一种阵列基板、显示面板和显示装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例提供了一种阵列基板，包括柔性基板以及在柔性基板上层叠设置的至少两个无机膜层；至少一个无机膜层包括层叠设置的多个无机子膜，相邻两个无机膜层的材料不同；同一无机膜层内，各无机子膜的材料相同。本实用新型专利技术提高了阵列基板的抗弯折性。

【技术实现步骤摘要】
一种阵列基板、显示面板和显示装置
本技术涉及显示
，尤其涉及一种阵列基板、显示面板和显示装置。
技术介绍
柔性显示装置是基于柔软的材料制成，可变型、可弯曲的显示装置。由于其具有可弯曲、宽视角、便于携带等特点，柔性显示装置具有广阔的应用前景。柔性阵列基板通常采用柔性材料(如聚酰亚胺)作为柔性阵列基板的基板，并且在柔性衬底上形成堆叠设置的有机膜层和无机膜层，其中的无机膜层主要包括各种绝缘层，例如缓冲层、栅绝缘层以及层间钝化层等，这些无机膜层通常由SiOx或SiNx形成。由于无机膜层的抗弯折强度差，当柔性陈列基板弯折后，堆叠设置的无机膜极易发生断裂，导致沉积在无机膜上的金属膜出现裂纹，进而致使薄膜晶体管(TFT)出现漏电流上升或电容的电位异常等情况，导致像素发光不正常，若裂纹进一步延伸导致沉积金属膜层断裂，则会造成阵列基板的电性能发生漂移，甚至导致器件功能失效。
技术实现思路
本技术实施例提供了一种阵列基板、显示面板和显示装置，以提高阵列基板的抗弯折强度。第一方面，本技术实施例提供了一种阵列基板，包括柔性基板以及在所述柔性基板上层叠设置的至少两个无机膜层；至少一个所述无机膜层包括层叠设置的多本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阵列基板，其特征在于，包括柔性基板以及在所述柔性基板上层叠设置的至少两个无机膜层；至少一个所述无机膜层包括层叠设置的多个无机子膜，相邻两个所述无机膜层的材料不同；同一所述无机膜层内，各所述无机子膜的材料相同。

【技术特征摘要】
1.一种阵列基板，其特征在于，包括柔性基板以及在所述柔性基板上层叠设置的至少两个无机膜层；至少一个所述无机膜层包括层叠设置的多个无机子膜，相邻两个所述无机膜层的材料不同；同一所述无机膜层内，各所述无机子膜的材料相同。2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，每一个所述无机膜层所包括的所述无机子膜的数量大于或等于3，且小于或等于10。3.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述无机膜层的材料为SiOx、SiNx、Al2O3、SiC、B4C、BN或Si3N4。4.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述无机膜层为缓冲层、沟道层、栅绝缘层、层间绝缘层或钝化层。5.根据权利要求1所述的阵列基...

【专利技术属性】
技术研发人员：余睿敏，余昂俗，
申请(专利权)人：上海和辉光电有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31