A cylindrical mirror measuring device includes a pneumatic shock absorber, a laser interferometer mounted on a pneumatic shock absorber for measuring a spherical mirror, a display connected to the laser interferometer, a guide rail vertically arranged near the measuring end of the laser interferometer and the laser interferometer, an auxiliary support mounted on the guide rail, and a proximity to the auxiliary rail. The sliding rail of the bracket which is arranged on the pneumatic damping platform, the adjusting bracket for placing cylindrical mirrors on the sliding rail, the sliding seat which is connected with the sliding rail at the bottom of the adjusting bracket, the grating ruler which is arranged on one side of the sliding rail and connected with the sliding seat at the bottom of the adjusting bracket, and the digital display which is connected with the grating ruler electrically, are arranged on the sliding A cylindrical lens is mounted on the auxiliary bracket. The cylindrical mirror measuring equipment can also measure cylindrical mirror by laser interferometer by setting auxiliary bracket in front of the existing laser interferometer and adjusting the auxiliary bracket to quickly and faster cylindrical lens.
【技术实现步骤摘要】
柱面镜测量设备
本技术属于柱面镜检测领域,具体涉及一种柱面镜测量设备。
技术介绍
激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。现有激光干涉仪上安装柱面镜头时,用于测量不同半径的柱面镜;安装球面镜头时用于检测球面镜的面型和半径。然而,由于激光干涉仪成本高,体积大,在生产车间针对不同产品配备相应的激光干涉仪无疑是增加运行成本。因此,有必要在现有测量球面镜的激光干涉仪上进行改进,以便使一台激光干涉仪同时满足测量柱面镜和球面镜的需求。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种柱面镜测量设备,该柱面镜测量设备通过在现有测量球面镜的激光干涉仪的前方设备辅助支架,通过调整辅助支架来快速更快柱面镜镜头,使测量球面镜的激光干涉仪也可进行柱面镜测量,使用该测量设备能够从分利用现有实验室的仪器设备,大大降低测量成本,同时节省生产空间。为实现上述目的,本技术采用如下技术方案:一种柱面镜测量设备,包括:气压式减震平台、安装在气压式减震平台上用于测量球面镜的激光干涉仪、与激光干涉仪连接的显示器、靠近激光干涉仪测量端与激光干涉仪垂直设置的导轨、设置在导轨上的辅助支架、靠近辅助支架且设置在气压式减震平台上的滑轨、安装在滑轨上用于放置柱面镜的调节支架、设置在调节支架底部与滑轨滑动连接的滑动座、设置在滑轨一侧且与调节支架底部的滑动座连接的光栅尺、与光栅尺电连的数显器;其中,所述激光干涉仪用于测量柱面镜的PV值;所述显示器用于显示激光干涉仪测量的数据、图像信息;所述辅助支架在导轨上能够进行滑动,在辅助支架上安装有柱面镜头,利用辅助支架上的柱面镜头实现对柱面镜的测量;所述调节支架通过滑动座 ...
【技术保护点】
1.一种柱面镜测量设备,其特征在于:包括:气压式减震平台、安装在气压式减震平台上用于测量球面镜的激光干涉仪、与激光干涉仪连接的显示器、靠近激光干涉仪测量端与激光干涉仪垂直设置的导轨、设置在导轨上的辅助支架、靠近辅助支架且设置在气压式减震平台上的滑轨、安装在滑轨上用于放置柱面镜的调节支架、设置在调节支架底部与滑轨滑动连接的滑动座、设置在滑轨一侧且与调节支架底部的滑动座连接的光栅尺、与光栅尺电连的数显器;其中,所述激光干涉仪用于测量柱面镜的PV值;所述显示器用于显示激光干涉仪测量的数据、图像信息;所述辅助支架在导轨上能够进行滑动,在辅助支架上安装有柱面镜头,利用辅助支架上的柱面镜头实现对柱面镜的测量;所述调节支架通过滑动座能够在滑轨上进行滑动,调节支架上设置有柱面镜,通过调节支架能够对柱面镜的前后、左右、高低、仰俯角度进行调整;所述光栅尺与滑动座连接,当调节支架在滑轨上滑动时,利用光栅尺检测调节支架上柱面镜的半径;所述辅助支架包括:安装在导轨上且在导轨上能够进行滑动的滑动座、设置在滑动座上的L型柱面镜头支架、安装在L型柱面镜头支架上的磁铁架、吸附在磁铁架上的柱面镜头;其中,在所述导轨的末端 ...
【技术特征摘要】
1.一种柱面镜测量设备,其特征在于:包括:气压式减震平台、安装在气压式减震平台上用于测量球面镜的激光干涉仪、与激光干涉仪连接的显示器、靠近激光干涉仪测量端与激光干涉仪垂直设置的导轨、设置在导轨上的辅助支架、靠近辅助支架且设置在气压式减震平台上的滑轨、安装在滑轨上用于放置柱面镜的调节支架、设置在调节支架底部与滑轨滑动连接的滑动座、设置在滑轨一侧且与调节支架底部的滑动座连接的光栅尺、与光栅尺电连的数显器;其中,所述激光干涉仪用于测量柱面镜的PV值;所述显示器用于显示激光干涉仪测量的数据、图像信息;所述辅助支架在导轨上能够进行滑动,在辅助支架上安装有柱面镜头,利用辅助支架上的柱面镜头实现对柱面镜的测量;所述调节支架通过滑动座能够在滑轨上进行滑动,调节支架上设置有柱面镜,通过调节支架能够对柱面镜的前后、左右、高低、仰俯角度进行调整;所述光栅尺与滑动座连接,当调节支架在滑轨上滑动时,利用光栅尺检测调节支架上柱面镜的半径;所述辅助支架包括:安装在导轨上且在导轨上能够进行滑动的滑动座、设置在滑动座上的L型柱面镜头支架、安装在L型柱面镜头支架上的磁铁架、吸附在磁铁架上的柱面镜头;其中,在所述导轨的末端加工有限...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈靖宇,武雁雄,
申请(专利权)人:吉林省恒华光电有限公司,
类型:新型
国别省市:吉林,22
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。