一种激光陀螺腔体清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种激光陀螺腔体清洗装置，包括用于承载激光陀螺腔体的腔体固定工装、用于使腔体内的氦氖气体放电的直流电源以及用于腔体内气体置换的真空台，还包括分别位于腔体两侧端面上用于给腔体加载射频能量的第一外置电极板和第二外置电极板，真空台与腔体气密连接，第一外置电极板和第二外置电极板通过同轴线缆依次连接有射频匹配器和射频电源；本实用新型专利技术使得腔体每条毛细孔均得到辉光放电清洗，射频辉光放电清洗的过程不受激光陀螺自身的放电系统的限制，且射频等离子体的能量高、功率强度调节方便，工艺时间短，有效的延长了激光陀螺的使用寿命。

A laser gyro cavity cleaning device

The utility model discloses a laser gyro cavity cleaning device, which comprises a cavity fixture for carrying the laser gyro cavity, a direct current power supply for discharging helium-neon gas in the cavity, and a vacuum platform for gas replacement in the cavity, and a radio frequency energy loading device for the cavity respectively located at the ends of the cavity. The first external electrode plate and the second external electrode plate are connected tightly with the cavity, and the first external electrode plate and the second external electrode plate are connected successively with the radio frequency matcher and the radio frequency power supply through the coaxial cable; the utility model enables each capillary hole of the cavity to be glow discharge cleaned, and the radio frequency glow discharge cleaned. The process is not limited by the discharge system of the laser gyroscope itself, and the RF plasma has the advantages of high energy, convenient power intensity adjustment, short process time, and effectively prolongs the service life of the laser gyroscope.

【技术实现步骤摘要】
一种激光陀螺腔体清洗装置
本技术属于激光陀螺制造
，具体涉及一种激光陀螺腔体清洗装置。
技术介绍
激光陀螺腔体主要采用膨胀系数较低的微晶玻璃或者石英玻璃材料，腔体钻有毛细孔，然后在腔体上封接一个阴极和两个阳极，在多边形顶点处光胶反射镜，构成密闭环形光路，腔体内充入一定比例的氦气、氖气混合气体做为增益介质，在阴极和两个阳极之间施加高压，使氦氖气体激发形成激光增益构成沿相反方向运行的两束环形激光。氦氖气体的纯度直接关系到激光陀螺性能的稳定性和寿命。由于气体吸附作用，腔体材料会残存大量的杂气，而且腔体内表面可能会残存一定的污染物和氧化层，这都会影响所充入的氦氖气体的纯度。因此对腔体进行除气和去除污染物是十分必要的。为了使腔体毛细孔内表面达到原子级别的洁净度，目前使用最广泛的是直流放电清洗方法，但是这种方法存在一定的弊端，主要表现为直流放电清洗仅能对阴极和两个阳极构成的放电臂进行清洗，而不能对另外一臂进行清洗，而且为防止阴极溅射，一般直流放电的电流较低，产生的等离子体能量较低所需工艺时间长。
技术实现思路
本技术的目的在于根据现有技术的不足，设计一种激光陀螺腔体清洗装置。本技术解决其技术问题所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光陀螺腔体清洗装置，其特征在于：包括用于承载激光陀螺腔体（9）的腔体固定工装（4）、用于使腔体（9）内的氦氖气体放电的直流电源（5）以及用于腔体（9）内气体置换的真空台（7），还包括分别位于腔体（9）两侧端面上用于给腔体（9）加载射频能量的第一外置电极板（6）和第二外置电极板（8），所述的真空台（7）与腔体（9）气密连接，所述的第一外置电极板（6）和第二外置电极板（8）通过同轴线缆（3）依次连接有射频匹配器（2）和射频电源（1）。

【技术特征摘要】
1.一种激光陀螺腔体清洗装置，其特征在于：包括用于承载激光陀螺腔体（9）的腔体固定工装（4）、用于使腔体（9）内的氦氖气体放电的直流电源（5）以及用于腔体（9）内气体置换的真空台（7），还包括分别位于腔体（9）两侧端面上用于给腔体（9）加载射频能量的第一外置电极板（6）和第二外置电极板（8），所述的真空台（7）与腔体（9）气密连接，所述的第一外置电极板（6）和第二外置电极板（8）通过同轴线缆（3）依次连接有射频匹配器（2）和射频电源（1）。2.根据权利要求1所述的一种激光陀螺腔体清洗装置，其特征在于，所述的第一外置电极板（6）包括配合使用的第一电极槽（15）、第一铜质...

【专利技术属性】
技术研发人员：王利伟，张红波，王鹏，
申请(专利权)人：华中光电技术研究所中国船舶重工集团公司第七一七研究所，
类型：新型
国别省市：湖北,42