一种多层式的多级阵列压力传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种多层式的多级阵列压力传感器。包含主要由底层、下隔空层、中间层、上隔空层和顶层依次从下到上紧密层叠构成的压力传感单元；底层的上表面设有三个沿圆周方向间隔均匀分布的底层电极，下隔空层和上隔空层中设有与三个底层电极位置对应的三个通孔，中间层下表面设有分别与三个底层电极位置对应的三个中间层下电极，中间层上表面设有分别与三个底层电极位置对应的三个中间层上电极，顶层下表面设有分别与三个底层电极位置对应的三个顶层电极。本发明专利技术能够在一个传感单元的垂直方向上检测多个压力阈值，提高了检测效率，降低了制造成本和难度，增强了其实用性。

A multilayer multi-stage array pressure sensor

The invention discloses a multi-layer multi-stage array pressure sensor. The pressure sensing unit consists of a bottom layer, a lower barrier layer, an intermediate layer, an upper barrier layer and a top layer, which are in turn closely stacked from the bottom to the top; the upper surface of the bottom layer is provided with three bottom electrodes uniformly spaced along the circumference direction; and the lower and upper barriers are provided with three through holes corresponding to the positions of the three bottom electrodes. The lower surface of the middle layer is provided with three lower electrodes corresponding to the positions of the three bottom electrodes, and the upper surface of the middle layer is provided with three upper electrodes corresponding to the positions of the three bottom electrodes, and the lower surface of the top layer is provided with three top electrodes corresponding to the positions of the three bottom electrodes. The invention can detect multiple pressure thresholds in the vertical direction of a sensing unit, improve the detection efficiency, reduce the manufacturing cost and difficulty, and enhance its practicability.

【技术实现步骤摘要】
一种多层式的多级阵列压力传感器
本专利技术涉及了一种传感装置，特别是涉及了一种多层式的多级阵列压力传感器。
技术介绍
柔性压力传感器是一种用于感知物体表面作用力大小的柔性电子器件，能贴附于各种不规则物体表面，在医疗健康、机器人、生物力学等领域有着广泛的应用前景。随着科学技术的发展，柔性压力传感器能否兼具柔韧性和准确测量压力分布信息等功能成为人们关注的焦点。目前，国内外关于柔性压力传感器已经做了许多的研究，绝大多数的柔性压力传感器应用于检测连续力范围，而且如何实现该柔性触觉传感器的高灵敏度、低迟滞性、溶液环境下的鲁棒性、高装载可靠性、高机械疲劳强度和高的空间分辨率仍然是一大挑战；相反的，少有出现离散型的柔性压力传感装置，其检测原理是通过传感器内部电极的导通情况来检测压力阈值，适用于不需要测量连续测量范围下的应用场合。这种测量有限压力点的传感器，功能简单，设计制造简单，数据分析容易，可通过材料和具体结构的不同，定制化所需检测的压力值，不需要模拟-数字转换器，可简化其相应的信号处理模块，从而加快读取和处理速度，应用前景很大。
技术实现思路
为了简化传感器的结构设计和制造难度，增强传感器对关键压本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多层式的多级阵列压力传感器，其特征在于：包含主要由底层(12)、下隔空层(15)、中间层(19)、上隔空层(21)和顶层(24)依次从下到上紧密层叠构成的压力传感单元；底层(12)的上表面设有三个沿圆周方向间隔均匀分布的底层电极(14)，下隔空层(15)和上隔空层(21)中设有与三个底层电极(14)位置对应的三个通孔，中间层(19)下表面设有分别与三个底层电极(14)位置对应的三个中间层下电极(17)，中间层(19)上表面设有分别与三个底层电极(14)位置对应的三个中间层上电极(20)，顶层(24)下表面设有分别与三个底层电极(14)位置对应的三个顶层电极(23)。

【技术特征摘要】
1.一种多层式的多级阵列压力传感器，其特征在于：包含主要由底层(12)、下隔空层(15)、中间层(19)、上隔空层(21)和顶层(24)依次从下到上紧密层叠构成的压力传感单元；底层(12)的上表面设有三个沿圆周方向间隔均匀分布的底层电极(14)，下隔空层(15)和上隔空层(21)中设有与三个底层电极(14)位置对应的三个通孔，中间层(19)下表面设有分别与三个底层电极(14)位置对应的三个中间层下电极(17)，中间层(19)上表面设有分别与三个底层电极(14)位置对应的三个中间层上电极(20)，顶层(24)下表面设有分别与三个底层电极(14)位置对应的三个顶层电极(23)。2.根据权利要求1所述的一种多层式的多级阵列压力传感器，其特征在于：所述的下隔空层(15)和上隔空层(21)的通孔直径等于底层(12)、中间层(19)和顶层(24)上的电极(20)直径。3.根据权利要求1所述的一种多层式的多级阵列压力传感器，其特征在于：所述多级阵列压力传感器受压时，顶层电极(23)和中间层上电极(20)先接触获得第一压力阈值，中间层下电极(17)和底层...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨赓，徐飞鸿，庞高阳，杨华勇，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：浙江,33