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本实用新型涉及一种滤光片剥离机构，包括安装底座、张紧机构、旋转机构、视觉模块、顶升机构及导向机构；在开始剥离滤光片时，将晶圆盘装入所述张紧机构中并张紧；所述导向机构固定于所述安装底座上，所述导向机构包括X轴导轨及Y轴导轨；所述Y轴导轨与所述...
该专利属于深圳市智立方自动化设备有限公司;邱鹏所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市智立方自动化设备有限公司;邱鹏授权不得商用。

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