一种氙灯分色照明检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及FPD检测技术领域，具体涉及一种氙灯分色照明检测装置，包括工控机、时序控制器、光源装置以及成像系统，所述工控机的输出端L0与时序控制器的输入端电连接，所述时序控制器的输出端L1、L2和L3分别与光源装置的输入端以及成像系统的输入端电连接，解决现有FPD检测领域中，由于基板的工艺不同而导致颜色的差异，当使用同一种波长容易导致检测设备检测时出现漏检或者错检的技术缺陷。本实用新型专利技术提供一种新的氙灯分色照明检测装置，该氙灯分色照明检测装置利用同一套光源实现不同色光成像的性能，能够大量投产于生产生活中。

【技术实现步骤摘要】
一种氙灯分色照明检测装置
本技术涉及FPD检测
，具体涉及一种氙灯分色照明检测装置。
技术介绍
在FPD检测领域中，由于基板上不同工艺会导致制程图案呈现颜色上的差异(简称膜色差异)，检测设备如果采用同一种波长的光就会不适应该变化，导致错检或漏检。闪光氙灯由于其高亮度，高稳定性，长寿命和小体积等特点而广泛应用用工业检测中。其拥有较宽的光谱，当遇到上述膜色差异的制程图案后，不能有效得到最佳信噪比的图案，降低检出的遗漏以及错误率。氙灯可以产生极强的瞬时功率，获得极强的瞬时光输出，同时具有低功耗、体积小等优点，脉冲氙灯是一种良好的仪用替代光源。针对脉冲氙灯发光过程中，其光斑面积小、亮度高、脉冲闪烁的特性，及其辐射强度仅次于激光，基于脉冲氙灯光斑的这些特点，其在测量分析仪器中有着广泛的应用。CN205642614U公开一种氙灯光线检测装置，其包括光线接收部、光线传输管、过滤部及感光头；所述光线接收部呈喇叭口结构；所述光线传输管的接收端位于所述光线接收部的底部的中心，所述光线传输管的出光端连接于所述过滤部的入口，所述光线传输管为玻璃管，所述玻璃管的侧壁设有全反射膜；所述过滤部内设有多层过滤本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氙灯分色照明检测装置，其特征在于，包括工控机、时序控制器、光源装置以及成像系统，所述工控机的输出端L0与时序控制器的输入端电连接，所述时序控制器的输出端L1、L2和L3分别与光源装置的输入端以及成像系统的输入端电连接；所述光源装置包括光源装置1、光源装置2以及光源装置3，所述光源装置包括氙灯(1)、镜组以及光纤(9)，所述镜组设置在镜组套内，所述镜组包括准直镜(2)、滤光镜(3)、二向色镜组、聚焦镜组，所述二向色镜组包括二向色镜1(6)和二向色镜2(7)，所述聚焦镜分为聚焦镜B(4)、聚焦镜G(5)和聚焦镜R(8)；所述成像系统包括相机(011)、成像镜组以及基板(04)，所述成像镜组...

【技术特征摘要】
1.一种氙灯分色照明检测装置，其特征在于，包括工控机、时序控制器、光源装置以及成像系统，所述工控机的输出端L0与时序控制器的输入端电连接，所述时序控制器的输出端L1、L2和L3分别与光源装置的输入端以及成像系统的输入端电连接；所述光源装置包括光源装置1、光源装置2以及光源装置3，所述光源装置包括氙灯(1)、镜组以及光纤(9)，所述镜组设置在镜组套内，所述镜组包括准直镜(2)、滤光镜(3)、二向色镜组、聚焦镜组，所述二向色镜组包括二向色镜1(6)和二向色镜2(7)，所述聚焦镜分为聚焦镜B(4)、聚焦镜G(5)和聚焦镜R(8)；所述成像系统包括相机(011)、成像镜组以及基板(04)，所述成像镜组包括中继镜头(012)、分光棱镜(014)、物镜(015)、照明镜(013)，所述中继镜头(012)与分光棱镜(014)的A端通过套接管连接在一起，所述分光棱镜(014)的B端与物镜(015)通过物镜外套连接在一起。2.根据权利要求1所述的氙灯分色照明检测装置，其特征在于，所述光源装置1、光源装置2和光源装置3组成和结构相同。3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：张冲，赵润川，李波，曾耀，
申请(专利权)人：武汉中导光电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42