一种用于光学元件的抛光装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种用于光学元件的抛光装置，包括：基座、工件的夹持器、X轴向移动模组、摆动电机和Z轴抛光模组；X轴向移动模组包括X轴滑轨、直线运动机构和摆动件；X轴滑轨固定安装在基座上，直线运动机构滑动设置在X轴滑轨上；摆动电机与直线运动机构连接；摆动件与轴向为Y轴的摆动电机输出轴连接；摆动件上固定安装有工件的夹持器；直线运动机构带动摆动件与工件做X轴方向的直线运动的同时，摆动件带动工件绕X轴电机的输出轴做摆动运动，使得抛光轴沿Z轴方向移动至工件的加工面进行抛光时，其轴线始终与工件加工面的法线一致。本发明专利技术解决了现有技术中抛光装置的形状加工精度与表面质量精度较低的技术问题。

A polishing device for optical elements

The invention provides a polishing device for optical elements, including a base, a workpiece gripper, an X-axis moving module, a swinging motor and a Z-axis polishing module; an X-axis moving module includes an X-axis sliding rail, a linear motion mechanism and a swinging component; an X-axis sliding rail is fixed on a base; and a linear motion mechanism is sliding on an X-axis sliding mechanism. On the sliding rail, the oscillating motor is connected with the linear motion mechanism, the oscillating part is connected with the output shaft of the oscillating motor whose axis is Y axis, the clamp with workpiece is fixed on the oscillating part, and the linear motion mechanism drives the oscillating part and the workpiece to do the linear motion in the direction of X axis while the oscillating part drives the workpiece to do the oscillation around the output shaft of the X axis motor. Dynamic motion makes the polishing axis move along the Z axis direction to the workpiece surface for polishing, and its axis is always consistent with the normal of the workpiece surface. The invention solves the technical problem of low precision of shape processing and surface quality of the polishing device in the prior art.

【技术实现步骤摘要】
一种用于光学元件的抛光装置
本专利技术涉及抛光设备
，具体涉及一种用于光学元件的抛光装置及方法。
技术介绍
目前，各种光学系统在军事、民用等领域都起着不可替代的作用，而日益突出的重要作用使得光学系统对光学元件的精度要求也越来越高。在超精密加工领域，抛光是光学元件生产加工中最为关键的一道加工工序，其加工的效果会严重影响元件的光学性能。在传统的光学元件加工中，因为安装精度不足无法在线检测并反馈非球面玻璃镜片加工后的表面状况，对非球面玻璃抛光的精度误差无法实现补偿。现有的抛光机，虽然可以在非球面玻璃镜片加工后，需要用非球面表面测量系统检测其加工的粗糙程度和几何形状，将参数传达给数控系统，完成对其镜片的修正，但是操作起来较为复杂,而且需要用到非球面表面测量系统等工具，操作复杂，此外，现有的非球面表面测量系统等工具都是检测工件加工面的垂直方向的误差量，而加工实际补偿时需要的是法线方向的误差量，使得国内现有的非球面光学透镜模具数控加工技术的形状加工精度普遍较低，且在进行测试与修正后非球面玻璃镜片的表面质量精度低。
技术实现思路
本专利技术提供了一种用于光学元件的抛光装置，该抛光装置解决了现有技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于光学元件的抛光装置，其特征在于，包括：基座、工件的夹持器、X轴向移动模组、摆动电机和Z轴抛光模组；所述X轴向移动模组包括X轴滑轨、直线运动机构和摆动件；所述X轴滑轨固定安装在所述基座上，所述直线运动机构滑动设置在所述X轴滑轨上；所述摆动电机与所述直线运动机构连接；所述摆动件与所述摆动电机的输出轴连接，所述摆动电机的输出轴的轴向为Y轴；所述摆动件上固定安装有所述工件的夹持器；所述直线运动机构带动所述摆动件与所述工件做X轴方向的直线运动的同时，所述摆动件带动工件绕所述X轴电机的输出轴做摆动运动，使得所述Z轴抛光模组中的抛光轴沿Z轴方向移动至所述工件的加工面进行抛光时，所述抛光轴的轴线始...

【技术特征摘要】
1.一种用于光学元件的抛光装置，其特征在于，包括：基座、工件的夹持器、X轴向移动模组、摆动电机和Z轴抛光模组；所述X轴向移动模组包括X轴滑轨、直线运动机构和摆动件；所述X轴滑轨固定安装在所述基座上，所述直线运动机构滑动设置在所述X轴滑轨上；所述摆动电机与所述直线运动机构连接；所述摆动件与所述摆动电机的输出轴连接，所述摆动电机的输出轴的轴向为Y轴；所述摆动件上固定安装有所述工件的夹持器；所述直线运动机构带动所述摆动件与所述工件做X轴方向的直线运动的同时，所述摆动件带动工件绕所述X轴电机的输出轴做摆动运动，使得所述Z轴抛光模组中的抛光轴沿Z轴方向移动至所述工件的加工面进行抛光时，所述抛光轴的轴线始终与所述工件加工面的法线一致。2.根据权利要求1所述的用于光学元件的抛光装置，其特征在于，所述直线运动机构包括X轴电机、X轴丝杆、联轴器和X轴滑板；所述X轴滑板与所述X轴滑轨滑动连接；所述X轴滑板与所述摆动电机连接；所述X轴滑板内设有供所述X轴丝杆穿过的通孔，所述通孔内设有与所述X轴丝杆螺纹相配合的内螺纹；所述联轴器的一端与所述X轴电机的输出轴连接，所述联轴器的另一端与所述X轴丝杆连接。3.根据权利要求1所述的用于光学元件的抛光装置，其特征在于，所述工件的夹持器包括夹持部与旋转电机；所述夹持部与所述旋转电机的输出轴连接。4.根据权利要求1所述的用于光学元件的抛光装置，其特征在于，所述Z轴抛光模组还包括升降机构，所述升降机构带动所述抛光轴沿Z轴方向移动至所述工件的加工面。5.根据权利要求4所述的用于光学元件的抛光装置，其特征在于，所述Z轴抛光模组还包括限位机构，所述限位机构包括支座、驱动装置和Z轴限位组件，所述Z轴限位组件包括限位开关；所述升降机构包括Z轴丝杆、直线减速机、升降台和Z轴电机，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚洪辉，张嘉荣，邓建南，王晗，梁锐鑫，邹海华，李相优，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：广东,44