激振装置和电动型致动器制造方法及图纸

本发明专利技术的一实施方式的激振装置具有：振动台；在X轴方向对振动台激振的X轴激振单元；和Y轴线性引导器，其将振动台和X轴激振单元以在垂直于X轴方向的Y轴方向上可滑动的方式连结，其中，Y轴线性引导器具有：在Y轴方向上延伸的X轴轨道；和Y轴载运器，其以在Y轴方向上可滑动的方式与Y轴轨道卡合，在Y轴载运器与Y轴轨道之间形成有分别供多个滚动体滚动的5条以上的多个负载路径。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】激振装置和电动型致动器
本专利技术涉及一种使用于振动实验等的激振装置和电动型致动器。
技术介绍
已知一种三轴同时激振装置(三轴同时振动实验装置)，在正交三轴方向(X轴、Y轴和Z轴方向)同时对固定有激振对象物(例如振动实验的测试体)的振动台激振。为了同时在正交三轴方向对振动台激振，例如，有需要将振动台与在Z轴方向对其激振的Z轴致动器经由二轴滑件(XY滑件)可在X轴和Y轴方向上滑动地连结。在专利文献1记载了一种激振装置，通过将滚动引导式的线性引导器(以下简称为“线性引导件”)使用于二轴滑件等，能够产生在达到数百Hz的频率区域的三轴同时激振。此外，在专利文献2记载了一种激振装置，通过在滚动体使用辊来提高线性引导件的刚性等，能够产生在超过1kHz的频率区域的三轴同时激振。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2009/011433号专利文献2：国际公开第2016/017744号
技术实现思路
虽然在车载装置等需要进行2kHz以上的高频率区域的三轴同时振动实验，但目前为止并没有实现能够进行2kHz以上的三轴同时振动实验的激振装置。根据本专利技术的专利技术人的分析，确认为了实现2kHz以上的三轴同时振动实验，需要进一步提升线性引导件的刚性和运动精度(直进性)，使振动噪声更为降低。本专利技术鉴于上述情况而提出，其目的在于通过提升线性引导件的刚性和运动精度，使振动噪声降低。本专利技术的一实施方式的激振装置具有：振动台；在X轴方向对振动台激振的X轴激振单元；和Y轴线性引导器，其将振动台和X轴激振单元以在垂直于X轴方向的Y轴方向上可滑动的方式连结，其中，Y轴线性引导器具有：在Y轴方向上延伸的X轴轨道；和Y轴载运器，其以在Y轴方向上可滑动的方式卡合于Y轴轨道，在Y轴载运器与Y轴轨道之间形成有分别供多个滚动体滚动的5条以上的多个负载路径。根据此结构，能够提升线性引导件的刚性和运动精度，使振动噪声减低。在上述激振装置中可以是，负载路径形成有8条。根据此结构，能够提升线性引导件的刚性和运动精度，例如能够使振动噪声减低，直至能够在2kHz以上的频率区域的多轴同时激振的程度为止。在上述激振装置中也可以是，在Y轴载运器形成有与多个负载路径分别对应的多个无负载路径，负载路径与无负载路径的各对在两端彼此连结，而形成供滚动体循环的循环路径。在上述激振装置中也可以是，所述Y轴线性引导器具有保持器，该保持器与所述滚动体一起沿着循环路径循环，防止该滚动体彼此接触。在上述激振装置中也可以是，Y轴载运器的长度L在70～160mm的范围内。在上述激振装置中也可以是，Y轴载运器的长度L在90～140mm的范围内。在上述激振装置中也可以是，Y轴载运器的长度L在110～130mm的范围内。在上述激振装置中也可以是，Y轴载运器的长度L与宽度W的比，即纵横比L/W在0.65～1.5的范围内。在上述激振装置中也可以是，Y轴载运器的长度L与宽度W的比，即纵横比L/W在0.7～1.4的范围内。在上述激振装置中也可以是，Y轴载运器的长度L与宽度W的比，即纵横比L/W在0.75～1.35的范围内。在上述激振装置中也可以，是滚动体为球体或辊。在上述激振装置中也可以是，具有：振动台；第一致动器，其在第一方向对振动台激振；第一滑动连结机构，其将振动台和第一致动器以在垂直于第一方向的第二方向上可滑动的方式连结；和配衡部，其安装于振动台，用于补偿由于将第一滑动连结机构安装于振动台所产生的被激振部的不平衡度。此外，本专利技术的另一实施方式的激振装置具有：振动台；在第一方向对振动台激振的第一致动器；第一滑动连结机构，其将振动台和第一致动器以在垂直于第一方向的第二方向上可滑动的方式连结；和配衡部，其安装于振动台，以补偿由于将第一滑动连结机构安装于振动台所产生的被激振部的不平衡度。专利文献2所记载的激振装置，虽然对于振动台的基准点(例如振动台的上表面中央)能够进行充分高精度的激振，但由于振动台上的位置的不同而在振动状态存在不均，因此在基准点以外的位置，激振精度变得不充分。根据此结构，能够减少振动台上的振动的不均。在上述激振装置中也可以是，配衡部具有重物部和缓冲部，重物部经由缓冲部固定于振动台。在上述激振装置中也可以是，重物部为平板状。在上述激振装置中也可以是，缓冲部为片状。在上述激振装置中也可以是，缓冲部包括弹性体。在上述激振装置中也可以是，缓冲部具有间隔物，该间隔物以使重物部与振动台隔开间隔地方式支承该重物部。在上述激振装置中也可以是，配衡部具有固定重物部的多个螺栓，多个螺栓的固定间隔为100mm以下。在上述激振装置中也可以是，固定间隔为50mm以下。在上述激振装置中也可以是，缓冲部具有：第一重物部；被振动台与第一重物部夹着的第一缓冲部；第二重物部；和被第一重物部与第二重物部夹着的第二缓冲部。在上述激振装置中也可以是，缓冲部具有：第三重物部；和被第二重物部与第三重物部夹着的第三缓冲部。在上述激振装置中也可以是，第一重物部用第一螺栓固定于振动台，第二重物部用第二螺栓固定于第一重物部，第三重物部用第三螺栓固定于第二重物部。此外，本专利技术的又一实施方式的激振装置，X轴、Y轴和Z轴方向为彼此垂直的三轴方向，该激振装置具有：振动台；在X轴方向对振动台激振的X轴致动器；在Y轴方向对振动台激振的Y轴致动器；在Z轴方向对振动台激振的Z轴致动器；YZ滑动连结机构，其将振动台和X轴致动器以在Y轴和Z轴方向上可滑动的方式连结；ZX滑动连结机构，其将振动台和Y轴致动器以在Z轴和X轴方向上可滑动的方式连结；XY滑动连结机构，其将振动台和Z轴致动器以在X轴和Y轴方向上可滑动的方式连结；X轴配衡部，其安装于振动台，以补偿由于将YZ滑动连结机构安装于振动台所产生的被激振部的不平衡度；Y轴配衡部，其安装于振动台，以补偿由于将ZX滑动连结机构安装于振动台所产生的被激振部的不平衡度；和Z轴配衡部，其安装于振动台，以补偿由于将XY滑动连结机构安装于振动台所产生的被激振部的不平衡度。根据此结构，能够抑制由于激振而施加于被激振物的力的力矩，能够进行更高精度的激振。在上述激振装置中也可以是，XY滑动连结机构具有：引导X轴方向的直线运动的X轴线性引导器；和引导Y轴方向的直线运动的Y轴线性引导器，其中，振动台与Z轴致动器经由X轴线性引导器和Y轴线性引导器连结。在上述激振装置中也可以是，X轴线性引导器具有：在X轴方向上延伸的X轴轨道；和X轴载运器，其以在X轴方向上可滑动的方式与X轴轨道卡合，Y轴线性引导器具有：在Y轴方向上延伸的Y轴轨道；Y轴载运器，其以在Y轴方向上可滑动的方式与Y轴轨道卡合。在上述激振装置中也可以是，在X轴载运器与X轴轨道之间，形成有分别供多个滚动体滚动的八条负载路径。在上述激振装置中也可以是，Y轴载运器固定于X轴载运器，由此X轴线性引导器和Y轴线性引导器被连结而形成十字引导件，十字引导件的X轴轨道和Y轴轨道的一者安装于振动台，另一者安装于X轴致动器。在上述激振装置中也可以是，XY滑动连结机构具有多个十字引导件，多个十字引导件包括：X轴轨道安装于振动台的第一方向十字引导件；和Y轴轨道安装于振动台的第二方向十字引导件。在上述激振装置中也可以是，XY滑动连结机构具有：多个第一方向十字引导件；和多个第二方向十字引导件，多个第一方向十字引导本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激振装置，其特征在于，具有：振动台；在X轴方向对所述振动台激振的X轴激振单元；和Y轴线性引导器，其将所述振动台和所述X轴激振单元以在垂直于所述X轴方向的Y轴方向上可滑动的方式连结，其中，所述Y轴线性引导器具有：在所述Y轴方向上延伸的X轴轨道；和Y轴载运器，其以在所述Y轴方向上可滑动的方式与所述Y轴轨道卡合，在所述Y轴载运器与所述Y轴轨道之间形成有分别供多个滚动体滚动的5条以上的多个负载路径。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.01.15 JP 2016-006691;2016.01.15 JP 2016-006691.一种激振装置，其特征在于，具有：振动台；在X轴方向对所述振动台激振的X轴激振单元；和Y轴线性引导器，其将所述振动台和所述X轴激振单元以在垂直于所述X轴方向的Y轴方向上可滑动的方式连结，其中，所述Y轴线性引导器具有：在所述Y轴方向上延伸的X轴轨道；和Y轴载运器，其以在所述Y轴方向上可滑动的方式与所述Y轴轨道卡合，在所述Y轴载运器与所述Y轴轨道之间形成有分别供多个滚动体滚动的5条以上的多个负载路径。2.如权利要求1所述的激振装置，其特征在于：所述负载路径形成有8条。3.如权利要求1或2所述的激振装置，其特征在于：在所述Y轴载运器形成有与所述多个负载路径分别对应的多个无负载路径，所述负载路径与所述无负载路径的各对在两端彼此连结，而形成供所述滚动体循环的循环路径。4.如权利要求3所述的激振装置，其特征在于：所述Y轴线性引导器具有保持器，该保持器与所述滚动体一起沿着所述循环路径循环，防止该滚动体彼此接触。5.如权利要求1～4中任一项所述的激振装置，其特征在于：所述Y轴载运器的长度L在70～160mm的范围内。6.如权利要求1～4中任一项所述的激振装置，其特征在于：所述Y轴载运器的长度L在90～140mm的范围内。7.如权利要求1～4中任一项所述的激振装置，其特征在于：所述Y轴载运器的长度L在110～130mm的范围内。8.如权利要求1～7中任一项所述的激振装置，其特征在于：所述Y轴载运器的长度L与宽度W的比，即纵横比L/W在0.65～1.5的范围内。9.如权利要求1～7中任一项所述的激振装置，其特征在于：所述Y轴载运器的长度L与宽度W的比，即纵横比L/W在0.7～1.4的范围内。10.如权利要求1～7中任一项所述的激振装置，其特征在于：所述Y轴载运器的长度L与宽度W的比，即纵横比L/W在0.75～1.35的范围内。11.如权利要求1～10中任一项所述的激振装置，其特征在于：所述滚动体为球体。12.如权利要求1～10中任一项所述的激振装置，其特征在于：所述滚动体为辊。13.一种激振装置，其特征在于，具有：振动台；在第一方向对所述振动台激振的第一致动器；第一滑动连结机构，其将所述振动台和所述第一致动器以在垂直于所述第一方向的第二方向上可滑动的方式连结；和配衡部，其安装于所述振动台，以补偿由于将所述第一滑动连结机构安装于所述振动台所产生的被激振部的不平衡度。14.如权利要求13所述的激振装置，其特征在于：所述配衡部具有重物部和缓冲部，所述重物部经由所述缓冲部固定于所述振动台。15.如权利要求14所述的激振装置，其特征在于：所述重物部为平板状。16.如权利要求14或15所述的激振装置，其特征在于：所述缓冲部为片状。17.如权利要求14～15中任一项所述的激振装置，其特征在于：所述缓冲部包含弹性体。18.如权利要求14～17中任一项所述的激振装置，其特征在于：所述缓冲部具有间隔物，该间隔物以使该重物部与振动台隔开间隔的方式支承所述重物部。19.如权利要求14～18中任一项所述的激振装置，其特征在于：所述配衡部具有固定所述重物部的多个螺栓，所述多个螺栓的固定间隔为100mm以下。20.如权利要求19所述的激振装置，其特征在于：所述固定间隔为50mm以下。21.如权利要求13～20中任一项所述的激振装置，其特征在于：所述缓冲部具有：第一重物部；被所述振动台与所述第一重物部夹着的第一缓冲部；第二重物部；和被所述第一重物部与所述第二重物部夹着的第二缓冲部。22.如权利要求21所述的激振装置，其特征在于：所述缓冲部具有：第三重物部；和被所述第二重物部与所述第三重物部夹着的第三缓冲部。23.如权利要求22所述的激振装置，其特征在于：所述第一重物部用第一螺栓固定于所述振动台，所述第二重物部用第二螺栓固定于所述第一重物部，所述第三重物部用第三螺栓固定于所述第二重物部。24.一种激振装置，其特征在于：X轴、Y轴和Z轴方向为彼此垂直的三个方向，该激振装置具有：振动台；在所述X轴方向对所述振动台激振的X轴致动器；在所述Y轴方向对所述振动台激振的Y轴致动器；在所述Z轴方向对所述振动台激振的Z轴致动器；YZ滑动连结机构，其将所述振动台和所述X轴致动器以在所述Y轴和所述Z轴方向上可滑动的方式连结；ZX滑动连结机构，其将所述振动台和所述Y轴致动器以在所述Z轴和所述X轴方向上可滑动的方式连结；XY滑动连结机构，其将所述振动台和所述Z轴致动器以在所述X轴和所述Y轴方向上可滑动的方式连结；X轴配衡部，其安装于所述振动台，以补偿由于将所述YZ滑动连结机构安装于所述振动台所产生的被激振部的不平衡度；Y轴配衡部，其安装于所述振动台，以补偿由于将所述ZX滑动连结机构安装于所述振动台所产生的被激振部的不平衡度；和Z轴配衡部，其安装于所述振动台，以补偿由于将所述XY滑动连结机构安装于所述振动台所产生的被激振部的不平衡度。25.如权利要求24所述的激振装置，其特征在于：所述XY滑动连结机构具有：引导X轴方向的直线运动的X轴线性引导器；和引导Y轴方向的直线运动的Y轴线性引导器，其中，所述振动台与所述Z轴致动器经由所述X轴线性引导器和所述Y轴线性引导器连结。26.如权利要求25所述的激振装置，其特征在于：所述X轴线性引导器具有：在所述X轴方向上延伸的X轴轨道；和X轴载运器，其以在所述X轴方向上可滑动的方式与所述X轴轨道卡合，所述Y轴线性引导器具有：在所述Y轴方向上延伸的Y轴轨道；和Y轴载运器，其以在所述Y轴方向上可滑动的方式与所述Y轴轨道卡合。27.如权利要求26所述的激振装置，其特征在于：在所述X轴载运器与所述X轴轨道之间，形成有分别供多个滚动体滚动的8条负载路径。28.如权利要求26或27所述的激振装置，其特征在于：所述Y轴载运器固定于所述X轴载运器，由此所述X轴线性引导器和所述Y轴线性引导器被连结而形成十字引导件，所述十字引导件的X轴轨道和Y轴轨道的一者安装于所述振动台，另一者安装于所述X轴致动器。29.如权利要求28所述的激振装置，其特征在于：所述XY滑动连结机构具有多个所述十字引导件，所述多个十字引导件包括：所述X轴轨道安装于所述振动台的第一方向十字引导件；和所述Y轴轨道安装于所述振动台的第二方向十字引导件。30.如权利要求29所述的激振装置，其特征在于：所述XY滑动连结机构具有：多个所述第一方向十字引导件；和多个所述第二方向十字引导件，所述多个第一方向十字引导件和所述多个第二方向十字引导件在所述X轴方向和所述Y轴方向这两个方向上交替配置。31.如权利要求30所述的激振装置，其特征在于：所述XY滑动连结机构具有相同数量的所述第一方向十字引导件和所述第二方向十字引导件。32.如权利要求31所述的激振装置，其特征在于：所述多个十字引导件在所述X轴方向和所述Y轴方向上配置成格子状。33.一种激振装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本繁，宫下博至，村内一宏，
申请(专利权)人：国际计测器株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP