The invention discloses a debonding device and a control method. The device comprises an upper adsorption unit and a lower adsorption unit on both sides of the bonding sheet, an adjustment unit connected with the upper adsorption unit and an operation control unit connected with the lower adsorption unit. The glass and silicon wafers are adsorbed by the upper adsorption unit and the lower adsorption unit respectively, and then the lower adsorption unit is moved horizontally by the operation control unit in the torque control mode and the speed control mode respectively, which drives the separation of the silicon wafer and the glass wafer. Through the torque and speed control mode, the bonding process is guaranteed. Layers run steadily, avoiding problems such as excessive speed, excessive torque and so on, resulting in bad phenomena such as compression damage, cracks, debris caused by uneven force on the layers, and improving the yield of products.
【技术实现步骤摘要】
一种解键合装置及控制方法
本专利技术涉及解键合
,具体涉及一种解键合装置及控制方法。
技术介绍
解键合设备是半导体工艺路线中的重要设备,解键合工艺是将由玻璃片、中间材料(如键合胶)、硅片晶圆组成的键合片经过一系列工艺处理(包括减薄、TSV加工和金属化等)后进行拆解的过程。常规的热滑移解键合技术需要克服的主要问题是防止热滑移过程中的裂片现象。由于半导体领域的晶圆通常是薄的,易碎的,尤其是在受到加热后热释放过程中应力作用下的变形等现象。解键合工艺中硅片平稳运行是避免晶圆裂片的重要影响因素,而键合片分离过程中的控制方法直接影响硅片分离过程中的受力情况,并决定硅片分离后的表面质量。解键合力为上下片层与之间熔融胶层的剪切力,剪切力计算公式为其中:μ—胶层动力粘度系数;u—上下片层之间相对运动速度;y—上下片层之间胶层厚度;A—上下片层之间实际接触面积。现有技术中提供了一种使衬底与通过连接层连接的衬底载体分离的装置,并涉及了一种分离的控制方法,该方法利用分离装置中安装的测力机构,用来测量衬底和衬底载体之间的剥离力,该剥离力用以调节衬底和衬底载体之间的移动速度。控制方案以恒定的剥离力实现剥离,由于平行移动的速度与衬底和衬底载体之间的有效接触面积呈反比,随着接触面积的减小,剥离速度将逐步增大。此外,该装置还考虑了衬底和衬底载体分离过程中粘附力逐渐减小的因素,在分离过程接近结束过程中附加的对于平行移动时考虑设置间隙结构进行垂直方向上的运动,由于键合片在热滑移过程中受热传递的影响,温度逐渐升高,解片初期,上下片层实际接触面积最大,而胶层尚未完全熔化,动力粘度系数较大,因 ...
【技术保护点】
1.一种解键合装置,其特征在于,包括分别位于键合片上下两侧的上吸附单元和下吸附单元,与所述上吸附单元连接的调整单元以及与所述下吸附单元连接的运行控制单元。
【技术特征摘要】
1.一种解键合装置,其特征在于,包括分别位于键合片上下两侧的上吸附单元和下吸附单元,与所述上吸附单元连接的调整单元以及与所述下吸附单元连接的运行控制单元。2.根据权利要求1所述的解键合装置,其特征在于,所述上吸附单元由下至上包括依次连接的上吸盘、上加热器和上隔热板。3.根据权利要求2所述的解键合装置,其特征在于,所述上加热器和所述上隔热板之间设有若干上隔热块。4.根据权利要求2所述的解键合装置,其特征在于,所述调整单元位于所述上隔热板上方。5.根据权利要求4所述的解键合装置,其特征在于,所述调整单元包括均匀分布于所述上隔热板上方的若干垫块,所述垫块与所述上隔热板之间通过调节件连接。6.根据权利要求5所述的解键合装置,其特征在于,所述垫块设有6个,所述调节件为调节螺钉。7.根据权利要求1所述的解键合装置,其特征在于,所述下吸附单元由上至下包括依次连接的下吸盘、下加热器和下隔热板。8.根据权利要求7所述的解键合装置,其特征在于,所述下加热器和所述下隔热板之间设有若干下隔热块。9.根据权利要求7所述的解键合装置,其特征在于,所述运行控制单元设于所述下隔热板下方。10.根据权利要求9所述的解键合装置,其特征在于,所述运行控制单元包括与所述下隔热板连接的运行平台以及与所述运行平台依次连接的伺服电机、伺服控制器和PLC控制器。11.根据权利要求10所述的解键合装置,其特征在于,还包括电源,所述伺服控制器和电源之间还依次连有断路器和接触器。12.一种如权利要求1所述的解键合装置的控制方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:所述上吸附单元吸附所述键合片中玻璃片...
【专利技术属性】
技术研发人员:卓国海,余斌,
申请(专利权)人:上海微电子装备集团股份有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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