下载封闭式精密对位平台的技术资料

文档序号:18851178

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本实用新型提供封闭式精密对位平台,包括底座、叠设于所述底座上并通过X轴导轨与所述底座滑动连接的X轴移动平台、驱动所述X轴移动平台运动的第一驱动装置、叠设于所述X轴移动平台上并通过Y轴导轨与所述X轴移动平台滑动连接的Y轴移动平台、驱动所述Y轴...
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