封闭式精密对位平台制造技术

本实用新型专利技术提供封闭式精密对位平台，包括底座、叠设于所述底座上并通过X轴导轨与所述底座滑动连接的X轴移动平台、驱动所述X轴移动平台运动的第一驱动装置、叠设于所述X轴移动平台上并通过Y轴导轨与所述X轴移动平台滑动连接的Y轴移动平台、驱动所述Y轴移动平台运动的第二驱动装置、叠设于所述Y轴移动平台上并通过旋转机构与所述Y轴移动平台转动连接的旋转平台以及驱动所述旋转平台转动的第三驱动装置，在所述X轴导轨的两侧均设有X轴封板，在所述Y轴导轨的两侧均设有Y轴封板，在所述旋转机构的外侧设有环形封板，因此拥有较好的封闭性，降低粉尘进入对位平台内部的可能。

Closed precision counterpart platform

The utility model provides a closed precise alignment platform, which comprises a base, an X-axis moving platform overlapped on the base and sliding connected with the base through an X-axis guide rail, a first driving device driving the movement of the X-axis moving platform, an X-axis moving platform overlapped on the X-axis moving platform and sliding with the X-axis moving platform through a Y-axis guide rail. A movably connected Y-axis moving platform, a second driving device driving the movement of the Y-axis moving platform, a rotating platform superimposed on the Y-axis moving platform and rotated by a rotating mechanism and the Y-axis moving platform, and a third driving device driving the rotation of the rotating platform are provided with X-axis on both sides of the X-axis guide rail. The sealing plate is provided with Y-axis sealing plates on both sides of the Y-axis guide rail and annular sealing plates on the outer side of the rotating mechanism, thus having better sealing property and reducing the possibility of dust entering the inner of the counter platform.

【技术实现步骤摘要】
封闭式精密对位平台
本技术属于对位平台
，尤其涉及一种封闭式精密对位平台。
技术介绍
本部分旨在为权利要求书以及具体实施方式中陈述的本技术的实施方式提供背景或者上下文。此处的描述不因为包括在本部分中就承认是现有技术。在半导体制造、液晶面板制造、LED面板制造等
均需要用到对位平台，目前的对位平台并不是封闭式的，由此，在生产过程中，容易进入粉尘，粉尘堆积过多后，会影响对位平台的精度，因此长时间使用对位平台后会因对位精度不准确而导致产品质量存在缺陷，不利于产品生产，另外，粉尘堆积在对位平台内还不容易清洁。
技术实现思路
鉴于此，本技术有必要提供一种封闭式精密对位平台，拥有较好的封闭性，降低粉尘进入对位平台内部的可能。本技术采用的技术方案如下，一种封闭式精密对位平台，包括底座、叠设于所述底座上并通过X轴导轨与所述底座滑动连接的X轴移动平台、驱动所述X轴移动平台运动的第一驱动装置、叠设于所述X轴移动平台上并通过Y轴导轨与所述X轴移动平台滑动连接的Y轴移动平台、驱动所述Y轴移动平台运动的第二驱动装置、叠设于所述Y轴移动平台上并通过旋转机构与所述Y轴移动平台转动连接的旋转平台以及驱动所述旋转平台转动的第三驱动装置，在所述X轴导轨的两侧均设有X轴封板，在所述Y轴导轨的两侧均设有Y轴封板，在所述旋转机构的外侧设有环形封板，所述环形封板将所述旋转机构以及所述第三驱动装置封闭在Y轴移动平台以及所述旋转平台之间的空间中。进一步的，所述X轴封板包括第一X轴侧板以及连接所述第一X轴侧板的第二X轴侧板，所述第一X轴侧板为竖直板并且其底端固定于所述底座的上表面，所述X轴移动平台设有第一滑动槽，所述第二X轴侧板收容于所述第一滑动槽内以便于所述第二X轴侧板能在所述第一滑动槽内滑动。进一步的，所述第一X轴侧板与所述第二X轴侧板之间的夹角为90度。进一步的，所述Y轴封板包括第一Y轴侧板以及连接所述第一Y轴侧板的第二Y轴侧板，所述第一Y轴侧板为竖直板并且其底端固定于所述X轴移动平台的上表面，所述Y轴移动平台设有第二滑动槽，所述第二Y轴侧板收容于所述第二滑动槽内以便于所述第二Y轴侧板能在所述第二滑动槽内滑动。进一步的，所述第一Y轴侧板与所述第二Y轴侧板之间的夹角为90度。进一步的，旋转机构包括固定于所述Y轴移动平台上表面的固定轴、固定于所述旋转平台下表面的旋转轴，所述旋转轴与所述固定轴轴接并可相对旋转，在所述旋转轴上设有外螺纹，所述第三驱动装置所连接的主动轮与所述外螺纹螺纹传动连接。进一步的，所述环形封板包括第一环形板以及与所述第一环形板连接的第二环形板，所述第一环形板为竖直板并且其底端固定于所述Y轴移动平台的上表面，所述旋转平台设有第三滑动槽，所述第二环形板收容于所述第三滑动槽内以便于所述第二环形板能在所述第三滑动槽内相对转动。进一步的，所述第一环形板与所述第二环形板之间的夹角为90度。本技术所提供的一种封闭式精密对位平台，包括底座、叠设于所述底座上并通过X轴导轨与所述底座滑动连接的X轴移动平台、驱动所述X轴移动平台运动的第一驱动装置、叠设于所述X轴移动平台上并通过Y轴导轨与所述X轴移动平台滑动连接的Y轴移动平台、驱动所述Y轴移动平台运动的第二驱动装置、叠设于所述Y轴移动平台上并通过旋转机构与所述Y轴移动平台转动连接的旋转平台以及驱动所述旋转平台转动的第三驱动装置，在所述X轴导轨的两侧均设有X轴封板，在所述Y轴导轨的两侧均设有Y轴封板，在所述旋转机构的外侧设有环形封板，所述环形封板将所述旋转机构以及所述第三驱动装置封闭在Y轴移动平台以及所述旋转平台之间的空间中，本技术在各个方位均提供了较好的封闭性，能够有效降低在加工过程中粉尘进入对位平台内部的可能，提高对位平台的精度。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见的，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的一方向的包括部分剖视图的结构示意图。图2为图1的A处放大图。图3为本技术的另一方向的包括部分剖视图的结构示意图。图4为图3的B处放大图。图5为本技术的包括部分剖视图的结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性的劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术的保护范围，可以理解，附图仅仅是提供参考与说明用，并非用来对本技术加以限制，附图中显示的连接仅仅是为了便于清晰描述，并限定连接方式。需要说明的是，当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同，本文中在技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是在于限制本技术。图1以及图3所示，图1和图3是本技术的一实施方式所提供的封闭式精密对位平台100的不同侧的包括部分剖视结构的示意图。如图1和图3所示，本实施方式提供一种封闭式精密对位平台100，包括底座10、叠设于所述底座10上并通过X轴导轨20与所述底座10滑动连接的X轴移动平台30、驱动所述X轴移动平台30运动的第一驱动装置（未示出，所述第一驱动装置可以安装在底座10上，可以采用电机或者气缸等）、叠设于所述X轴移动平台30上并通过Y轴导轨40与所述X轴移动平台30滑动连接的Y轴移动平台50、驱动所述Y轴移动平台50运动的第二驱动装置（未示出，所述第二驱动装置可以安装在X轴移动平台30上，可以采用电机或者气缸等）、叠设于所述Y轴移动平台50上并通过旋转机构60与所述Y轴移动平台50转动连接的旋转平台70以及驱动所述旋转平台转动的第三驱动装置（未示出，所述第三驱动装置可以安装在Y轴移动平台30上，可以采用电机或者气缸等），如图1和图3所示，其中，底座10是相对静止的，例如可以固定在机台上，第一驱动装置可以固定在底座上，其输出轴连接X轴移动平台30，在第一驱动装置运动时，驱动X轴移动平台30通过X轴导轨20相对于底座沿着X轴方向运动；第二驱动装置可以固定在X轴移动平台20上，其输出轴连接Y轴移动平台50，在第二驱动装置运动时，驱动Y轴移动平台50通过Y轴导轨40相对于底座沿着Y轴方向运动；第三驱动装置可以固定在Y轴移动平台50上，其输出轴连接旋转平台70，在第三驱动装置运动时，驱动旋转平台70通过旋转机构60相对于Y轴移动平台50转动θ角；如图2和图4所示，X轴导轨20可以包括上导轨21和与上导轨21配合的下导轨22，X轴导轨20可为一对，Y轴导轨40可以包括上导轨41和与上导轨41配合的下导轨42，Y轴导轨20也可为一对。其中，如图2、图4、图5所示，在所述X轴导轨20的两侧均设有X轴封板01，在所述Y轴导轨40的两侧均设有Y轴封板02，在所述旋转机构60的外侧设有环形封板03，所述环形封板03将所述旋转机构6本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种封闭式精密对位平台，其特征在于，包括底座、叠设于所述底座上并通过X轴导轨与所述底座滑动连接的X轴移动平台、驱动所述X轴移动平台运动的第一驱动装置、叠设于所述X轴移动平台上并通过Y轴导轨与所述X轴移动平台滑动连接的Y轴移动平台、驱动所述Y轴移动平台运动的第二驱动装置、叠设于所述Y轴移动平台上并通过旋转机构与所述Y轴移动平台转动连接的旋转平台以及驱动所述旋转平台转动的第三驱动装置，在所述X轴导轨的两侧均设有X轴封板，在所述Y轴导轨的两侧均设有Y轴封板，在所述旋转机构的外侧设有环形封板，所述环形封板将所述旋转机构以及所述第三驱动装置封闭在Y轴移动平台以及所述旋转平台之间的空间中。

【技术特征摘要】
1.一种封闭式精密对位平台，其特征在于，包括底座、叠设于所述底座上并通过X轴导轨与所述底座滑动连接的X轴移动平台、驱动所述X轴移动平台运动的第一驱动装置、叠设于所述X轴移动平台上并通过Y轴导轨与所述X轴移动平台滑动连接的Y轴移动平台、驱动所述Y轴移动平台运动的第二驱动装置、叠设于所述Y轴移动平台上并通过旋转机构与所述Y轴移动平台转动连接的旋转平台以及驱动所述旋转平台转动的第三驱动装置，在所述X轴导轨的两侧均设有X轴封板，在所述Y轴导轨的两侧均设有Y轴封板，在所述旋转机构的外侧设有环形封板，所述环形封板将所述旋转机构以及所述第三驱动装置封闭在Y轴移动平台以及所述旋转平台之间的空间中。2.根据权利要求1所述的封闭式精密对位平台，其特征在于，所述X轴封板包括第一X轴侧板以及连接所述第一X轴侧板的第二X轴侧板，所述第一X轴侧板为竖直板并且其底端固定于所述底座的上表面，所述X轴移动平台设有第一滑动槽，所述第二X轴侧板收容于所述第一滑动槽内以便于所述第二X轴侧板能在所述第一滑动槽内滑动。3.根据权利要求2所述的封闭式精密对位平台，其特征在于，所述第一X轴侧板与所述第二X轴侧板之间的夹角为90度。4.根据权利要求1所述的封闭式精密对位平台...

【专利技术属性】
技术研发人员：何志坚，李广，李振华，罗波，
申请(专利权)人：深圳市迪诺华五金机械有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44