【技术实现步骤摘要】
高速合成石英玻璃生产用多点下料燃烧器
本技术涉及一种高速合成石英玻璃生产用多点下料石英燃烧器,属石英玻璃生产
技术介绍
在CVD合成三类石英玻璃工艺中,燃烧器是工艺流程中的一个关键部件,完成氢氧的混合和燃烧,将四氯化硅引入反应器内并通过氧化或者水解反应生产纳米状态的二氧化硅颗粒,在合适的温度下沉积到基体上并熔融形成石英玻璃。目前采用的燃烧器为氧气载料,即用高纯氧气通过鼓泡罐将气态四氯化硅引入燃烧器内,这种燃烧一般是单点下料,这种燃烧器的化料能力有限,四氯化硅基本上依靠火焰内部的水解反应生成二氧化硅颗粒;因此当四氯化硅流量加大时,料带内部出现空心现象,导致四氯化硅不能全部反应,从而影响沉积速率和得料率。目前,熔制石英玻璃锁使用的氢氧燃烧器,基本上为单点下料燃烧器,即在燃烧火焰上只有一根料管。当四氯化硅流量加大时,料带内部出现空心现象,导致四氯化硅不能全部反应,从而影响沉积速率和得料率。目前的沉积速度最大能达到600g/h左右,想继续提高生长速度非常困难。
技术实现思路
本技术的目的在于:提供一种各舱室可单独调节,具有氢、氧气混合均匀,同时以多点下料方式提高沉积速率和得料率,以解决现有氢氧燃烧器生产速度低,效率低等问题的高速合成石英玻璃生产用多点下料石英燃烧器。本技术是通过以下技术方案来实现上述目的的:一种高速合成石英玻璃生产用多点下料石英燃烧器,它由料仓、料保仓、氧气内仓室、氢气内仓室、氧气中仓室、氢气中仓室、氧气外仓室、氢气外仓室构成,其特征在于:料仓、料保仓、氧气内仓室、氢气内仓室、氧气中仓室、氢气中仓室、氧气外仓室和氢气外仓室由上至下呈层叠状设置 ...
【技术保护点】
1.一种高速合成石英玻璃生产用多点下料燃烧器,它由料仓(1)、料保仓(2)、氧气内仓室(3)、氢气内仓室(4)、氧气中仓室(5)、氢气中仓室(6)、氧气外仓室(7)、氢气外仓室(8)构成,其特征在于:料仓(1)、料保仓(2)、氧气内仓室(3)、氢气内仓室(4)、氧气中仓室(5)、氢气中仓室(6)、氧气外仓室(7)和氢气外仓室(8)由上至下呈层叠状设置,氢气外仓室(8)的下方密封设置有筛板(9),筛板(9)上均布有多个下料孔(10),下料孔(10)外围的筛板(9)上均布有多个料保孔,料保孔外围的筛板(9)上设置有多个氧气孔和氢气孔,料仓(1)的顶部设置有进料管(11),料仓(1)的底部设置有多个下料管(12),料保仓(2)上设置有料保进气管(13),料保仓(2)底部设置有料保仓连通管(14),下料管(12)和料保仓连通管(14)的一端分别延伸至与其对应的下料孔(10)和料保孔内;氧气内仓室(3)上设置有内氧进气管(15),氧气中仓室(5)上设置有中氧进气管(16),氧气外仓室(7)上设置有外氧进气管(17),氧气内仓室(3)、氧气中仓室(5)和氧气外仓室(7)的底部分别设置有氧气连通管( ...
【技术特征摘要】
1.一种高速合成石英玻璃生产用多点下料燃烧器,它由料仓(1)、料保仓(2)、氧气内仓室(3)、氢气内仓室(4)、氧气中仓室(5)、氢气中仓室(6)、氧气外仓室(7)、氢气外仓室(8)构成,其特征在于:料仓(1)、料保仓(2)、氧气内仓室(3)、氢气内仓室(4)、氧气中仓室(5)、氢气中仓室(6)、氧气外仓室(7)和氢气外仓室(8)由上至下呈层叠状设置,氢气外仓室(8)的下方密封设置有筛板(9),筛板(9)上均布有多个下料孔(10),下料孔(10)外围的筛板(9)上均布有多个料保孔,料保孔外围的筛板(9)上设置有多个氧气孔和氢气孔,料仓(1)的顶部设置有进料管(11),料仓(1)的底部设置有多个下料管(12),料保仓(2)上设置有料保进气管(13),料保仓(2)底部设置有料保仓连通管(14),下料管(12)和料保仓连通管(14)的一端分别延伸至与其对应的下料孔(10)和料保孔内;氧气内仓室(3)上设置有内氧进气管(15),氧气中仓室(5)上设置有中氧进气管(16),氧气外仓室(7)上设置有外氧进气管(17),氧气内仓室(3)、氧气中仓室(5)和氧气...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄若杰,王巍,刘志龙,欧阳葆华,周轶,张寒,李得军,
申请(专利权)人:湖北菲利华石英玻璃股份有限公司,
类型:新型
国别省市:湖北,42
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