The operation method of wire saw and wire saw is provided. The angle of wire rod relative to the reel can be maintained properly and the high precision machining can be carried out without hindrance. The linear saw has: a plurality of processing rollers, which are wound with wires for cutting the workpiece; two displacement mechanisms, which guide the coiling and discharging of the wires relative to the reel drum; and a detection unit, which is composed of a parameter related to the angle of the wire extending from the reel drum relative to the axis for processing. The workpiece is cut off by wire rod that travels between rolls. The wire saw has a setting section which sets a reference value indicating an appropriate angle of the wire based on the parameters related to the angle of the wire extending from the coiling drum before the cutting operation of the workpiece; and a control section which detects the angle of the wire during the processing operation. The position of the displacement mechanism is adjusted based on the reference value in the case that the parameters are deviated from the reference value.
【技术实现步骤摘要】
线状锯及线状锯的运转方法
本专利技术涉及用于利用线材对由半导体材料、磁性材料、陶瓷等脆性材料构成的工件进行切断加工的线状锯及线状锯的运转方法。
技术介绍
线状锯一般具备:两个卷线筒,其交替地进行工件加工用的线材的卷取及放出;以及多个加工用辊,其缠绕有在两个卷线筒之间延伸的线材。在各卷线筒配置有位移装置,该位移装置通过沿着该卷线筒的轴线往复移动,从而引导线材相对于卷线筒的卷取及放出。并且,当工件按压于以规定的周期往复行走的线材时,利用供给到线材的浆液内的游离磨粒或者固定于线材的固定磨粒对工件实施切断加工。在这样的结构中,在线材没有向与卷线筒的轴线呈直角的方向放出的情况下,换言之,在利用位移机构引导线材的引导位置不适当的情况下,线材的张力变动较大。根据情况,有可能线材断裂或者对工件的加工带来不良影响。日本特开平9-29611号公报及日本特开2013-22653号公开了用于解决这样的问题的技术。日本特开平9-29611号公报公开一种沿着卷线筒的轴线移动的位移机构引导从卷线筒放出的线材的装置。在该装置中,为了适当地控制引导线材的速度,利用由负载传感器构成的检测部连续地检测 ...
【技术保护点】
1.一种线状锯,具备:多个加工用辊,其缠绕有用于对工件进行切断加工的线材;两个位移机构,其通过与两个卷线筒的轴线分别平行地往复移动,从而引导所述线材相对于所述卷线筒的卷取及放出;以及检测部,其构成为对与从所述卷线筒延伸的所述线材相对于所述轴线的角度相关的参数进行检测,所述线状锯构成为:伴随所述加工用辊及所述卷线筒的往复旋转而在所述加工用辊之间往复行走的所述线材对所述工件进行切断加工,所述线状锯的特征在于,具备:设定部,其在对所述工件进行切断加工的加工运转开始前,基于与从正在进行卷取的所述卷线筒延伸的所述线材的角度相关的所述参数,设定表示所述线材的适当角度的基准值;以及控制部 ...
【技术特征摘要】
2017.02.15 JP 2017-0260741.一种线状锯,具备:多个加工用辊,其缠绕有用于对工件进行切断加工的线材;两个位移机构,其通过与两个卷线筒的轴线分别平行地往复移动,从而引导所述线材相对于所述卷线筒的卷取及放出;以及检测部,其构成为对与从所述卷线筒延伸的所述线材相对于所述轴线的角度相关的参数进行检测,所述线状锯构成为:伴随所述加工用辊及所述卷线筒的往复旋转而在所述加工用辊之间往复行走的所述线材对所述工件进行切断加工,所述线状锯的特征在于,具备:设定部,其在对所述工件进行切断加工的加工运转开始前,基于与从正在进行卷取的所述卷线筒延伸的所述线材的角度相关的所述参数,设定表示所述线材的适当角度的基准值;以及控制部,其在所述加工运转的期间,在检测出与所述线材的角度相关的所述参数偏离所述基准值的情况下,基于所述基准值来调整所述位移机构的位置。2.根据权利要求1所述的线状锯,其中,所述控制部调整所述位移机构的位置,以使与所述线材的角度相关的所述参数接近于所述基准值。3.根据权利要求1或权利要求2所述的线状锯,其中,所述线状锯具备张力赋予装置,该张力赋予装置对在所述加工用辊与所述位移机构之间延伸的所述线材赋予张力,所述检测部包括用于检测张力载荷的张力载荷检测部,该张力载荷是由于在所述加工用辊与所述卷线筒之间延伸的所述线材的张力而作用于所述位移机构及所述张力赋予装置的载荷,所述控制部使所述张力载荷检测部对与卷取到所述卷线筒时的所述线材关联的张力载荷进行检测,并且将基于检测出的张力载荷的所述参数设定为所述基准值,在所述加工运转的期间检测出偏离所述基准值的变动值作为基于所述张力载荷的参数的情况下,调整所述位移机构的位置,以使所述变动值...
【专利技术属性】
技术研发人员:河津知之,田川智宽,二上佳央,
申请(专利权)人:小松NTC株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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