激光法测量超薄玻璃再热线收缩率的装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了激光法测量超薄玻璃再热线收缩率的装置和方法，包括：L型架体、加热炉、激光传感器、石英支架、石英棒和石英杆等；L型架体的竖架上安装有调整加热炉上下位置的电动升降机构，L型架体的竖架顶部安装有调整激光传感器的XYZ三维移动平台；测试时，将玻璃试样安放在专用石英支架内，石英支架放入加热炉里，由激光传感器实时监测玻璃试样加热前后的长度收缩变化量，与玻璃试样原长相除，即可得到玻璃试样的再热线收缩率。本发明专利技术使用高精度激光传感器实时监测，避免了划线法等人为操作引入的误差和显微镜观察精度低的问题，为测量≤10ppm的低收缩变化率的超薄玻璃提供了相对简单易行的试验方法和装置。

Apparatus and method for Measuring Shrinkage of ultra-thin glass reheat by laser method

The invention discloses a device and a method for measuring the shrinkage of ultra-thin glass reheat wire by laser method, including: L-shaped frame, reheating furnace, laser sensor, quartz bracket, quartz rod and quartz rod, etc. The vertical frame of the L-shaped frame is equipped with an electric lifting mechanism for adjusting the upper and lower position of the reheating furnace, and the top of the vertical frame of the L-shaped frame is equipped with an adjusting mechanism. XYZ three-dimensional moving platform of the whole laser sensor; when testing, the glass sample is placed in a special quartz stent, quartz stent is placed in a heating furnace, and the length shrinkage of the glass sample before and after heating is monitored by the laser sensor in real time. The invention uses a high-precision laser sensor for real-time monitoring, avoids the errors caused by manual operation such as scratching method and the problems of low observation precision of microscope, and provides a relatively simple and feasible test method and device for measuring ultra-thin glass with a low shrinkage rate of less than 10 ppm.

【技术实现步骤摘要】
激光法测量超薄玻璃再热线收缩率的装置和方法
本专利技术涉及玻璃再热线收缩率测试
，尤其涉及激光法测量超薄玻璃再热线收缩率的装置和方法，可满足基于LTPS制程工艺用LCD/OLED显示用玻璃基板再热线收缩率的测量。
技术介绍
超薄玻璃是指厚度小于1.1mm的平板状玻璃，其中一个重要应用领域为电子显示产品。随着LCD/OLED显示产品向高分辨率方向发展，利用低温多晶硅技术(LowTemperaturePoly-silicon，LTPS)制备的TFT，使LCD/OLED显示产品具有高分辨率、反应速度快、亮度高、开口率大等优点。LTPS工艺是对沉积在玻璃基板表面的非晶硅(a-Si)进行热处理，使其转化成多晶硅(Poly-silicon，p-Si)，其电子迁移速率提高100倍以上。制备p-Si工艺分为温度范围在550-600℃的“低温工艺”和温度低于450℃的“超低温度工艺”，这两种工艺被简称为600℃工艺和450℃工艺。这些高温处理及在硅层上反复多次高温光刻，会导致玻璃基板因受热导致产生不可逆收缩变形，致使显示器的上基板与下基板在合片/成盒时，出现像素点位置偏移，呈现永久漏光或黑点，造本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光法测量超薄玻璃再热线收缩率的装置，其特征在于，包括：L型架体、加热炉、激光传感器、石英支架、石英棒和石英杆；所述L型架体的竖架上安装有电动升降机构，所述加热炉安装在所述电动升降机构上；所述L型架体的竖架顶部安装有XYZ三维移动平台，所述激光传感器安装在所述XYZ三维移动平台上；玻璃试样装载在所述石英支架上，所述石英支架置于所述加热炉内的匀温区，所述加热炉受智能温度控制系统控制；所述石英棒固定在所述L型架体水平面的石英棒安装座上，所述石英棒上端深入所述加热炉的下部，所述石英棒的上端支撑所述石英支架；所述石英杆穿设在所述加热炉的上部，所述石英杆的下端抵在所述玻璃试样的上端，所述石英杆的...

【技术特征摘要】
1.一种激光法测量超薄玻璃再热线收缩率的装置，其特征在于，包括：L型架体、加热炉、激光传感器、石英支架、石英棒和石英杆；所述L型架体的竖架上安装有电动升降机构，所述加热炉安装在所述电动升降机构上；所述L型架体的竖架顶部安装有XYZ三维移动平台，所述激光传感器安装在所述XYZ三维移动平台上；玻璃试样装载在所述石英支架上，所述石英支架置于所述加热炉内的匀温区，所述加热炉受智能温度控制系统控制；所述石英棒固定在所述L型架体水平面的石英棒安装座上，所述石英棒上端深入所述加热炉的下部，所述石英棒的上端支撑所述石英支架；所述石英杆穿设在所述加热炉的上部，所述石英杆的下端抵在所述玻璃试样的上端，所述石英杆的上端处于所述激光传感器的下方。2.如权利要求1所述的激光法测量超薄玻璃再热线收缩率的装置，其特征在于，所述石英支架为石英管，所述石英支架的外径小于玻璃试样的宽度5～10mm，所述石英支架的厚度为2～3mm。3.如权利要求2所述的激光法测量超薄玻璃再热线收缩率的装置，其特征在于，所述石英支架沿轴线方向开设有中部缝隙和两端固定试样缝隙，所述固定试样缝隙处于中部缝隙两侧且与所述中部缝隙相通；所述中部缝隙为玻璃试样厚度的3～5倍，所述固定试样缝隙大于玻璃试样的厚度0.1～0.2mm，所述固定试样缝隙的长度为0.5～1cm。4.如权利要求1所述的激光法测量超薄玻璃再热线收缩率的装置，其特征在于，所述石英支架的上端设有与所述石英杆相匹配的石英套，所述石英套的厚度为10～15mm，所述石英套的内径大于石英杆0.5～1mm。5.如权利要求1所述的激光法测量超薄玻璃再热线收缩率的装置，其特征在于，所述石英棒作为所述石英支架的底座，所述石英棒的直径大于所述石英支架的外径，所述石英棒与石英支架的接触处设有轴台，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：田英良，陈鑫鑫，王为，李建峰，刘亚茹，孙诗兵，吕锋，相志磊，刘岳翔，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：北京,11