置有一对放电电极，在所述一对放电电极之间能够进行放电。此外，在腔室内收容有激光介质气体，并且腔室侧壁上设置有供气口和排气口，分别与供气设备和排气设备连接。应当注意，上面对
技术介绍
的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的
技术介绍
部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。
技术实现思路
专利技术人发现：在气体激光装置工作时，供气设备通过该供气口向所述腔室提供激光介质气体，排气设备通过该排气口将劣化的激光介质气体排出。通常的工作情况下，气体激光装置一边进行工作，一边进行微量的供气和排气，因此排气口的口径比较小(例如几mm即可)。但是，在对气体激光装置进行维修时，腔室从激光框架中被导出到钝化框架后需要进行钝化过程；其中，在供气设备提供了激光介质气体后，需要通过加热器对腔室加热规定时间，然后通过排气设备排出该激光介质气体。在钝化过程中，需要对腔室内的所有气体进行排出，但目前的排气口的口径较小，从而导致排气时间较长。为了解决上述问题，本技术提供一种气体激光装置；设置具有第一口径的第一排气口以及具有比所述第一口径大的第二口径的第二排气口。根据本技术实施例的第一方面，提供了一种气体激光装置，包括：腔室，其内部收容有激光介质气体；第一排气口，其具有第一口径，从所述腔室排出至少一部分所述激光介质气体；以及第二排气口，其具有比所述第一口径大的第二口径，从所述腔室排出至少一部分所述激光介质气体。根据本技术实施例的第二方面，其中，所述气体激光装置还包括：激光框架，其收容所述腔室。根据本技术实施例的第三方面，其中，所述激光框架具有维修面；所述激光框架构成为通过使所述维修面打开而引导出所述腔室。根据本技术实施例的第四方面，其中，所述第一排气口被设置在所述腔室的靠近所述维修面的第一侧。根据本技术实施例的第五方面，其中，所述第二排气口被设置在所述腔室的与设置有所述第一排气口的第一侧相反的第二侧。根据本技术实施例的第六方面，其中，所述气体激光装置还包括：排气设备，其在所述气体激光装置工作时通过第一排气阀和第一排气管道与所述第一排气口连接；在所述气体激光装置维修时通过第二排气阀和第二排气管道与所述第二排气口连接。根据本技术实施例的第七方面，其中，所述气体激光装置还包括：供气口，其向所述腔室提供所述激光介质气体。根据本技术实施例的第八方面，其中，所述气体激光装置还包括：供气设备，其通过供气阀和供气管道与所述供气口连接。本技术的有益效果在于：设置具有第一口径的第一排气口以及具有比所述第一口径大的第二口径的第二排气口；在气体激光装置正常工作时使用第一排气口排出至少一部分激光介质气体，在气体激光装置维修时使用第二排气口排出至少一部分激光介质气体。由此，在维修的钝化过程中，能通过大口径的第二排气口在短时间内排出大量气体，能够降低维修时间。参照后文的说明和附图，详细公开了本技术的特定实施方式，指明了本技术的原理可以被采用的方式。应该理解，本技术的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本技术的实施方式包括许多改变、修改和等同。附图说明所包括的附图用来提供对本技术实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本技术的实施方式，并与文字描述一起来阐释本技术的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：图1是本技术的气体激光装置的一个剖面示意图；图2是本技术的气体激光装置的另一个剖面示意图；图3是本技术的气体激光装置的再一个剖面示意图。具体实施方式参照附图，通过下面的说明，本技术的前述以及其它特征将变得明显。在说明书和附图中，具体公开了本技术的特定实施方式，其表明了其中可以采用本技术的原则的部分实施方式，应了解的是，本技术不限于所描述的实施方式，相反，本技术包括落入所附权利要求的范围内的全部修改、变型以及等同物。在本技术实施例中，术语“第一”、“第二”等用于对不同元素从称谓上进行区分，但并不表示这些元素的空间排列或时间顺序等，这些元素不应被这些术语所限制。术语“和/或”包括相关联列出的术语的一种或多个中的任何一个和所有组合。术语“包含”、“包括”、“具有”等是指所陈述的特征、元素、元件或组件的存在，但并不排除存在或添加一个或多个其他特征、元素、元件或组件。在本技术实施例中，单数形式“一”、“该”等可以包括复数形式，应广义地理解为“一种”或“一类”而并不是限定为“一个”的含义；此外术语“所述”应理解为既包括单数形式也包括复数形式，除非上下文另外明确指出。此外术语“根据”应理解为“至少部分根据……”，术语“基于”应理解为“至少部分基于……”，除非上下文另外明确指出。在本技术的下述说明中，为了说明的方便，将与沿着轴延伸的方向平行的方向称为“轴向”，将以轴为中心的半径方向称为“径向”，将以轴为中心的包围径向外侧的方向称为“周向”。但值得注意的是，这些只是为了说明的方便，并不限定气体激光装置使用和制造时的朝向。在本技术的下述说明中，为了说明的方便，将腔室所在的一侧称为“上侧”或者“上方”，将排气设备所在的一侧称为“下侧”或者“下方”。但值得注意的是，这些只是为了说明的方便，并不限定该气体激光装置使用和制造时的朝向。下面参照附图对本技术的实施方式进行说明。本技术实施例提供一种气体激光装置。图1是本技术的气体激光装置100的一个剖面示意图，示出了气体激光装置100在通常工作的状态下被剖开的一部分部件。如图1所示，该气体激光装置100可以包括：腔室101，其内部收容有激光介质气体；第一排气口102，其具有第一口径，从所述腔室101排出至少一部分所述激光介质气体；以及第二排气口103，其具有比所述第一口径大的第二口径，从所述腔室101排出至少一部分所述激光介质气体。在本技术中，第一排气口102和第二排气口103例如可以呈圆形，第一口径和第二口径例如可以指圆形的直径或半径；例如，第一排气口102可以是直径为几毫米(mm)的圆孔，而第二排气口103可以比第一排气口102大得多，例如是直径为几厘米(cm)的圆孔。但本技术不限于此，例如第一排气口102和第二排气口103还可以呈其他规则形状或者不规则形状，此外其具体大小也不进行限制。如图1所示，所述气体激光装置100还可以包括：激光框架104，其收容所述腔室101。如图1所示本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体激光装置，其特征在于，所述气体激光装置包括：腔室，其内部收容有激光介质气体；第一排气口，其具有第一口径，从所述腔室排出至少一部分所述激光介质气体；以及第二排气口，其具有比所述第一口径大的第二口径，从所述腔室排出至少一部分所述激光介质气体。

【技术特征摘要】
1.一种气体激光装置，其特征在于，所述气体激光装置包括：腔室，其内部收容有激光介质气体；第一排气口，其具有第一口径，从所述腔室排出至少一部分所述激光介质气体；以及第二排气口，其具有比所述第一口径大的第二口径，从所述腔室排出至少一部分所述激光介质气体。2.根据权利要求1所述的气体激光装置，其中，所述气体激光装置还包括：激光框架，其收容所述腔室。3.根据权利要求2所述的气体激光装置，其中，所述激光框架具有维修面；所述激光框架构成为通过使所述维修面打开而引导出所述腔室。4.根据权利要求3所述的气体激光装置，其中，所述第一排气口被设置在所述腔室的靠近所述维修面的第一侧。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：都丸仁，奈良久，
申请(专利权)人：极光先进雷射株式会社，
类型：新型
国别省市：日本,JP