TFT阵列基板制造技术

本发明专利技术提供一种TFT阵列基板。该TFT阵列基板设置第三导电层通过第一过孔及第二过孔分别连接第一导电层及第二导电层，并在第三导电层上设置间隔的第一开口与第二开口，第一开口在竖直方向的投影位于第二过孔底部边缘的一侧且一端突出第二过孔底部边缘靠近第一过孔的一端，第二开口在竖直方向的投影位于第一过孔底部边缘的一侧且一端突出第一过孔底部边缘靠近第二过孔的一端，从而在第三导电层因静电击穿而在对应第一过孔与第二过孔互相靠近的边缘产生断裂时，第一开口及第二开口能够对断裂进行阻隔，防止断裂导致第一导电层与第二导电层断开，保证第一导电层与第二导电层连接的可靠性，提升产品的品质。

【技术实现步骤摘要】
TFT阵列基板
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种TFT阵列基板。
技术介绍
在显示
，液晶显示装置(LiquidCrystalDisplay，LCD)、有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)显示器等平板显示装置已经逐步取代阴极射线管(CathodeRayTube，CRT)显示装置。液晶显示装置具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。现有市场上的液晶显示装置大部分为背光型液晶显示装置，其包括液晶显示面板及背光模组(backlightmodule)。通常液晶显示面板由彩膜(ColorFilter，CF)基板、薄膜晶体管(ThinFilmTransistor，TFT)阵列基板、夹于彩膜基板与薄膜晶体管阵列基板之间的液晶(LiquidCrystal，LC)及密封胶框(Sealant)组成。液晶显示面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子，两片玻璃基板中间有许多垂直和水平的细小电线，通过通电与否来控制液晶分子改变方向，将背光模组的光线折射出来产生画面。OLED通常包括：基板、设于基板上的阳极、设于阳极上的空穴注入层(HoleInjectLayer，HIL)、设于空穴注入层上的空穴传输层(HoleTransportLayer，HTL)、设于空穴传输层上的发光层、设于发光层上的电子传输层(ElectronTransportLayer，ETL)、设于电子传输层上的电子注入层(ElectronInjectLayer，EIL)及设于电子注入层上的阴极。OLED显示器件的发光原理为半导体材料和有机发光材料在电场驱动下，通过载流子注入和复合导致发光。现有的显示面板的设计中，常有需要将两层互相绝缘的金属层进行连接的设计，例如采用触屏技术的显示面板中，一般将触控信号输入TFT阵列基板的一层金属层，并使该层金属层与其上方的另一层金属层连接，由该另一层金属层与感测端子连接，从而实现触控显示。请参阅图1及图2，现有的一种TFT阵列基板包括第一金属层910、设于第一金属层910上的第一绝缘层920、设于第一绝缘层920上的第二金属层930、设于第一绝缘层920及第二金属层930上的第二绝缘层940及设于第二绝缘层940上的氧化铟锡层950。所述第二绝缘层940上设有位于第二金属层930上方的两个第一过孔941及位于第一金属层910上方的两个第二过孔942，所述第一绝缘层920上设有位于第一金属层910上方的第三过孔921，每一第二过孔942对应位于一第三过孔921内，氧化铟锡层950穿过第一过孔941及第二过孔942分别与第二金属层930及第一金属层910连接，从而实现第一金属层910与第二金属层930之间的连接。当工艺制程产生以及外界进入的静电在氧化铟锡层950上积累，会产生静电击穿效应，使得氧化铟锡层950容易在第一过孔941的底部边缘及第二过孔942的底部边缘处断裂，该断裂会向过孔外部延伸，请参阅图3，当断裂不断延伸直至氧化铟锡层950的两侧边缘后，会导致氧化铟锡层950断裂为间隔的且分别与第一金属层910及第二金属层930连接的两个部分，此时第一金属层910与第二金属层930不再连接，影响显示面板的功能的实现，可靠性较低。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种TFT阵列基板，能够避免由于静电击穿导致的导电层断裂，可靠性高。为实现上述目的，本专利技术首先提供一种TFT阵列基板，包括第一导电层、设于第一导电层上的第一绝缘层、设于第一绝缘层上的第二导电层、设于第二导电层及第一绝缘层上的第二绝缘层以及设于第二绝缘层上的第三导电层；所述第二绝缘层上设有位于第二导电层上方的第一过孔及位于第一导电层上方的第二过孔，所述第一绝缘层上设有位于第一导电层上方的第三过孔，第二过孔位于第三过孔内；第三导电层经第一过孔及第二过孔分别与第二导电层及第一导电层连接；所述第三导电层上设有间隔的第一开口与第二开口，所述第一开口在竖直方向的投影位于第二过孔底部边缘的一侧且一端突出第二过孔底部边缘靠近第一过孔的一端；所述第二开口在竖直方向的投影位于第一过孔底部边缘的一侧且一端突出第一过孔底部边缘靠近第二过孔的一端。所述第一开口在竖直方向的投影突出第二过孔底部边缘靠近第一过孔一端的部分与所述第二开口在竖直方向的投影突出第一过孔底部边缘靠近第二过孔一端的部分在第一过孔和第二过孔排列方向上的长度之和大于等于第一过孔底部边缘与第二过孔底部边缘投影在同一水平面上时两者之间的距离；所述第一开口及第二开口在竖直方向的投影分别位于由第一过孔及第二过孔组成的过孔列的两侧；所述第一开口及第二开口均为长条状；所述第一开口的延伸方向与第二开口的延伸方向平行。所述第二绝缘层上还设有位于第二导电层上方的第四过孔及位于第一导电层上方的第五过孔，所述第一绝缘层上设有位于第一导电层上方的第六过孔，第五过孔位于第六过孔内，所述第三导电层经第四过孔与第五过孔分别与第二导电层及第一导电层连接；所述第四过孔、第一过孔、第二过孔及第五过孔依次设置排成一列。可选地，所述第一开口在竖直方向的投影的另一端突出第二过孔底部边缘靠近第五过孔的一端；所述第二开口在竖直方向的投影的另一端突出第一过孔底部边缘靠近第四过孔的一端；所述第三导电层还设有间隔的第三开口及第四开口；所述第三开口在竖直方向的投影位于第四过孔底部边缘的一侧，且一端突出第四过孔底部边缘靠近第一过孔的一端，另一端突出第四过孔底部边缘远离第一过孔的一端；所述第四开口在竖直方向的投影位于第五过孔底部边缘的一侧，且一端突出第五过孔底部边缘靠近第二过孔的一端，另一端突出第五过孔底部边缘远离第二过孔的一端；所述第三开口和第一开口的排列方向与第一过孔和第二过孔的排列方向平行；所述第二开口和第四开口的排列方向与第一过孔和第二过孔的排列方向平行。所述第一开口在竖直方向的投影突出第二过孔底部边缘靠近第五过孔一端的部分与所述第四开口在竖直方向的投影突出第五过孔底部边缘靠近第二过孔一端的部分在第二过孔和第五过孔排列方向上的长度之和大于等于第二过孔的底部边缘与第五过孔底部边缘之间的距离；所述第二开口在竖直方向的投影突出第一过孔底部边缘靠近第四过孔一端的部分与所述第三开口在竖直方向的投影突出第四过孔底部边缘靠近第一过孔一端的部分在第四过孔和第一过孔排列方向上的长度之和大于等于第四过孔的底部边缘与第一过孔底部边缘之间的距离；所述第三开口及第四开口均为长条状，所述第三开口及第四开口的延伸方向均与第一开口的延伸方向平行；所述第一开口的延伸方向与第一过孔和第二过孔的排列方向平行。可选地，所述第三导电层还设有间隔的第三开口、第四开口、第五开口、第六开口、第七开口及第八开口；所述第三开口在竖直方向的投影位于第一过孔底部边缘的一侧，且一端突出第一过孔底部边缘靠近第四过孔的一端；所述第四开口在竖直方向的投影位于第四过孔底部边缘的一侧，且一端突出第四过孔底部边缘靠近第一过孔的一端；所述第五开口在竖直方向的投影位于第四过孔底部边缘的一侧，且一端突出第四过孔底部边缘远离第一过孔的一端；所述第六开口在竖直方向的投影位于第五过孔底部边缘的一侧，且一端突出第五过孔底部边缘靠近第二过孔的一端；所述第七开口在竖直方向的投影位于第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种TFT阵列基板，其特征在于，包括第一导电层(100)、设于第一导电层(100)上的第一绝缘层(200)、设于第一绝缘层(200)上的第二导电层(300)、设于第二导电层(300)及第一绝缘层(200)上的第二绝缘层(400)以及设于第二绝缘层(400)上的第三导电层(500)；所述第二绝缘层(400)上设有位于第二导电层(300)上方的第一过孔(410)及位于第一导电层(100)上方的第二过孔(420)，所述第一绝缘层(200)上设有位于第一导电层(100)上方的第三过孔(210)，第二过孔(420)位于第三过孔(210)内；第三导电层(500)经第一过孔(410)及第二过孔(420)分别与第二导电层(300)及第一导电层(100)连接；所述第三导电层(500)上设有间隔的第一开口(510)与第二开口(520)，所述第一开口(510)在竖直方向的投影位于第二过孔(420)底部边缘的一侧且一端突出第二过孔(420)底部边缘靠近第一过孔(410)的一端；所述第二开口(520)在竖直方向的投影位于第一过孔(410)底部边缘的一侧且一端突出第一过孔(410)底部边缘靠近第二过孔(420)的一端。...

【技术特征摘要】
1.一种TFT阵列基板，其特征在于，包括第一导电层(100)、设于第一导电层(100)上的第一绝缘层(200)、设于第一绝缘层(200)上的第二导电层(300)、设于第二导电层(300)及第一绝缘层(200)上的第二绝缘层(400)以及设于第二绝缘层(400)上的第三导电层(500)；所述第二绝缘层(400)上设有位于第二导电层(300)上方的第一过孔(410)及位于第一导电层(100)上方的第二过孔(420)，所述第一绝缘层(200)上设有位于第一导电层(100)上方的第三过孔(210)，第二过孔(420)位于第三过孔(210)内；第三导电层(500)经第一过孔(410)及第二过孔(420)分别与第二导电层(300)及第一导电层(100)连接；所述第三导电层(500)上设有间隔的第一开口(510)与第二开口(520)，所述第一开口(510)在竖直方向的投影位于第二过孔(420)底部边缘的一侧且一端突出第二过孔(420)底部边缘靠近第一过孔(410)的一端；所述第二开口(520)在竖直方向的投影位于第一过孔(410)底部边缘的一侧且一端突出第一过孔(410)底部边缘靠近第二过孔(420)的一端。2.如权利要求1所述的TFT阵列基板，其特征在于，所述第一开口(510)在竖直方向的投影突出第二过孔(420)底部边缘靠近第一过孔(410)一端的部分与所述第二开口(520)在竖直方向的投影突出第一过孔(410)底部边缘靠近第二过孔(420)一端的部分在第一过孔(410)和第二过孔(420)排列方向上的长度之和大于等于第一过孔(410)底部边缘与第二过孔(420)底部边缘投影在同一水平面上时两者之间的距离；所述第一开口(510)及第二开口(520)在竖直方向的投影分别位于由第一过孔(410)及第二过孔(420)组成的过孔列的两侧；所述第一开口(510)及第二开口(520)均为长条状；所述第一开口(510)的延伸方向与第二开口(520)的延伸方向平行。3.如权利要求2所述的TFT阵列基板，其特征在于，所述第二绝缘层(400)上还设有位于第二导电层(300)上方的第四过孔(440)及位于第一导电层(100)上方的第五过孔(450)，所述第一绝缘层(200)上设有位于第一导电层(100)上方的第六过孔(220)，第五过孔(450)位于第六过孔(220)内，所述第三导电层(500)经第四过孔(440)与第五过孔(450)分别与第二导电层(300)及第一导电层(100)连接；所述第四过孔(440)、第一过孔(410)、第二过孔(420)及第五过孔(450)依次设置排成一列。4.如权利要求3所述的TFT阵列基板，其特征在于，所述第一开口(510)在竖直方向的投影的另一端突出第二过孔(420)底部边缘靠近第五过孔(450)的一端；所述第二开口(520)在竖直方向的投影的另一端突出第一过孔(410)底部边缘靠近第四过孔(440)的一端；所述第三导电层(500)还设有间隔的第三开口(530)及第四开口(540)；所述第三开口(530)在竖直方向的投影位于第四过孔(440)底部边缘的一侧，且一端突出第四过孔(440)底部边缘靠近第一过孔(410)的一端，另一端突出第四过孔(440)底部边缘远离第一过孔(410)的一端；所述第四开口(540)在竖直方向的投影位于第五过孔(450)底部边缘的一侧，且一端突出第五过孔(450)底部边缘靠近第二过孔(420)的一端，另一端突出第五过孔(450)底部边缘远离第二过孔(420)的一端；所述第三开口(530)和第一开口(510)的排列方向与第一过孔(410)和第二过孔(420)的排列方向平行；所述第二开口(520)和第四开口(540)的排列方向与第一过孔(410)和第二过孔(420)的排列方向平行。5.如权利要求4所述的TFT阵列基板，其特征在于，所述第一开口(510)在竖直方向的投影突出第二过孔(420)底部边缘靠近第五过孔(450)一端的部分与所述第四开口(540)在竖直方向的投影突出第五过孔(450)底部边缘靠近第二过孔(420)一端的部分在第二过孔(420)和第五过孔(450)排列方向上的长度之和大于等于第二过孔(420)的底部边缘与第五过孔(450)底部边缘之间的距离；所述第二开口(520)在竖直方向的投影突出第一过孔(410)底部边缘靠近第四过孔(440)一端的部分与所述第三开口(530)在竖直方向的投影突出第四过孔(440)底部边缘靠近第一过孔(410)一端的部分在第四过孔(440)和第一过孔(410)排列方向上的长度之和大于等于第四过孔(440)的底部边缘与第一过孔(410)底部边缘之间的距离；所述第三开口(530)及第四开口(540)均为长条状，所述第三开口(530)及第四开口(540)的延伸方向均与第一开口(510)的延伸方向平行；所述第一开口(510)的延伸方向与第一过孔(410)和第二过孔(420)的排列方向平行。6.如权利要求3所述的TFT阵列基板，其特征在于，所述第三导电层(500’)还设有间隔的第三开口(530’)、第四开口(540’)、第五开口(550’)、第六开口(560’)、第七开口(570’)及第八开口(580’)；所述第三开口(530’)在竖直方向的投影位于第一过孔(410)底部边缘的一侧，且一端突出第一过孔(410)底部边缘靠近第四过孔(440)的一端；所述第四开口(540’)在竖直方向的投影位于第四过孔(440)底部边缘的一侧，且一端突出第四过孔(440)底部边缘靠近第一过孔(410)的一端；所述第五开口(550’)在竖直方向的投影位于第四过孔(440)底部边缘的一侧，且一端突出第四过孔(440)底部边缘远离第一过孔(410)的一端；所述第六开口(560’)在竖直方向的投影位于第五过孔(450)底部边缘的一侧，且一端突出第五过孔(450)底部边缘靠近第二过孔(420)的一端；所述第七开口(570’)在竖直方向的投影位于第二过孔(420)底部边缘的一侧，且一端突出第二过孔(420)底部边缘靠近第五过孔(450)的一端；所述第八开口(580’)在竖直方向的投影位于第五过孔(450)底部边缘的一侧，且一端突出第五过孔(450)底部边缘远离第二过孔(420)的一端；所述第五开口(550’)、第三开口(530’)、第一开口(510’...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖作敏，李彦阳，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42