一种滤光片剥离机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种滤光片剥离机构，包括安装底座、张紧机构、旋转机构、视觉模块、顶升机构及导向机构；在开始剥离滤光片时，将晶圆盘装入所述张紧机构中并张紧；所述导向机构固定于所述安装底座上，所述导向机构包括X轴导轨及Y轴导轨；所述Y轴导轨与所述X轴导轨不在同一水平面上；所述旋转机构与所述张紧机构齿轮外啮合连接，所述旋转机构与所述Y轴导轨滑动连接；所述顶升机构与所述X轴导轨滑动连接。本实用新型专利技术通过设置不同长度的顶针设置于所述晶圆盘的下方，顶针顶起晶圆盘上晶圆，使晶圆与晶圆盘的膜分离，实现了机械手吸嘴吸取晶圆更加方便的目的，又通过调整张紧环来达到张紧晶圆盘上的膜，防止晶圆盘倾斜的目的。

A filter stripper mechanism

The utility model relates to a filter stripping mechanism, which comprises a mounting base, a tensioning mechanism, a rotating mechanism, a visual module, a jacking mechanism and a guiding mechanism; when the filter is stripped, the wafer disc is loaded into the tensioning mechanism and tensioned; the guiding mechanism is fixed on the mounting base, and the guiding mechanism is described. The Y-axis guide rail is not on the same horizontal plane with the X-axis guide rail; the rotating mechanism is meshed with the gear of the tensioning mechanism; the rotating mechanism is sliding with the Y-axis guide rail; and the jacking mechanism is sliding with the X-axis guide rail. The utility model sets different length thimbles under the wafer disc, the thimble jacks up the wafer on the wafer disc, separates the wafer from the wafer disc membrane, realizes the purpose of sucking the wafer more conveniently by the manipulator suction nozzle, and achieves the purpose of tightening the film on the wafer disc by adjusting the tightening ring to prevent the wafer disc from tilting. Objective.

【技术实现步骤摘要】
一种滤光片剥离机构
本技术涉及滤光片剥离领域，尤其涉及一种滤光片剥离机构。
技术介绍
在涉及高精密贴装行业，大部分中国市场被欧美企业、日韩企业及其他外资企业占领。在摄像头滤光片贴装行业，针对如何把滤光片从离心纸上玻璃是一道关键工序。剥离原理上大至相同，但结构设计，及软件逻辑上又各有千秋，整个行业出现百花齐放的现象。但是现有技术中的摄像头滤光片贴装存在的一个问题是，因滤光片与物料盘之间是真空贴合，滤光片与物料盘之间的有一个大气压力，在通过物料盘上的吸嘴将滤光片从物料盘上剥离的时候，吸取极为困难，
技术实现思路
针对现有技术中存在的缺陷或不足，本技术所要解决的技术问题是：提供一种能够解决现有技术中滤光片剥离不净、剥离困难的技术问题的滤光片剥离机构。为了实现上述目的，本技术采取的技术方案为提供一种滤光片剥离机构，包括安装底座、张紧机构、旋转机构、视觉模块、顶升机构及导向机构；在开始剥离滤光片时，将晶圆盘装入所述张紧机构中并张紧；所述导向机构固定于所述安装底座上，所述导向机构包括X轴导轨及Y轴导轨；所述Y轴导轨与所述X轴导轨不在同一水平面上；所述旋转机构与所述张紧机构齿轮外啮合连接，所述旋转机构与所述Y轴导轨滑动连接；所述顶升机构与所述X轴导轨滑动连接；所述视觉模块设置于所述张紧机构的上部，所述视觉模块：用于定位晶圆盘中晶圆；所述顶升机构包括顶升座、固定于所述顶升座上的顶升套筒、一晶圆盘吸嘴、第一顶针、第二顶针及第三顶针；所述第一顶针、所述第二顶针及所述第三顶针皆设有一固定端及一顶起端，所述第一顶针的固定端、所述第二顶针的固定端及所述第三顶针的固定端皆固定于所述顶针座上；所述晶圆盘吸嘴设置于所述顶升套筒的一端，且所述晶圆盘吸嘴中间设有一顶升孔，所述第一顶针的顶起端、所述第二顶针的顶起端及所述第二顶针的顶起端能够自所述顶升孔中伸出并高于所述顶升孔的上平面；所述第一顶针的高度、所述第二顶针的高度及所述第三顶针的高度有高度差。作为本技术的进一步改进，所述高度差为0.1-0.3mm。。作为本技术的进一步改进，所述高度差为0.2mm。。作为本技术的进一步改进，所述张紧机构包括盖板、套环、张紧环转盘及旋转盘安装板；所述盖板为弧形，所述盖板与所述套环卡接固定，所述盖板与所述套环之间嵌有晶圆盘；所述套环的内径大于所述张紧环的内径，所述张紧环套接于所述套环与所述转盘之间；所述张紧环：用于升降晶圆盘的高度；所述转盘边缘上设有一垂直于所述转盘上表面的齿轮条，所述驱动机构与所述齿轮条外啮合。作为本技术的进一步改进，所述张紧环通过3个丝杆螺母与转盘连接，3个所述的丝杆螺母通过同卡带连接一同步轮，所述同步轮与一驱动电机相连。作为本技术的进一步改进，所述旋转机构与所述张紧机构啮合处的外部还罩有一罩体；所述罩体固定于所述张紧机构上。作为本技术的进一步改进，所述X轴导轨包括一X轴电机及一X轴滑动导轨，所述顶升座卡接在所述X轴滑动导轨上，所述X轴电机与所述顶升座通过一同步带相连。本技术的有益效果是：本技术通过设置不同长度的顶针设置于所述晶圆盘的下方，顶针顶起晶圆盘上晶圆，使晶圆与晶圆盘的膜分离，实现了机械手吸嘴吸取晶圆更加方便的目的，又通过调整张紧环来达到张紧晶圆盘上的膜，防止晶圆盘倾斜的目的。附图说明图1是本技术提供的结构示意图；图2是图1中标号为1的结构示意图；图3是图1中标号为3的结构示意图；其中数字表示：张紧机构1、旋转机构2、顶升机构3、X轴导轨41、Y轴导轨42、安装底座5、晶圆盘000、旋转盘安装板101、盖板102、张紧环103、套环104、转盘105、旋转轴承座110、缓冲块安装座111、缓冲块112、同步带轮组件113、齿轮条151、橡胶垫片152、驱动齿轮201、顶升座301、顶升套筒302、第一顶针303、第二顶针304、第三顶针305、顶针座306、晶圆盘吸嘴307。具体实施方式下面结合附图说明及具体实施方式对本技术进一步说明。如图1所示，本技术提供一种滤光片剥离机构，不仅适用于滤光片的剥离，还适用于晶圆的剥离，因为对晶圆的剥离所需的剥离装置的精度要求很高，本技术能够很好的适用于对剥离精度要求比较高的晶圆或者滤光片剥离场景。本技术包括安装底座5、张紧机构1、旋转机构2、视觉模块、顶升机构3及导向机构；在开始剥离滤光片时，将晶圆盘000装入所述张紧机构1中并张紧；所述导向机构固定于所述安装底座5上，所述导向机构包括X轴导轨41及Y轴导轨42；所述Y轴导轨42与所述X轴导轨41不在同一水平面上；所述旋转机构2与所述张紧机构1外啮合连接，所述旋转机构1与所述Y轴导轨42滑动连接；所述顶升机构3与所述X轴导轨41滑动连接；所述视觉模块设置于所述张紧机构1的上部，所述视觉模块：用于定位晶圆盘000中晶圆；所述顶升机构3包括顶升座301、固定于所述顶升座301上的顶升套筒302、一晶圆盘吸嘴307、第一顶针303、第二顶针304、第三顶针305；所述第一顶针303、所述第二顶针304及所述第三顶针305皆设有一固定端及一顶起端，所述第一顶针303的固定端、所述第二顶针304的固定端及所述第三顶针305的固定端皆固定于所述顶针座301上；所述晶圆盘000吸嘴设置于所述顶升套筒302的一端，且所述晶圆盘吸嘴307中间设有一顶升孔，所述第一顶针303的顶起端、所述第二顶针304的顶起端及所述第三顶针305的顶起端能够自所述顶升孔中伸出并高于所述顶升孔的上平面；所述第一顶针303的高度、所述第二顶针302的高度及所述第三顶针305的高度有高度差。所述张紧机构包括盖板102、套环104、张紧环103转盘及旋转盘安装板101；所述盖板102为弧形，所述盖板102与所述套环104卡接固定，所述盖板102与所述套环104之间嵌有晶圆盘000；所述套环104的内径大于所述张紧环103的内径，所述张紧环103套接于所述套环104与所述转盘105之间；所述张紧环103：用于升降晶圆盘000的高度；所述转盘105边缘上设有一垂直于所述转盘105上表面的齿轮条151，所述驱动齿轮201与所述齿轮条151外啮合。所述张紧环103通过3个丝杆螺母与转盘105连接，3个所述的丝杆螺母通过同卡带连接一同步轮，所述同步轮与一驱动电机相连。具体的是，所述张紧环103安装在三根丝杠上，并通过丝杠螺母将丝杠固定在旋转盘上，丝杠螺母与同步轮连接。用一根同步带连接三根丝杠螺母上的同步轮与电机，实现三根丝杠带动张紧环同步升降以张紧晶圆盘000。本技术的操作方法为：首先将经圆盘安装到所述盖板102与所述套环104中间，然后通过张紧环103张紧晶圆盘000的膜，使得晶圆盘000的倾斜角度满足剥离的要求；在晶圆剥离时，所述旋转机构1在配合视觉模块对晶圆进行初步校正，后续剥料时所述顶升机构3沿X轴导轨41、Y轴导轨42时相对晶圆的修正值就越小。所述顶升机构3移动至某颗晶圆下方时，顶升机构3中的顶升电机带动顶升机构中的凸轮机构驱动第一顶针303、第二顶针302及所述第三顶针305上升将晶圆剥离离型纸、薄膜或膜。圆晶在装夹时有张紧并通过所述旋转机构1作前期修正，可以在后续剥离晶圆时修正值更小，剥离误判率小，剥本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种滤光片剥离机构，其特征在于，包括安装底座、张紧机构、旋转机构、视觉模块、顶升机构及导向机构；在开始剥离滤光片时，将晶圆盘装入所述张紧机构中并张紧；所述导向机构固定于所述安装底座上，所述导向机构包括X轴导轨及Y轴导轨；所述Y轴导轨与所述X轴导轨不在同一水平面上；所述旋转机构与所述张紧机构外啮合连接，所述旋转机构与所述Y轴导轨滑动连接；所述顶升机构与所述X轴导轨滑动连接；所述视觉模块设置于所述张紧机构的上部，所述视觉模块：用于定位晶圆盘中晶圆；所述顶升机构包括顶升座、固定于所述顶升座上的顶升套筒、一晶圆盘吸嘴、第一顶针、第二顶针、第三顶针和顶针座；所述第一顶针、所述第二顶针及所述第三顶针皆设有一固定端及一顶起端，所述第一顶针的固定端、所述第二顶针的固定端及所述第三顶针的固定端皆固定于所述顶针座上；所述晶圆盘吸嘴设置于所述顶升套筒的一端，且所述晶圆盘吸嘴中间设有一顶升孔，所述第一顶针的顶起端、所述第二顶针的顶起端及所述第二顶针的顶起端能够自所述顶升孔中伸出并高于所述顶升孔的上平面；所述第一顶针的高度、所述第二顶针的高度及所述第三顶针的高度有高度差。

【技术特征摘要】
1.一种滤光片剥离机构，其特征在于，包括安装底座、张紧机构、旋转机构、视觉模块、顶升机构及导向机构；在开始剥离滤光片时，将晶圆盘装入所述张紧机构中并张紧；所述导向机构固定于所述安装底座上，所述导向机构包括X轴导轨及Y轴导轨；所述Y轴导轨与所述X轴导轨不在同一水平面上；所述旋转机构与所述张紧机构外啮合连接，所述旋转机构与所述Y轴导轨滑动连接；所述顶升机构与所述X轴导轨滑动连接；所述视觉模块设置于所述张紧机构的上部，所述视觉模块：用于定位晶圆盘中晶圆；所述顶升机构包括顶升座、固定于所述顶升座上的顶升套筒、一晶圆盘吸嘴、第一顶针、第二顶针、第三顶针和顶针座；所述第一顶针、所述第二顶针及所述第三顶针皆设有一固定端及一顶起端，所述第一顶针的固定端、所述第二顶针的固定端及所述第三顶针的固定端皆固定于所述顶针座上；所述晶圆盘吸嘴设置于所述顶升套筒的一端，且所述晶圆盘吸嘴中间设有一顶升孔，所述第一顶针的顶起端、所述第二顶针的顶起端及所述第二顶针的顶起端能够自所述顶升孔中伸出并高于所述顶升孔的上平面；所述第一顶针的高度、所述第二顶针的高度及所述第三顶针的高度有高度差。2.根据权利要求1所述的滤光片...

【专利技术属性】
技术研发人员：聂汉华，
申请(专利权)人：深圳市智立方自动化设备有限公司，邱鹏，
类型：新型
国别省市：广东,44