掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统，该掩膜装置包括框架、条状对位板和条状支撑板，在条状对位板中设置有镂空部，且条状对位板固定在框架上；条状支撑板与条状对位板相互交叉，并且在条状支撑板的与框架相对的表面上设置有多个焊点。本发明专利技术提供的掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统的技术方案，可以避免条状对位板材料的浪费及给后续的对位工作带来困难。

【技术实现步骤摘要】
掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统
本专利技术涉及掩膜板制造领域，具体地，涉及一种掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统。
技术介绍
目前，制备高质量OLED屏的一种核心技术是采用高精密OLED掩膜板在玻璃基板上蒸镀R、G、B三原色的有机材料。蒸镀工艺使用的掩膜板的质量直接影响到OLED屏的质量，因此，掩膜板的结构和制作方法都很重要。现有的掩膜板包括框架、条状对位板和条状支撑板，其中，条状支撑板焊接在框架上，用于支撑条状掩膜板；条状对位板焊接在框架上，且与条状支撑板相互交叉，用于与玻璃基板进行对位。现有的掩膜板在实际应用中不可避免地存在以下问题，即：在条状对位板与条状支撑板的交叉处，条状对位板会遮挡条状支撑板的部分焊点，当需要对焊点进行修复时，需要先撕除条状对位板，导致条状对位板材料的浪费。另外，重新焊接条状对位板会导致条状对位板的对位基准改变，从而给后续的对位工作带来困难。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统，其可以避免条状对位板材料的浪费及给后续的对位工作带来困难。为实现本专利技术的目的而提供一种掩膜装置，包括框架、条状对位板和条状支撑板，在所述条状对位板中设置有镂空部，且所述条状对位板固定在所述框架上；所述条状支撑板与所述条状对位板相互交叉，并且在所述条状支撑板的与所述框架相对的表面上设置有多个焊点，所述条状支撑板对应所述镂空部的区域内设置有多个所述焊点。可选的，多个所述焊点通过所述镂空部与所述框架焊接固定。可选的，所述条状支撑板的端部自所述条状对位板背离所述框架的一侧经由所述镂空部延伸至所述条状对位板的所述框架所在一侧；所述焊点均设置在所述端部。可选的，所述条状支撑板的端部自所述条状对位板的所述框架所在一侧经由所述镂空部延伸至所述条状对位板的背离所述框架的一侧；所述焊点均设置在所述端部。可选的，所述条状支撑板叠置在所述条状对位板背离所述框架的一侧。可选的，所述条状支撑板叠置在所述条状对位板朝向所述框架的一侧。可选的，所述镂空部包括沿所述条状对位板的厚度方向设置的通孔。可选的，所述镂空部包括设置于所述条状对位板上的凹槽，所述凹槽的开口朝向垂直于所述条状对位板的延伸方向，且朝向所述条状支撑板的所述端部。可选的，所述条状支撑板为一个或者多个，且多个所述条状支撑板相互平行，并间隔排布。可选的，多个所述焊点在垂直于所述条状支撑板的长度方向上排成至少一排，同一排中的多个所述焊点沿平行于所述条状支撑板的长度方向间隔排布。可选的，在所述条状对位板中设置有定位孔。可选的，所述条状对位板的数量为两个，且相互平行；所述掩膜装置还包括多个条状遮挡板，多个所述条状遮挡板均位于两个所述条状对位板之间，且与所述条状对位板相互平行，并且多个所述条状遮挡板间隔排布。可选的，所述掩膜装置还包括多个条状掩膜板，且在每相邻的两个条状遮挡板之间设置一个所述条状掩膜板；并且，在每个所述条状掩膜板上设置有开口。作为另一个技术方案，本专利技术还提供一种蒸镀系统，用于薄膜的蒸镀，包括本专利技术提供的上述掩膜装置。作为另一个技术方案，本专利技术还提供一种掩膜装置的制作方法，包括：提供框架；提供条状对位板，且在所述条状对位板中形成镂空部；提供条状支撑板，且使所述条状支撑板与所述条状对位板相互交叉，并且在所述条状支撑板的与所述框架相对的表面上形成有多个焊点，所述条状支撑板对应所述镂空部的区域内形成有多个所述焊点。本专利技术具有以下有益效果：本专利技术提供的掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统的技术方案中，在条状对位板中设置有镂空部。借助该镂空部，可以使条状支撑板上的所有焊点均暴露出来，而不会被条状对位板遮挡。当需要对焊点进行修复时，无需撕除条状对位板，从而可以避免条状对位板材料的浪费，同时可以避免条状对位板的对位基准发生改变，从而避免给后续的对位工作带来困难。附图说明图1为现有的掩膜装置的结构图；图2为本专利技术第一实施例提供的掩膜装置的结构图；图3A为本专利技术第二实施例提供的掩膜装置的一种结构图；图3B为本专利技术第二实施例提供的掩膜装置的另一种结构图；图4为本专利技术第三实施例提供的掩膜装置的结构图；图5A为本专利技术第四实施例提供的掩膜装置的一种结构图；图5B为本专利技术第四实施例提供的掩膜装置的另一种结构图；图6为本专利技术第五实施例提供的掩膜装置的结构图。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图来对本专利技术提供的掩膜装置及其制作方法进行详细描述。请参阅图1，现有的掩膜装置包括框架11、条状对位板13和条状支撑板12，其中，条状支撑板12先被焊接在框架11上。条状对位板13后被焊接在框架11上。并且，条状对位板13与条状支撑板12相互交叉，并通过多个焊点121焊接在框架11上。条状支撑板12用于支撑含有有效蒸镀开口的条状掩膜板(图中未示出)。并且，在条状对位板13上设置有定位孔131，用于与玻璃基板(图中未示出)上的定位标记进行对位。需要说明的是，图1中示出的条状对位板13上的焊点132以及条状支撑板12上的焊点121均与框架11相接触。但是，在条状对位板13与条状支撑板12的交叉处，条状对位板13会遮挡条状支撑板12的部分焊点121。在经过一段时间之后，焊点121可能会损坏，此时需要对焊点121进行修复。在修复焊点121时，需要先撕除条状对位板13，导致条状对位板材料的浪费。另外，重新焊接条状对位板13会导致条状对位板13的对位基准改变，从而给后续的对位工作带来困难。为了解决上述问题，如图2所示，本专利技术第一实施例提供了一种掩膜装置，其包括框架21、条状对位板23和条状支撑板22，其中，条状对位板23中设置有镂空部232，且该条状对位板23固定在框架21上。条状支撑板22与条状对位板23相互交叉，并且在条状支撑板23的与框架21相对的表面上设置有多个焊点221。借助上述镂空部232，可以使条状支撑板22的所有焊点221均暴露出来，而不会被条状对位板23遮挡，当需要对焊点221进行修复时，无需撕除条状对位板23，从而可以避免条状对位板材料的浪费，同时可以避免条状对位板23的对位基准发生改变，从而避免给后续的对位工作带来困难。可选的，其中至少部分焊点221通过镂空部232与框架21焊接固定。具体地，在本实施例中，条状支撑板22的端部22a自条状对位板23背离框架21的一侧经由镂空部232延伸至条状对位板23的框架21所在一侧，所有焊点221均设置在该端部22a。该条状支撑板22的端部22a为自条状支撑板22的中间区域延伸至两端的部分，换句话说，条状支撑板22包括中间区域和位于该中间区域两侧的两个边缘区域，其中，中间区域位于条状对位板23背离框架21的一侧；而两个边缘区域位于条状对位板23的框架所在一侧。并且，所有焊点221均设置在边缘区域中。在本实施例中，条状对位板23为两个，两个条状对位板23相互平行。在这种情况下，条状支撑板22的两个端部22a分别自两个条状对位板23背离框架21的一侧经由镂空部232延伸至两个条状对位板23的框架21所在一侧。该条状支撑板22的两个端部22a为自条状支撑板22的中间区域延伸至两端的部分，换句话说，条状支撑板22包括中间区域和位于该中间区域两侧的两个边缘区域，其中，中间区域本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜装置，包括框架、条状对位板和条状支撑板，其特征在于，在所述条状对位板中设置有镂空部，且所述条状对位板固定在所述框架上；所述条状支撑板与所述条状对位板相互交叉，并且在所述条状支撑板的与所述框架相对的表面上设置有多个焊点，所述条状支撑板对应所述镂空部的区域内设置有多个所述焊点。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜装置，包括框架、条状对位板和条状支撑板，其特征在于，在所述条状对位板中设置有镂空部，且所述条状对位板固定在所述框架上；所述条状支撑板与所述条状对位板相互交叉，并且在所述条状支撑板的与所述框架相对的表面上设置有多个焊点，所述条状支撑板对应所述镂空部的区域内设置有多个所述焊点。2.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，多个所述焊点通过所述镂空部与所述框架焊接固定。3.根据权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于，所述条状支撑板的端部自所述条状对位板背离所述框架的一侧经由所述镂空部延伸至所述条状对位板的所述框架所在一侧；所述焊点均设置在所述端部。4.根据权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于，所述条状支撑板的端部自所述条状对位板的所述框架所在一侧经由所述镂空部延伸至所述条状对位板的背离所述框架的一侧；所述焊点均设置在所述端部。5.根据权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于，所述条状支撑板叠置在所述条状对位板背离所述框架的一侧。6.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述条状支撑板叠置在所述条状对位板朝向所述框架的一侧。7.根据权利要求1-6任意一项所述的掩膜装置，其特征在于，所述镂空部包括沿所述条状对位板的厚度方向设置的通孔。8.根据权利要求5或6所述的掩膜装置，其特征在于，所述镂空部包括设置于所述条状对位板上的凹槽，所述凹槽的开口朝向垂直于所述条状对位板的延伸方向，且朝向所述条状支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕守华，黄俊杰，张德，赵蓉，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京,11