用于执行曝光处理的设备制造技术

本发明专利技术公开了一种用于执行曝光处理的设备，包括曝光腔室、光源组件、投影组件、承载台、固定支撑件、支撑框架；光源组件、投影组件和承载台均设置于曝光腔室内；光源组件用于产生曝光光线；投影组件包括透镜和支撑构件，透镜的透镜主体的边缘部固定有轨道部件；轨道部件是以与中心轴正交的方式沿左右方向延伸的细长的棱柱部件，轨道部件的上表面与透镜主体的背面接合，轨道部件在透镜主体的左右两端上延伸；第一、第二连接部件分别固定在轨道部件的左右方向的中间部分，第一、第二连接部件构造成向上开口的U字形；第一、第二连接部件正交于透镜主体的中心轴。本发明专利技术能调整投影组件在用于执行曝光处理的设备中的角度。

Device for performing exposure processing

The invention discloses a device for performing exposure processing, including an exposure chamber, a light source assembly, a projection assembly, a bearing platform, a fixed support, and a support frame; a light source assembly, a projection assembly and a support platform are all arranged in the exposure chamber; a light source assembly is used for generating exposure light; and a projection assembly includes a lens and a support. A rail component is fixed at the edge of the lens body; the rail component is a slender prism component extending along the left and right directions in a way orthogonal to the central axis; the upper surface of the rail component joins the back of the lens body; the rail component extends on the left and right ends of the lens body; the first and second connecting components Fixed in the middle part of the left and right directions of the track components, the first and second connecting parts are constructed in U shape with an upward opening; the first and second connecting parts are orthogonal to the central axis of the lens body. The invention can adjust the angle of the projection component in the equipment used for carrying out the exposure processing.

【技术实现步骤摘要】
用于执行曝光处理的设备
本专利技术涉及曝光
，特别涉及一种用于执行曝光处理的设备。
技术介绍
传统的用于执行曝光处理的设备一般包括曝光光源和投影镜片，该曝光光源用于产生曝光光线，并将该曝光光线通过该投影镜片照射待进行曝光处理的器件。该投影镜片在上述传统的用于执行曝光处理的设备中的位置和角度一般是固定的，也就是说，该投影镜片无法改变其接收曝光光线或输出曝光光线的角度。当需要对具有斜面的显示器件或半导体器件进行曝光处理时，上述传统的用于执行曝光处理的设备无法向该具有斜面的显示器件或半导体器件输出正对该斜面的曝光光线，从而无法对待进行曝光处理的显示器件或半导体器件进行更优的曝光处理。故，有必要提出一种新的技术方案，以解决上述技术问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种用于执行曝光处理的设备，其能调整投影组件在用于执行曝光处理的设备中的角度。为解决上述问题，本专利技术的技术方案如下：一种用于执行曝光处理的设备，所述用于执行曝光处理的设备包括曝光腔室、光源组件、投影组件、承载台、固定支撑件、支撑框架；所述光源组件、所述投影组件和所述承载台均设置于所述曝光腔室内；所述光源组件用于产生曝光光线，并用于将所产生的所述曝光光线输出至所述投影组件；所述投影组件包括透镜和支撑构件，所述透镜包括透镜主体，所述透镜主体的边缘部固定有轨道部件；两个所述轨道部件安装在所述透镜主体的边缘部，所述轨道部件在所述透镜的摆动运动的中心轴的轴向上隔开预定的间隔配置，所述轨道部件是以与所述中心轴正交的方式沿左右方向延伸的细长的棱柱部件，所述轨道部件的上表面与所述透镜主体的背面接合，所述轨道部件在所述透镜主体的左右两端上延伸；第一连接部件、第二连接部件分别固定在所述轨道部件的左右方向的中间部分，所述第一连接部件、所述第二连接部件构造成向上开口的U字形，所述第一连接部件、所述第二连接部件具有近端部分和远端部分；所述第一连接部件、所述第二连接部件正交于所述透镜主体的中心轴。优选地，所述第一连接部件、所述第二连接部件比所述透镜主体的前侧面、后侧面更接近所述透镜主体的中央。优选地，所述支撑构件具有安装台，所述安装台的支承构件的板状部的长度方向的两端部与所述第一连接部件、所述第二连接部件交叉地沿所述中心轴的轴向延伸。优选地，投影组件还具有固定部，所述固定部具有纵壁部和横壁部。优选地，两个所述轨道部件中的一个所述轨道部件设置在所述透镜主体的前端与所述透镜主体的前后方向的中间部之间，两个所述轨道部件的另一个所述轨道部件设置在所述透镜主体的后端与所述透镜主体的前后方向的中间部之间。优选地，设置于所述透镜主体侧的轴承部从所述轨道部件的下表面朝向所述透镜主体侧延伸。优选地，所述轴承部上形成有内径比附接到所述支承构件的上端部的第一接收部件、第二接收部件中的插入轴部分的外径大的轴孔。优选地，在所述透镜主体被所述支撑构件支撑的状态下，在所述轴承部的前表面上的轴孔的外边缘部分插入到所述插入轴部分的接触部中，以限制所述第一连接部件、所述第二连接部件以及所述透镜向下移动。优选地，所述插入轴部分设置有接触部，所述接触部用于限制所述第一连接部件、所述第二连接部件的向下移动。优选地，当所述插入轴部分在所述轴孔内滑动时，所述第一接收部件、所述第二接收部件的后端部分与所述插入轴部分的接触部接触。相对现有技术，本专利技术能调整投影组件在用于执行曝光处理的设备中的角度，从而能对待进行曝光处理的显示器件或半导体器件进行更优的曝光处理。附图说明图1为本专利技术的用于执行曝光处理的设备的示意图。图2为图1所示的用于执行曝光处理的设备中的投影组件的示意图。具体实施方式参考图1和图2，图1为本专利技术的用于执行曝光处理的设备的示意图，图2为图1所示的用于执行曝光处理的设备中的投影组件的示意图。本专利技术的用于执行曝光处理的设备用于对显示器件或半导体器件进行曝光处理。本专利技术的用于执行曝光处理的设备包括曝光腔室101、光源组件104、投影组件107、承载台108、固定支撑件102、支撑框架103、第一发射镜105和第二反射镜106。所述光源组件、所述投影组件、所述承载台、所述固定支撑件、所述支撑框架均设置于所述曝光腔室内。所述光源组件用于产生曝光光线，并用于将所产生的所述曝光光线输出至所述投影组件。具体地，光源组件用于通过第一反射镜和第二反射镜将曝光光线输出至投影组件。所述承载台用于承载待进行曝光处理的显示器件或半导体器件。支撑框架的基端部连接固定支撑件，并且支撑框架的末端部连接光源组件。支撑框架包括第一移动框架、第二移动框架以及具有正交的第一枢轴、第二枢轴的转动构件。第一移动框架、第二移动框架和转动构件的每个可移动部分构成具有锁定构件的第一活动部至第七活动部。支撑框架包括第一活动部至第七活动部以及第一锁定构件至第七锁定构件，第一锁定构件至第七锁定构件分别用于将第一活动部至第七活动部锁定。固定支撑件由三个支撑柱构成，每个支撑柱用于通过调节器调节长度(高度)，三个支撑柱彼此间隔预定距离并平行布置，三个支撑柱通过联接杆彼此连接，两个支撑柱的联接杆相互连接。在支撑框架中，第一移动框架的基端部分连接到固定支撑件的一个支撑柱，并且第二移动框架的基端部分连接到第一移动框架的远端部，转动构件的基座与第二移动框架的前端部连接。所述支撑框架包括第一臂体、第二臂体和第三臂体。第二移动框架设置有构造为平行连杆构件的第三臂体。第三臂体由第一水平杆和第二水平杆连接，第一水平杆、第二水平杆以及设置在第一水平杆、第二水平杆的端部之间的第一垂直杆、第二垂直杆形成为平行四边形形状。连结块与固定支撑件的一个支撑柱相固定。所述支撑框架还包括活动轴。活动轴构成用于使第一臂体在水平方向上枢转的第一活动部，第一锁定构件设置于活动轴中。联接杆连接支撑柱。第二锁定构件、第三锁定构件设置在相应的第一旋转轴、第二旋转轴上。联接部(第一移动框架的远端部分)连接到第二臂体的远端，在联接部上具有沿垂直方向的枢动轴。枢动轴上设置有第四锁定构件，第二移动框架用于通过枢动轴相对于第一移动框架的第二臂体在水平方向上转动。第一枢轴和第二枢轴分别设有第六锁定构件、第七锁定构件。第六活动部和第七活动部分别由第一枢轴、第二枢轴构成。第三臂体的基端部分通过上端联接块经由枢动轴与第二臂体的前端侧的联接部连结，以沿水平方向自由旋转。转动构件的基座固定到设置在垂直第二移动框架或下端联接块的上端和下端处的第二垂直杆。转动构件的基座安装在由平行连杆构件构成的第二移动框架的前端部，以在保持恒定姿态的同时在垂直方向上平移。第一转动轴支撑第三臂体的基端部分以在竖直方向上旋转，并且第三臂体通过第一转动轴在竖直方向上旋转。转动构件的基座用于根据第三臂体的远端部分的位移而位移。第五活动部用于相对于第三臂体在竖直方向上旋转，以保持恒定的姿态。在构成为平行连杆构件的第三臂体中，第一水平杆和第二水平杆的基端部由第一转动轴支承，以沿上下方向转动，从而在整个垂直方向上摆动。第五活动部设置有第五锁定构件。安装在第二移动框架的前端部的转动构件具有相对于基座以第一枢轴为中心转动的第一转动部分，以及相对于第一转动部分围绕第二枢轴转动的第二转动部分。第一枢轴设定为平行于第三臂体的移动垂直水平方向的轴线，第一转动部分用于围本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于执行曝光处理的设备，其特征在于，所述用于执行曝光处理的设备包括曝光腔室、光源组件、投影组件、承载台、固定支撑件、支撑框架；所述光源组件、所述投影组件和所述承载台均设置于所述曝光腔室内；所述光源组件用于产生曝光光线，并用于将所产生的所述曝光光线输出至所述投影组件；所述投影组件包括透镜和支撑构件，所述透镜包括透镜主体，所述透镜主体的边缘部固定有轨道部件；两个所述轨道部件安装在所述透镜主体的边缘部，所述轨道部件在所述透镜的摆动运动的中心轴的轴向上隔开预定的间隔配置，所述轨道部件是以与所述中心轴正交的方式沿左右方向延伸的细长的棱柱部件，所述轨道部件的上表面与所述透镜主体的背面接合，所述轨道部件在所述透镜主体的左右两端上延伸；第一连接部件、第二连接部件分别固定在所述轨道部件的左右方向的中间部分，所述第一连接部件、所述第二连接部件构造成向上开口的U字形，所述第一连接部件、所述第二连接部件具有近端部分和远端部分；所述第一连接部件、所述第二连接部件正交于所述透镜主体的中心轴。

【技术特征摘要】
1.一种用于执行曝光处理的设备，其特征在于，所述用于执行曝光处理的设备包括曝光腔室、光源组件、投影组件、承载台、固定支撑件、支撑框架；所述光源组件、所述投影组件和所述承载台均设置于所述曝光腔室内；所述光源组件用于产生曝光光线，并用于将所产生的所述曝光光线输出至所述投影组件；所述投影组件包括透镜和支撑构件，所述透镜包括透镜主体，所述透镜主体的边缘部固定有轨道部件；两个所述轨道部件安装在所述透镜主体的边缘部，所述轨道部件在所述透镜的摆动运动的中心轴的轴向上隔开预定的间隔配置，所述轨道部件是以与所述中心轴正交的方式沿左右方向延伸的细长的棱柱部件，所述轨道部件的上表面与所述透镜主体的背面接合，所述轨道部件在所述透镜主体的左右两端上延伸；第一连接部件、第二连接部件分别固定在所述轨道部件的左右方向的中间部分，所述第一连接部件、所述第二连接部件构造成向上开口的U字形，所述第一连接部件、所述第二连接部件具有近端部分和远端部分；所述第一连接部件、所述第二连接部件正交于所述透镜主体的中心轴。2.根据权利要求1所述的用于执行曝光处理的设备，其特征在于，所述第一连接部件、所述第二连接部件比所述透镜主体的前侧面、后侧面更接近所述透镜主体的中央。3.根据权利要求1所述的用于执行曝光处理的设备，其特征在于，所述支撑构件具有安装台，所述安装台的支承构件的板状部的长度方向的两端部与所述第一连接部件、所述第二连接部件交叉地沿所述中心轴的轴向延伸。...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：佛山尉达科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44