一种基于固体反射层的声表面波谐振器及其制造方法技术

本发明专利技术提供了一种基于固体反射层的声表面波谐振器，所述声表面波谐振器包括基片、位于该基片上方的压电材料基板以及形成于该压电材料基板上的叉指结构；在所述基片和所述压电材料基板之间设有至少一组反射层组，各组反射层组均包括第一布拉格反射层及位于该第一布拉格反射层上的第二布拉格反射层。本发明专利技术还提供了一种声表面波谐振器的制造方法，通过上述方法形成的声表面波谐振器能使漏波能通过固体反射层的布拉格反射回来，从而提高谐振器的Q值。

【技术实现步骤摘要】
一种基于固体反射层的声表面波谐振器及其制造方法
本专利技术涉及一种新型声表面波谐振器，特别是涉及一种采用声表面波与固体反射层组合的谐振器及其制造方法。
技术介绍
随着无线通讯应用的发展，人们对于数据传输速度的要求越来越高。在移动通信领域，第一代是模拟技术，第二代实现了数字化语音通信，第三代(3G)以多媒体通信为特征，第四代(4G)将通信速率提高到1Gbps、时延减小到10ms，第五代(5G)是4G之后的新一代移动通信技术，虽然5G的技术规范与标准还没有完全明确，但与3G、4G相比，其网络传输速率和网络容量将大幅提升。如果说从1G到4G主要解决的是人与人之间的沟通，5G将解决人与人之外的人与物、物与物之间的沟通，即万物互联，实现“信息随心至，万物触手及”的愿景。与数据率上升相对应的是频谱资源的高利用率以及通讯协议的复杂化。由于频谱有限，为了满足数据率的需求，必须充分利用频谱；同时为了满足数据率的需求，从4G开始还使用了载波聚合技术，使得一台设备可以同时利用不同的载波频谱传输数据。另一方面，为了在有限的带宽内支持足够的数据传输率，通信协议变得越来越复杂，因此对射频系统的各种性能也提出了严本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于固体反射层的声表面波谐振器，其特征在于，所述声表面波谐振器包括基片、位于该基片上方的压电材料基板以及形成于该压电材料基板上的叉指结构；在所述基片和所述压电材料基板之间设有至少一组反射层组，各组反射层组均包括第一布拉格反射层及位于该第一布拉格反射层上的第二布拉格反射层。

【技术特征摘要】
1.一种基于固体反射层的声表面波谐振器，其特征在于，所述声表面波谐振器包括基片、位于该基片上方的压电材料基板以及形成于该压电材料基板上的叉指结构；在所述基片和所述压电材料基板之间设有至少一组反射层组，各组反射层组均包括第一布拉格反射层及位于该第一布拉格反射层上的第二布拉格反射层。2.根据权利要求1所述的基于固体反射层的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一布拉格反射层的厚度与第二布拉格反射层的厚度相同或者不同。3.根据权利要求2所述的基于固体反射层的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一布拉格反射层的厚度在10μm-1000μm；和/或所述第二布拉格反射层的厚度在10μm-1000μm。4.根据权利要求2所述的基于固体反射层的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一布拉格反射层的材料为二氧化硅、氮化硅、氮氧化硅或碳化硅。5.根据权利要求2所述的基于固体反射层的声表面波谐振器，其特征在于，所述第二布拉格反射层的材料为钨、氮化铝、氧化铪、氧化钛或氧化铊。6.根据权利要求1所述的基于固体反射层的声表...

【专利技术属性】
技术研发人员：王国浩，
申请(专利权)人：杭州左蓝微电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33