The invention relates to a device and a method for measuring a heating head, wherein the device comprises a base, a support rod, the support rod fixed on the base, a fixing mechanism, the fixing mechanism installed on the support rod, a lifting rack, the lifting rack having a first support plate and a second support plate, wherein, the support rod is fixed on the base, the fixing mechanism is mounted on the support rod, and the lifting rack has a first support The first support plate is mounted on the fixing mechanism, and the second support plate is used to support the heat exchanger cover plate of the heating head; and an adjustable fastening mechanism, the adjustable fastening mechanism is mounted on the fixing mechanism relative to the first support plate, wherein the adjustable fastening mechanism is adjustable. The heat exchanger bracket is adjusted to lock the heating head between the adjustable fastening mechanism and the first support plate for measuring the heating head.
【技术实现步骤摘要】
用于加热头测量的设备和方法
本专利技术涉及半导体测量领域,并且具体地涉及用于加热头测量的设备和方法。
技术介绍
微电子器件的更高的性能、更低的成本、增大的小型化以及微电子器件的更大的封装密度是半导体产业对于集成电路芯片的制造的当前目标。随着实现这些目标,集成电路芯片按比例缩小,即变得更小。因此,需要设置特定的温度以对集成电路芯片进行测试。一旦设置的温度出现某些异常,就会导致集成电路芯片发生质量问题。在集成电路芯片的温度测试中,加热头起着非常关键的作用,但其也具有较高的故障率。由于加热头具有不规则的形状,因此难以对加热头的参数进行准确测量。这导致无法及时找到故障原因,从而难以有效地修复加热头。此外,对加热头进行测量的位置、人员以及方法的变化进一步增加了这一难度。
技术实现思路
鉴于上述问题,本专利技术提供一种新颖的用于加热头测量的设备和方法,其可以建立标准的测量环境以有效提高测量的可靠性,并且可以消除在测量过程中出现的各种变化从而能够对加热头的参数进行准确测量。根据本专利技术的一个方面,提供一种用于加热头测量的设备,包括:基座;支撑杆,所述支撑杆固定在所述基座上;固定机构,所述固定机构安装在所述支撑杆上;托举架,所述托举架具有第一支撑板和第二支撑板,其中,所述第一支撑板安装在所述固定机构上,并且所述第二支撑板用于支撑所述加热头的热交换器盖板;以及可调节式紧固机构,所述可调节式紧固机构与所述第一支撑板相对地安装在所述固定机构上,其中,所述可调节式紧固机构可被调节来将所述加热头的热交换器支架锁紧在所述可调节式紧固机构与所述第一支撑板之间,以便对所述加热头进行测量。在 ...
【技术保护点】
1.一种用于加热头测量的设备,包括:基座;支撑杆,所述支撑杆固定在所述基座上;固定机构,所述固定机构安装在所述支撑杆上;托举架,所述托举架具有第一支撑板和第二支撑板,其中,所述第一支撑板安装在所述固定机构上,并且所述第二支撑板用于支撑所述加热头的热交换器盖板;以及可调节式紧固机构,所述可调节式紧固机构与所述第一支撑板相对地安装在所述固定机构上,其中,所述可调节式紧固机构可被调节来将所述加热头的热交换器支架锁紧在所述可调节式紧固机构与所述第一支撑板之间,以便对所述加热头进行测量。
【技术特征摘要】
1.一种用于加热头测量的设备,包括:基座;支撑杆,所述支撑杆固定在所述基座上;固定机构,所述固定机构安装在所述支撑杆上;托举架,所述托举架具有第一支撑板和第二支撑板,其中,所述第一支撑板安装在所述固定机构上,并且所述第二支撑板用于支撑所述加热头的热交换器盖板;以及可调节式紧固机构,所述可调节式紧固机构与所述第一支撑板相对地安装在所述固定机构上,其中,所述可调节式紧固机构可被调节来将所述加热头的热交换器支架锁紧在所述可调节式紧固机构与所述第一支撑板之间,以便对所述加热头进行测量。2.根据权利要求1所述的设备,还包括蒸发器高度测量辅助装置,其具有底板、上盖板以及形成在所述上盖板的侧壁上的多个箱包扣连接块,其中,在所述底板和所述上盖板中形成有用于容纳所述加热头的蒸发器的贯通孔,在所述上盖板中还形成有与所述加热头的导向针对准的接纳孔,其中,所述多个箱包扣连接块用于紧扣在所述加热头的应力传导组件上以便使得所述上盖板与所述应力传导组件彼此相对的外表面重合。3.根据权利要求2所述的设备,其中,所述多个箱包扣连接块相对于所述上盖板的中心成非对称布置或者对称布置。4.根据权利要求1所述的设备,还包括:升降机构,所述升降机构安装在所述支撑杆上,用于对所述固定机构进行升降。5.根据权利要求4所述的设备,其中,所述升降机构为套管,所述套管套装在所述支撑杆上并且能够沿所述支撑杆上下移动。6.根据权利要求1所述的设备,还包括:旋转机构,其中,所述第一支撑板和所述可调节式紧固机构通过所述旋转机构安装在所述固定机构上。7.根据权利要求6所述的设备,其中,所述旋转机构包括固定销以及其中形成有多个插销孔的旋转机构主体,以及所述固定机构中也形成有多...
【专利技术属性】
技术研发人员:储飞,胡波,董波,
申请(专利权)人:英特尔产品成都有限公司,英特尔公司,
类型:发明
国别省市:四川,51
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。