视觉检测模块及包含此模块的元件检测系统技术方案

本发明专利技术涉及一种元件检测系统，尤其涉及一种执行关于半导体元件视觉检测的视觉检测模块及包含此模块的元件检测系统。本发明专利技术公开了一种执行平面形状为多角形半导体元件(1)的视觉检测的视觉检测模块(50)，其特征在于，包括：单一图像获得部(100)，获得所述半导体元件(1)第一平面的第一平面图像及所述半导体元件(1)的多角形边侧面的侧面图像；第一光路(L1)，使所述半导体元件(1)第一平面的第一平面图像到达所述单一图像获得部(100)；以及光学系统，使所述半导体元件(1)的多角形边侧面的侧面图像各自到达所述单一图像获得部(100)，并且形成多个第二光路(L2)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】视觉检测模块及包含此模块的元件检测系统
本专利技术涉及一种元件检测系统，更详细地说，涉及一种执行关于半导体元件视觉检测的视觉检测模块及包含此模块的元件检测系统。
技术介绍
当完成打包工序的半导体设备元件完成老化测试等检测后，装载到客户托架中并且出厂。并且，在出厂的半导体设备元件的表面，根据激光等，经过序列号、制造商标志等标识的标志工序。并且，半导体设备元件会经过最终是否有导线(lead)或者滚珠丝(ballgrid)的破损，破裂(crack)、是否有刮痕(scratch)等类似的半导体设备元件的外观状态及表面上形成的标志是否良好而进行检测的工序。另外，额外增加检测如上所述的半导体设备元件的外观状态及标志是否良好的同时，根据其检测时间及各模块的配置，会影响用于全部工序执行的时间及装置的大小。特别是，装载多个元件的托架装载，用于各元件的视觉检测的多个的模块，根据检测后检测结果的卸载模块构成及配置，装置的大小会随之改变。并且，装置的大小可以限制安装在元件检测线内的元件检测系统的数量，或者根据预先规定数量的元件检测系统的安装，影响用于生成元件的安装费用。
技术实现思路
(要解决的问题)使本专利技术的目的有别于如上所述的点，其目的在于，一次性获得半导体元件的表面及关于在其表面邻接的多个侧面的图像，并且可以执行视觉检测的视觉检测模块及包含此模块的元件检测系统。(解决问题的手段)本专利技术是用于达到如上所述的专利技术目的而进行的创作，本专利技术提供一种执行平面形状为多角形半导体元件1的视觉检测的视觉检测模块50，其特征在于，包括：单一图像获得部100，获得所述半导体元件1的第一平面的第一平面图像及所述半导体元件1的多角形边侧面的侧面图像；及第一光路L1，使所述半导体元件1第一平面的第一平面图像到达所述单一图像获得部100；及光学系统，使所述半导体元件1的多角形边侧面的侧面图像分别各自到达所述单一图像获得部100，并且形成多个第二光路L2。还可额外包括焦点距离补正部400，安装在所述光学系统上，并且补正所述第一光路L1及所述第二光路L2的焦点距离差异。所述焦点距离补正部400可以包括媒介部410，所述媒介部410安装在所述第一光路L1和第二光路L2上，并且包括具有光可以透过的透明材质媒介。所述焦点距离补正部400可以包括框架部420，所述框架部420可拆卸地结合于构造物520，并且媒介部410可以拆卸地结合于框架部420。所述框架部420相对于所述构造物520是依靠磁力进行可拆卸地结合。所述光学系统，包括：主反射部件211，使所述第一平面的第一平面图像朝向所述单一图像获得部100并且反射；及辅助反射部件311，与所述半导体元件1的多角形边的各侧面对应安装，并且使所述半导体元件1多角形边的各侧面的侧面图像朝向所述主反射部件211并且反射。所述主反射部件211具有光可以透过的半透过材质，照明系统540，从所述第一平面图像反射的反射面里面，向所述第一平面及向所述半导体元件1的多角形边的各侧面将光照射。所述焦点距离补正部400安装在所述第二光路L2中的所述半导体元件1多角形边的各侧面和所述主反射部件211之间以及所述第二光路L2中的所述主反射部件211和所述单一图像获得部100之间中的至少任意一处。所述焦点距离补正部400安装在所述第二光路L2中的所述半导体元件1的多角形边的各侧面和所述主反射部件211之间，所述焦点距离补正部400与所述辅助反射部件311形成一体。本专利技术公开了一种元件检测系统，其特征在于，包括：装载部10，装载有盛有多个半导体元件1的托架2，并能所述托架2其线形移动；及视觉检测模块50，与所述装载部10内的托架2的移动方向垂直，并且安装在所述装载部10的一侧从而执行半导体元件1的视觉检测；及第一导轨68，与所述装载部10中的托架2的移动方向形成垂直而配置；及第一移送工具61，沿着所述第一导轨68移动并且与所述第一导轨68结合，用于执行视觉检测，从而从装载部10向所述视觉检测模块50将元件拾起移送；及卸载部31、卸载部32和卸载部33，在所述装载部10中，将完成视觉检测且装有半导体元件1的托架2接收，根据视觉检测结果将半导体元件1分类到相关托架2，所述视觉检测模块50是具有如上所述结构的视觉检测模块。(专利技术的效果)根据本专利技术的视觉检测模块及包含此模块的元件检测系统，可一次性获得半导体元件表面及与其表面邻接的多个侧面的图像，通过视觉检测，具有多样迅速执行视觉检测的优点。特别是，一次性获得半导体元件的表面及在其表面邻接的多个侧面的图像，并且使用透明玻璃等媒介，根据互相不同光路的焦点距离的差异进行补正，使其可以根据一个单一数码相机获得图像，具有使用于执行视觉检测的模块结构简单化并减少制造费用的优点。附图说明图1是根据本专利技术元件检测系统的一实施例呈现的平面图。图2a是将图1元件检测系统的一实施例结构，向侧面方向呈现的概念图。图2b是将图2a视觉检测模块中半导体元件及辅助反射部件的配置呈现的底面图。图3是将图2视觉检测模块中焦点距离补正部的一实施例呈现的平面图。图4是图3焦点距离调整部的侧面图。图5是将图1元件检测系统视觉检测模块的其他实施例结构，向侧面方向呈现的概念图。图6是在图2或者图5的视觉检测模块中，用于获得图像从而呈现运转距离概念的概念图。图7是将根据图2或者图5视觉检测模块获得的图像概略呈现的概念图。具体实施方式以下，参照根据本专利技术视觉检测模块及包含此模块的元件检测系统的附图说明如下。根据本专利技术一实施例的元件检测系统，如图1所示，包括：装载部10，装载有盛有多个半导体元件1的托架2，并且使所述托架2线形移动；及视觉检测模块50，与所述装载部10内托架2的移动方向垂直，并且安装在所述装载部10的一侧从而执行半导体元件1的视觉检测；及第一导轨68，与所述装载部10中托架2的移动方向垂直配置；及第一移送工具61，沿着所述第一导轨68移动并且与所述第一导轨68结合，用于执行视觉检测，从而从装载部10向所述视觉检测模块50将元件拾起移送；及在所述装载部10中，包括：卸载部31、卸载部32和卸载部33，将完成视觉检测且盛有半导体元件1的托架2接收，根据视觉检测结果将半导体元件1分类到所属托架2。此处的半导体元件1如果是完成半导体工序的内存、SD随机存储器、快速随机存储器、CPU、GPU等半导体元件，都可以成为其对象。所述托架2是以多个半导体元件1组成8×10等行列装载并移送的结构，一般是使内存元件等规格化的。所述装载部10作为一种将检测对象半导体元件1盛起来而执行视觉检测装载的结构，可具有多种结构形态。例如，所述装载部10以一种稳定在托架2处形成的固定槽的状态，将盛有多个半导体元件1的托架2移送。所述装载部10可实现多种结构，如图1及韩国公开专利公报第10-2008-0092671号所示，可包括：引导装载多个半导体元件1托架2移动的引导部(未图示)，及用于使托架2随着引导部移动的驱动部(未图示)从而构成。所述视觉检测模块50与装载部10内的托架2移动方向形成垂直，安装在装载部10一侧，并且以一种执行半导体元件1视觉检测的结构，可实现多种结构。此处，所述视觉检测模块50根据系统的构造实现多种构造是理所当然的。特别是，所述视觉检测模本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种视觉检测模块(50)，用于执行平面形状为多角形半导体元件(1)的视觉检测，其特征在于，包括：单一图像获得部(100)，获得所述半导体元件(1)的第一平面的第一平面图像及所述半导体元件(1)的多角形边侧面的侧面图像；第一光路(L1)，使所述半导体元件(1)的第一平面的第一平面图像到达所述单一图像获得部(100)；以及光学系统，使所述半导体元件(1)的多角形边侧面的侧面图像各自到达所述单一图像获得部(100)，并且形成多个第二光路(L2)。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.26 KR 10-2015-01203121.一种视觉检测模块(50)，用于执行平面形状为多角形半导体元件(1)的视觉检测，其特征在于，包括：单一图像获得部(100)，获得所述半导体元件(1)的第一平面的第一平面图像及所述半导体元件(1)的多角形边侧面的侧面图像；第一光路(L1)，使所述半导体元件(1)的第一平面的第一平面图像到达所述单一图像获得部(100)；以及光学系统，使所述半导体元件(1)的多角形边侧面的侧面图像各自到达所述单一图像获得部(100)，并且形成多个第二光路(L2)。2.根据权利要求1所述的视觉检测模块(50)，其特征在于，还包括：焦点距离补正部(400)，安装在所述光学系统上，用于补正所述第一光路(L1)和所述第二光路(L2)的焦点距离差异。3.根据权利要求2所述的视觉检测模块(50)，其特征在于，所述焦点距离补正部(400)安装在所述第一光路(L1)和所述第二光路(L2)上，包括具有光可以透过的透明材质的媒介部(410)。4.根据权利要求2所述的视觉检测模块(50)，其特征在于，所述焦点距离补正部(400)包括框架部(420)，所述框架部(420)与构造物(520)可拆卸地结合，并且所述媒介部(410)可拆卸地设置于框架部(420)。5.根据权利要求4所述的视觉检测模块(50)，其特征在于，所述框架部(420)依靠磁力而可拆卸地结合于所述构造物(520)。6.根据权利要求1至权利要求5中任意一项所述的视觉检测模块(50)，其特征在于，所述光学系统包括：主反射部件(211)，使所述第一平面的第一平面图像朝向所述单一图像获得部(100)反射；及辅助反射部件(311)，与所述半导体元件(1)的多角形边的各侧面对应安装，并且使所述半导体元件(1)的多角形边的各侧面的侧面图像朝向所述主反射部件(211)反射。7.根据权利要求6所述的视觉检测模块(50)，其特征在于，所述主反射部件(211)具有光可以透过的半透过材质；所述的视觉检测模块(50)还包括：照明系统(540)，从反射所述第一平面图像的反射面里面，向所述第一平面及向所述半导体元件(1)的多角形边的各侧面照射光线。8.根据权利要求7所述的视觉检测模块(50)，其特征在于，所述焦点距离补正部(400)至少安装在以下位置中的任意一处：所述第二光路(L2)中的所述半导体元件(1)的多角形边的各侧面和所述主反射部件(211)之间；所述第二光路(L2)中的所述主反射部件(211)和...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳弘俊，李明国，裵秀珉，
申请(专利权)人：宰体有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR