一种气体动态稀释配气系统及其方法技术方案

本发明专利技术提供一种气体动态稀释配气系统及其方法，该方法包括：根据第一预设流量值控制用于连通载气钢瓶与混合容器的第一通道的气体流量；测量第一管道的流量测量值；根据第一预设流量值与第一管道的流量测量值计算第一校准值；根据第一校准值修正第一预设流量值使第一管道的实际流量值达到第一预设流量值；根据第二预设流量值控制用于连通组气钢瓶与混合容器的第二通道的气体流量；测量第二管道的流量测量值；根据第二预设流量值与第二管道的流量测量值计算第二校准值；根据第二校准值修正第二预设流量值使第二管道的实际流量值达到第二预设流量值。本发明专利技术解决了因气体种类、浓度不同造成的准确度偏差，大大提高了配气准确度。

Gas dynamic dilution gas distribution system and method thereof

The invention provides a gas dynamic dilution gas distribution system and a method thereof, comprising: controlling the gas flow rate for the first passage connecting a gas-carrying cylinder and a mixing vessel according to the first preset flow value; measuring the flow measurement value of the first pipeline; calculating the first preset flow value and the flow measurement value of the first pipeline One calibration value; revise the first preset flow value according to the first calibration value to make the actual flow value of the first pipeline reach the first preset flow value; control the gas flow of the second passage for connecting the gas cylinder and the mixing vessel according to the second preset flow value; measure the flow value of the second pipeline; and according to the second preset flow value. Calculate the second calibration value with the flow measurement value of the second pipeline; revise the second preset flow value according to the second calibration value to make the actual flow value of the second pipeline reach the second preset flow value. The invention solves the accuracy deviation caused by different gas types and concentrations, and greatly improves the gas distribution accuracy.

【技术实现步骤摘要】
一种气体动态稀释配气系统及其方法
本专利技术涉及气体动态稀释配气
，尤其涉及一种气体动态稀释配气系统及其方法。
技术介绍
现有的技术有选用不同的质量流量控制器进行流量控制，通过控制不同通道的体积流量，来达到对气体标准物质的定量稀释，从而实现从高浓度的气体稀释到不同低浓度的气体的目标。一般地，气体的动态稀释至少要包括两路流量控制器(流量控制器的原理包括多种，如质量流量控制器、毛细管流量控制器、临界锐孔流量控制器等)，假如为A路和B路，在对A路的气体进行稀释时，控制流量分别为FA，FB，按照下面公式(1)计算稀释后的目标气体浓度值：其中，C为稀释后的目标气体浓度值；CS为稀释前钢瓶装标准气体的浓度值；FA为A路流量控制器的流量；FB为B路流量控制器的流量。此时，对应的稀释比例为X，在同一条件下，分别对FA，FB，进行了体积流量的测量，即被稀释气体和载气的体积流量。稀释系统使用A路500mL/min和B路500mL/min两个流量控制点进行稀释(即稀释比例,X＝0.5)。两路流量控制器在一定的流量范围内控制流量时，流量设置和实际测量数据如下：测量条件：温度15.2℃；压力100.6k本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体动态稀释配气方法，其特征在于，包括步骤：根据第一预设流量值控制用于连通载气钢瓶与混合容器的第一通道的气体流量；测量所述第一管道的流量测量值，并根据所述第一预设流量值与所述第一管道的流量测量值计算第一校准值；根据所述第一校准值修正所述第一预设流量值使所述第一管道的实际流量值达到所述第一预设流量值；根据第二预设流量值控制用于连通组气钢瓶与混合容器的第二通道的气体流量；测量所述第二管道的流量测量值，并根据所述第二预设流量值与所述第二管道的流量测量值计算第二校准值；根据所述第二校准值修正所述第二预设流量值使所述第二管道的实际流量值达到所述第二预设流量值。

【技术特征摘要】
1.一种气体动态稀释配气方法，其特征在于，包括步骤：根据第一预设流量值控制用于连通载气钢瓶与混合容器的第一通道的气体流量；测量所述第一管道的流量测量值，并根据所述第一预设流量值与所述第一管道的流量测量值计算第一校准值；根据所述第一校准值修正所述第一预设流量值使所述第一管道的实际流量值达到所述第一预设流量值；根据第二预设流量值控制用于连通组气钢瓶与混合容器的第二通道的气体流量；测量所述第二管道的流量测量值，并根据所述第二预设流量值与所述第二管道的流量测量值计算第二校准值；根据所述第二校准值修正所述第二预设流量值使所述第二管道的实际流量值达到所述第二预设流量值。2.根据权利要求1所述气体动态稀释配气方法，其特征在于，所述测量所述第二管道的流量测量值之前，还包括：对位于与所述第二管道相连通的清洗管道上的清洗截止阀执行多次开关操作，直至流动路径通过体积至少为其容积10倍的气体。3.根据权利要求1所述气体动态稀释配气方法，其特征在于：所述根据所述第一校准值修正所述第一预设流量值使所述第一管道的实际流量值达到所述第一预设流量值之前，使所述第一管道内的气体不流入所述混合容器或从所述混合容器排除；根据所述第二校准值修正所述第二预设流量值使所述第二管道的实际流量值达到所述第二预设流量值之前，使所述第二管道内的气体不流入所述混合容器或从所述混合容器排除。4.根据权利要求1所述气体动态稀释配气方法，其特征在于，所述根据所述第一校准值修正所述第一预设流量值使所述第一管道的实际流量值达到所述第一预设流量值之后，还包括：计算从所述第一管道开始通气的时间点到所述第一预设流量值根据所述校准值修正的时间点的时间段，记作第一校准时间；在所述第一管道的通气时间到达第一预设值后，使所述第一预设流量值为修正后的第一预设流量值与修正前的第一预设流量值的差值，并使所述第一管道继续通气的时间达到所述第一校准时间。5.根据权利要求1所述气体动态稀释配气方法，其特征在于，所述根据所述第二校准值修正所述第二预设流量值使所述第二管道的实际流量值达到所述第二预设流量值之后，还包括：计算从所述第二管道开始通气的时间点到所述第二预设流量值根据所述校准值修正的时间点的时间段，记作第二校准时间；在所述第二管道的通气时间到达第二预设值后，使所述第二预设流量值为修正后的第二预设流量值与修正前的第二预设流量值的差值，并使所述第二管道继续通气的时...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘沂玲，王德发，李士良，
申请(专利权)人：中国计量科学研究院，
类型：发明
国别省市：北京,11