下载一种用于光学元件的抛光装置的技术资料

文档序号:18745259

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本发明提供了一种用于光学元件的抛光装置,包括:基座、工件的夹持器、X轴向移动模组、摆动电机和Z轴抛光模组;X轴向移动模组包括X轴滑轨、直线运动机构和摆动件;X轴滑轨固定安装在基座上,直线运动机构滑动设置在X轴滑轨上;摆动电机与直线运动机构连...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。

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